[實(shí)用新型]半自動(dòng)芯片外觀檢測(cè)標(biāo)記裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720665936.5
• 申請(qǐng)日: 2017-06-08
• 公開（公告）號(hào): CN207198054U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾建武;劉格;陸一峰;楊彥偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市芯思杰智慧傳感技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/89
• 分類號(hào): G01N21/89
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11343
• 代理人: 尚志峰,汪海屏

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片檢測(cè)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種半自動(dòng)芯片外觀檢測(cè)標(biāo)記裝置。

背景技術(shù)

隨著微電子行業(yè)的發(fā)展，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來(lái)越高，自動(dòng)化設(shè)備的投入，減小了人員成本，但是自動(dòng)化設(shè)備只是起到了對(duì)產(chǎn)品的初檢，且設(shè)備成本較大，在實(shí)際生產(chǎn)過程中，產(chǎn)品圖形不完整、表面沾污和基片缺陷等情況，均可能不會(huì)影響到產(chǎn)品的性能測(cè)試，因此目檢工藝成為必不可少的工藝環(huán)節(jié)，能夠有效提升產(chǎn)品的質(zhì)量，然而，傳統(tǒng)的人工目檢不易做標(biāo)記或者去除不良品，耗時(shí)耗力、不易操作、效率低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)或相關(guān)技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

為此，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提供一種半自動(dòng)芯片外觀檢測(cè)標(biāo)記裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的半自動(dòng)芯片外觀檢測(cè)標(biāo)記裝置，包括：底座；以及安裝于底座的可調(diào)節(jié)組件；打點(diǎn)組件，與可調(diào)節(jié)組件固定連接；顯微鏡成像系統(tǒng)，顯微鏡成像系統(tǒng)與打點(diǎn)組件配合設(shè)置固設(shè)于底座上，其中，待檢測(cè)芯片設(shè)于打點(diǎn)組件中的打點(diǎn)位置，顯微鏡成像系統(tǒng)的焦點(diǎn)與待檢測(cè)芯片重合，將所成圖像傳輸至顯示屏幕。

在該技術(shù)方案中，通過設(shè)置底座、打點(diǎn)組件以及在底座和打點(diǎn)組件之間設(shè)置可調(diào)節(jié)組件，能夠?qū)⒋螯c(diǎn)組件固定在相對(duì)于底座的任意一個(gè)位置，進(jìn)而可以重復(fù)對(duì)該位置進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)記，通過將待檢測(cè)芯片設(shè)于打點(diǎn)組件中的打點(diǎn)位置，使得操作過程簡(jiǎn)單方便，進(jìn)而有效的提高了操作人員的工作效率。

另外，通過在底座上固定設(shè)置顯微鏡成像系統(tǒng)，且顯微鏡成像系統(tǒng)與打點(diǎn)組件配合設(shè)置，顯微鏡成像系統(tǒng)的焦點(diǎn)與待檢測(cè)芯片重合，將所成圖像傳輸至顯示屏幕，使得在目檢過程中，可以有效減輕操作人員的視覺疲勞，其中，所成圖像為彩色圖像，通過清楚的顯示待檢測(cè)芯片的圖像，使操作人員能夠準(zhǔn)確的對(duì)有問題的芯片產(chǎn)品做標(biāo)記或者去除不良品，節(jié)約了對(duì)應(yīng)的工時(shí)，提高生產(chǎn)效率，進(jìn)而提升了芯片產(chǎn)品的質(zhì)量。

另外，本實(shí)用新型提供的上述實(shí)施例中的半自動(dòng)芯片外觀檢測(cè)標(biāo)記裝置還可以具有如下附加技術(shù)特征：

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，打點(diǎn)組件包括：墨盒；連通墨盒的針管，針管垂直于墨盒設(shè)置；打點(diǎn)器，與針管固定連接，打點(diǎn)器帶動(dòng)針管相對(duì)于墨盒伸縮移動(dòng)。

在上述任一技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：觸碰開關(guān)，與打點(diǎn)器電連接，觸碰開關(guān)控制打點(diǎn)器的工作狀態(tài)。

在該技術(shù)方案中，打點(diǎn)組件包括墨盒以及連通墨盒的針管，通過將針管垂直于墨盒設(shè)置，使得打點(diǎn)組件所作的標(biāo)記清晰且均勻，另外，通過將打點(diǎn)器與針管固定連接，并將打點(diǎn)器與觸碰開關(guān)控制連接，其中觸碰開關(guān)可以控制打點(diǎn)器的工作狀態(tài)，使打點(diǎn)器帶動(dòng)針管相對(duì)于墨盒伸縮移動(dòng)，檢測(cè)過程中，當(dāng)發(fā)現(xiàn)待檢測(cè)芯片有問題時(shí)，只需要按動(dòng)觸碰開關(guān)，即可對(duì)出現(xiàn)問題的待檢測(cè)芯片(即不合格芯片)作出清楚且均勻的標(biāo)記，增強(qiáng)產(chǎn)品實(shí)用性，能夠有效減少不合格芯片的流出。

在上述任一技術(shù)方案中，優(yōu)選地，可調(diào)節(jié)組件包括:微動(dòng)臺(tái)，包括固定座以及安裝于固定座上的多個(gè)可移動(dòng)塊，多個(gè)可移動(dòng)塊自上而下垂直于底座設(shè)置，相鄰的兩個(gè)可移動(dòng)塊之間分別設(shè)有導(dǎo)軌和導(dǎo)槽，導(dǎo)軌與導(dǎo)槽配合連接，多個(gè)可移動(dòng)塊之間的滑動(dòng)軌跡相互交錯(cuò)；調(diào)節(jié)支架，一端與底座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與固定座固定連接。

在該技術(shù)方案中，通過自上而下垂直于底座在固定座上設(shè)置的多個(gè)可移動(dòng)塊，且相鄰的兩個(gè)可移動(dòng)塊之間分別設(shè)有相互配合的導(dǎo)軌和導(dǎo)槽，多個(gè)可移動(dòng)塊之間的滑動(dòng)軌跡相互交錯(cuò)，使除最底端以外的任意一個(gè)可移動(dòng)塊都能夠相對(duì)于底座平行移動(dòng)，進(jìn)而能夠?qū)崿F(xiàn)使最頂端的可移動(dòng)塊相對(duì)于底座向任意一個(gè)方向平行移動(dòng)。

優(yōu)選地，底座水平設(shè)置，以及固定座與底座平行設(shè)置。

在上述任一技術(shù)方案中，優(yōu)選地，多個(gè)可移動(dòng)塊包括設(shè)置在最頂端的第一塊，以及設(shè)置在第一塊之下的多個(gè)第二塊；安裝架，與第一塊固定連接，打點(diǎn)組件安裝于安裝架。

在該技術(shù)方案中，通過設(shè)置安裝架，并將安裝架與最頂端的第一塊固定連接，打點(diǎn)組件安裝于安裝架，能夠使打點(diǎn)組件相對(duì)于固定座向任意一個(gè)水平方向移動(dòng)，對(duì)水平打點(diǎn)位置進(jìn)行微調(diào)。

在上述任一技術(shù)方案中，優(yōu)選地，微動(dòng)臺(tái)還包括：第一調(diào)節(jié)螺桿，與固定座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一調(diào)節(jié)螺桿與最底端的第二塊配合設(shè)置，第一調(diào)節(jié)螺桿調(diào)節(jié)打點(diǎn)組件相對(duì)底座之間的垂直距離；多個(gè)第二調(diào)節(jié)螺桿，設(shè)于每個(gè)第二塊，每個(gè)第二調(diào)節(jié)螺桿與其上一層的可移動(dòng)塊配合設(shè)置，多個(gè)第二調(diào)節(jié)螺桿調(diào)節(jié)打點(diǎn)組件投影于底座的投影位置。