[實用新型]半自動芯片外觀檢測標記裝置

有效

• 申請號: 201720665936.5
• 申請日: 2017-06-08
• 公開（公告）號: CN207198054U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 曾建武;劉格;陸一峰;楊彥偉
• 申請（專利權）人: 深圳市芯思杰智慧傳感技術有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙)11343
• 代理人: 尚志峰,汪海屏

1.一種半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，包括：

底座；以及

安裝于所述底座的可調節組件；

打點組件，與所述可調節組件固定連接；

顯微鏡成像系統，所述顯微鏡成像系統與所述打點組件配合設置固設于所述底座上，

其中，待檢測芯片設于所述打點組件中的打點位置，所述顯微鏡成像系統的焦點與所述待檢測芯片重合，將所成圖像傳輸至顯示屏幕。

2.根據權利要求1所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，所述打點組件包括：

墨盒；

連通所述墨盒的針管，所述針管垂直于所述墨盒設置；

打點器，與所述針管固定連接，所述打點器帶動所述針管相對于所述墨盒伸縮移動。

3.根據權利要求2所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，還包括：

觸碰開關，與所述打點器電連接，所述觸碰開關控制所述打點器的工作狀態。

4.根據權利要求1所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，所述可調節組件包括:

微動臺，包括固定座以及安裝于所述固定座上的多個可移動塊，所述多個可移動塊自上而下垂直于所述底座設置，相鄰的兩個所述可移動塊之間分別設有導軌和導槽，所述導軌與所述導槽配合連接，所述多個可移動塊之間的滑動軌跡相互交錯；

調節支架，一端與所述底座轉動連接，另一端與所述固定座固定連接。

5.根據權利要求4所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，

所述多個可移動塊包括設置在最頂端的第一塊，以及設置在所述第一塊之下的多個第二塊；

安裝架，與所述第一塊固定連接，所述打點組件安裝于所述安裝架。

6.根據權利要求5所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，所述微動臺還包括：

第一調節螺桿，與所述固定座轉動連接，所述第一調節螺桿與最底端的所述第二塊配合設置，所述第一調節螺桿調節所述打點組件相對所述底座的垂直距離；

多個第二調節螺桿，設于每個所述第二塊，每個所述第二調節螺桿與其上一層的所述可移動塊配合設置，所述多個第二調節螺桿調節所述打點組件投影于所述底座的投影位置。

7.根據權利要求4所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，所述調節支架包括：

第一豎桿，一端與所述底座沿水平方向轉動連接；

第一橫桿，與所述第一豎桿的另一端沿豎直方向轉動連接；

第二橫桿，與所述固定座固定連接；

連接塊，連接所述第一橫桿和所述第二橫桿。

8.根據權利要求7所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，所述連接塊包括：

第一通孔，與所述第一橫桿配合設置；

第二通孔，與所述第一橫桿配合設置。

9.根據權利要求8所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，還包括：

第一鎖緊孔，對應于所述第一通孔設于所述連接塊；

第二鎖緊孔，對應于所述第二通孔設于所述連接塊，

其中，所述第一鎖緊孔用于固定穿過所述第一通孔的所述第一橫桿，所述第二鎖緊孔用于固定穿過所述第二通孔的第二橫桿。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，還包括：

安裝凹槽，形成于所述底座上，所述安裝凹槽固定所述顯微鏡成像系統中的光學鏡頭。

11.根據權利要求1至9中任一項所述的半自動芯片外觀檢測標記裝置，其特征在于，還包括：

輸送裝置；

多個安裝位，設于所述輸送裝置上，任意一個所述安裝位用于固定所述待檢測芯片，

其中，所述輸送裝置將所述待檢測芯片輸送至所述打點組件中的打點位置，且所述輸送裝置使所述待檢測芯片與所述顯微鏡成像系統的焦點重合。