[實(shí)用新型]一種用于單晶硅生長(zhǎng)爐爐室鎖緊機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720662507.2
• 申請(qǐng)日: 2017-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206902285U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅林堅(jiān);曹建偉;孫明;倪軍夫;沈興潮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/06
• 分類號(hào): C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于單晶硅生長(zhǎng)爐爐室鎖緊機(jī)構(gòu)，用于副爐室和隔離閥進(jìn)行鎖緊與松開(kāi)，其特征在于，所述用于單晶硅生長(zhǎng)爐爐室鎖緊機(jī)構(gòu)包括鎖緊塊、鎖緊鉤、傳遞套、氣動(dòng)件、控制元件；

所述氣動(dòng)件的內(nèi)部從上而下設(shè)有兩個(gè)內(nèi)腔，即上內(nèi)腔和下內(nèi)腔，上內(nèi)腔和下內(nèi)腔之間通過(guò)活塞間隔，活塞能夠通過(guò)氣壓在腔內(nèi)滑動(dòng)，且上內(nèi)腔和下內(nèi)腔密封隔離，上內(nèi)腔、下內(nèi)腔還分別設(shè)有氣管用于連接氣泵；在下內(nèi)腔一側(cè)的活塞與連接桿的一端固定，連接桿的另一端穿出氣動(dòng)件的底部并安裝有下端滑塊；氣動(dòng)件的頂部安裝有上端滑塊；所述氣動(dòng)件外部套有傳遞套，并通過(guò)傳遞套固定在掛接板法蘭上，即氣動(dòng)件能隨著掛接板轉(zhuǎn)動(dòng)而周向運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而控制副爐室和隔離閥的鎖緊與松開(kāi)；

所述鎖緊塊安裝在副爐室上，鎖緊塊上有封閉的弧形槽口，氣動(dòng)件的上端滑塊能安裝在弧形槽口中并在弧形槽口中滑動(dòng)；所述鎖緊鉤安裝在隔離閥上，鎖緊鉤上有一個(gè)開(kāi)口的滑槽，當(dāng)掛接板處于副爐室和隔離閥分離狀態(tài)時(shí)，氣動(dòng)件下端滑塊未滑入鎖緊鉤的滑槽中，氣動(dòng)件中的活塞處于放松狀態(tài)；當(dāng)掛接板處于副爐室和隔離閥連接狀態(tài)時(shí)，氣動(dòng)件的下端滑塊能滑到滑槽中，氣動(dòng)件中的活塞處于壓縮狀態(tài)，氣動(dòng)件鎖緊副爐室與隔離閥同時(shí)運(yùn)動(dòng)；

所述控制元件采用壓緊傳感器，壓緊傳感器安裝在氣動(dòng)件的下內(nèi)腔中，當(dāng)氣動(dòng)件的下端滑塊滑入鎖緊鉤的滑槽中，氣動(dòng)件中的活塞處于壓縮狀態(tài)，壓緊傳感器能通過(guò)壓緊放松來(lái)反饋信號(hào)，方便通過(guò)外部控制氣泵使氣動(dòng)件中的活塞放松或者壓縮，進(jìn)而控制副爐室和隔離閥的松開(kāi)或者鎖緊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅生長(zhǎng)爐爐室鎖緊機(jī)構(gòu)，其特征在于，當(dāng)壓緊傳感器收到信號(hào)需要將副爐室和隔離閥鎖緊時(shí)，氣動(dòng)件內(nèi)部的下內(nèi)腔由氣泵增加氣壓，使氣動(dòng)件的下端滑塊連接的活塞往上滑動(dòng)，將副爐室上的鎖緊塊和隔離閥上的鎖緊鉤壓緊，從而使副爐室和隔離閥進(jìn)行鎖緊，壓緊力計(jì)算如下：

F＝(1+n)[p₁(S₁-S₂)-p₂S₁]

其中，鎖緊機(jī)構(gòu)數(shù)量為1+n，n是自然數(shù)；p₁為下內(nèi)腔氣泵輸出壓強(qiáng)，p₂為上內(nèi)腔氣壓，S₁為活塞面積，S₂為連接桿截面面積；由于氣動(dòng)件內(nèi)部活塞和連接桿都是圓柱形的，且活塞的直徑為D，連接桿的直徑為d，因此S₁＝πD²/4，S₁＝πd²/4。