[實用新型]一種用于單晶硅生長爐爐室鎖緊機構

有效

• 申請號: 201720662507.2
• 申請日: 2017-06-08
• 公開（公告）號: CN206902285U
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 傅林堅;曹建偉;孫明;倪軍夫;沈興潮
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

技術領域

本實用新型是關于單晶硅制備設備領域，特別涉及一種用于單晶硅生長爐爐室鎖緊機構。

背景技術

單晶硅是電子信息材料和光伏行業中的最基礎性材料，而直拉法單晶爐是生產硅單晶的關鍵技術裝備。單晶爐在生產過程中，需要中途取晶和二次加料，因爐體還有硅料存在，需保持主爐室內的壓力及溫度等狀態不變，單獨打開副爐室。在安裝熱場坩堝及裝料等操作時需同時打開隔離閥及副爐室。

現有的技術方案為利用掛接板組件裝置去執行副爐室單獨升降及副爐室與隔離閥同步升降，且旋轉機構可以適用于副爐室單獨旋轉及與隔離閥一起旋轉(詳見專利號201420471684.9)。但是此專利只能提供兩者的連接，并且結構較簡單輕便，單靠銷軸與腰型槽的貼合面進行連接，在副爐室和隔離閥一起提升時無法提供安全保證，尤其當掛接板組件的銷軸出問題時，容易發生隔離閥掉落的意外情況。現有技術一般采用副爐室和隔離閥的法蘭上增加幾處卡塊，需要鎖緊時通過人工進行安裝卡套進行手動鎖緊，此方案比較浪費時間，影響單晶爐的使用操作效率。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于克服現有技術中的不足，提供一種既使實現副爐室單獨升降保持松開狀態，副爐室與隔離閥同步升降時保持鎖緊狀態的鎖緊機構。為解決上述技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種用于單晶硅生長爐爐室鎖緊機構，用于副爐室和隔離閥進行鎖緊與松開，所述用于單晶硅生長爐爐室鎖緊機構包括鎖緊塊、鎖緊鉤、傳遞套、氣動件、控制元件；

所述氣動件的內部從上而下設有兩個內腔，即上內腔和下內腔，上內腔和下內腔之間通過活塞間隔，活塞能夠通過氣壓在腔內滑動，且上內腔和下內腔密封隔離，上內腔、下內腔還分別設有氣管用于連接氣泵；在下內腔一側的活塞與連接桿的一端固定，連接桿的另一端穿出氣動件的底部并安裝有下端滑塊；氣動件的頂部安裝有上端滑塊；所述氣動件外部套有傳遞套，并通過傳遞套固定在掛接板法蘭上，即氣動件能隨著掛接板轉動而周向運動，進而控制副爐室和隔離閥的鎖緊與松開；

所述鎖緊塊安裝在副爐室上，鎖緊塊上有封閉的弧形槽口，氣動件的上端滑塊能安裝在弧形槽口中并在弧形槽口中滑動；所述鎖緊鉤安裝在隔離閥上，鎖緊鉤上有一個開口的滑槽，當掛接板處于副爐室和隔離閥分離狀態時，氣動件下端滑塊未滑入鎖緊鉤的滑槽中，氣動件中的活塞處于放松狀態；當掛接板處于副爐室和隔離閥連接狀態時，氣動件的下端滑塊能滑到滑槽中，氣動件中的活塞處于壓縮狀態，氣動件鎖緊副爐室與隔離閥同時運動；

所述控制元件采用壓緊傳感器，壓緊傳感器安裝在氣動件的下內腔中，當氣動件的下端滑塊滑入鎖緊鉤的滑槽中，氣動件中的活塞處于壓縮狀態，壓緊傳感器能通過壓緊放松來反饋信號，方便通過外部控制氣泵使氣動件中的活塞放松或者壓縮，進而控制副爐室和隔離閥的松開或者鎖緊。

在本實用新型中，當壓緊傳感器收到信號需要將副爐室和隔離閥鎖緊時，氣動件內部的下內腔由氣泵增加氣壓，使氣動件的下端滑塊連接的活塞往上滑動，將副爐室上的鎖緊塊和隔離閥上的鎖緊鉤壓緊，從而使副爐室和隔離閥進行鎖緊，壓緊力計算如下：

F＝(1+n)[p₁ (S₁-S₂) -p₂S₁]

其中，鎖緊機構數量為1+n，n是自然數；p₁為下內腔氣泵輸出壓強，p₂為上內腔氣壓，S₁為活塞面積，S₂為連接桿截面面積；由于氣動件內部活塞和連接桿都是圓柱形的，且活塞的直徑為D，連接桿的直徑為d，因此S₁＝πD²/4，S₁＝πd²/4。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型能夠增加單晶爐在副爐室和隔離閥、爐蓋一同旋開時的安全性和穩定性，保證兩者之間的連接可靠性，防止連接松動導致的安全事故發生；本實用新型能夠通過調節鎖緊機構的數量和氣泵壓力來改變所需要的壓緊力，以便適應不同的場合。

本實用新型既能使實現副爐室單獨升降保持松開狀態，也能使副爐室與隔離閥同步升降時保持鎖緊狀態，保證了副爐室和隔離閥同步升降時候的安全性。

附圖說明

圖1為本實用新型的的安裝圖示意圖。

圖2為本實用新型的松開狀態圖。

圖3為本實用新型的鎖緊狀態圖。