[實(shí)用新型]用于平板式PECVD設(shè)備的蓋板開啟機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720652386.3
• 申請日: 2017-06-07
• 公開（公告）號: CN207062376U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅林堅(jiān);石剛;洪昀;高振波;王偉星;祝廣輝;吳威
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.用于平板式PECVD設(shè)備的蓋板開啟機(jī)構(gòu)，包括雙作用液壓缸，以及安裝在提升拉臂安裝座上的提升拉臂；雙作用液壓缸的推桿與提升拉臂、提升板和蓋板依次連接，連接處設(shè)活動(dòng)鉸鏈；其特征在于，提升拉臂的中部通過活動(dòng)鉸鏈與提升拉臂安裝座連接，并以連接處作為提升拉臂的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心；當(dāng)提升拉臂分別位于轉(zhuǎn)動(dòng)行程起始位和終止位時(shí)，提升拉臂分別與位于提升拉臂安裝座兩側(cè)的接觸位置相接，在該兩個(gè)接觸位置處各設(shè)置一組電氣-機(jī)械限位保護(hù)組件；每組電氣-機(jī)械限位保護(hù)組件均包括一個(gè)電氣限位開關(guān)和至少一個(gè)機(jī)械限位塊，電氣限位開關(guān)通過導(dǎo)線連接至雙作用液壓缸的驅(qū)動(dòng)液壓泵；在提升拉臂轉(zhuǎn)動(dòng)并接近提升拉臂安裝座的過程中，將先觸發(fā)電氣限位開關(guān)，再與機(jī)械限位塊接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蓋板開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述電氣限位開關(guān)和機(jī)械限位塊安裝方式是下述的任意一種：

(1)電氣限位開關(guān)和一個(gè)機(jī)械限位塊均安裝在提升拉臂上；

(2)電氣限位開關(guān)和一個(gè)機(jī)械限位塊均安裝在提升拉臂安裝座上；

(3)電氣限位開關(guān)和一個(gè)機(jī)械限位塊分別安裝在提升拉臂安裝座和提升拉臂上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蓋板開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述機(jī)械限位塊有兩個(gè)，分別設(shè)置在提升拉臂安裝座和提升拉臂上的相對位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蓋板開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述電氣限位開關(guān)具有觸發(fā)限位塊，觸發(fā)限位塊設(shè)在提升拉臂安裝座和提升拉臂上與電氣限位開關(guān)相對的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)中所述的蓋板開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于，當(dāng)提升拉臂分別位于轉(zhuǎn)動(dòng)行程起始位和終止位時(shí)，蓋板呈開啟或閉合狀態(tài)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)中所述的蓋板開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述雙作用液壓缸安裝在液壓缸安裝座上且通過鉸鏈連接，雙作用液壓缸能實(shí)現(xiàn)限定幅度內(nèi)的擺動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)中所述的蓋板開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蓋板安裝在蓋板安裝座或轉(zhuǎn)軸上，蓋板的一側(cè)通過活動(dòng)鉸鏈與蓋板安裝座或轉(zhuǎn)軸連接，并以其作為蓋板的轉(zhuǎn)動(dòng)軸心。