[實用新型]用于平板式PECVD設備的蓋板開啟機構

有效

• 申請號: 201720652386.3
• 申請日: 2017-06-07
• 公開（公告）號: CN207062376U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 傅林堅;石剛;洪昀;高振波;王偉星;祝廣輝;吳威
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

技術領域

本實用新型涉及平板式PECVD設備，具體涉及一種用于平板式PECVD設備的蓋板開啟機構。

背景技術

近年來，為了降低太陽能電池的成本，硅片的厚度不斷降低，但是隨著硅片厚度的減薄，少數載流子的擴散長度可能接近或大于硅片的厚度，部分少數載流子將會擴散到電池背面而產生復合，這將對電池效率產生重要影響。因此，為了提高電池片的轉換效率，需要在電池片表面鍍減反射膜。目前鍍減反射膜主要采用PECVD方法(等離子體增強化學氣相沉積技術，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)。PECVD方法能起到鈍化的作用，降低電池片背面復合速率。

PECVD方法是制備減反膜方法中最為成熟，操作也較為簡單，能夠實現全自動化生產。目前的PECVD設備主要有兩種，一種是管式PECVD設備，這種設備采用的工作方法是在單一腔室內連續實現鍍減反膜的一系列過程；另一種是板式PECVD設備，這種設備能夠實現連續生產，產能也很高。

平板式PECVD蓋板重量大，開啟過程非連續動作，且開啟機構安裝空間緊湊，為開啟機構的設計安裝帶來麻煩。因此需設計合適的開啟機構，既滿足蓋板開啟的動力需求又做到安全可靠，同時還要做到結構緊湊、高效。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，克服現有技術中存在的問題，提供一種用于平板式PECVD設備的蓋板開啟機構。

為解決技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種用于平板式PECVD設備的蓋板開啟機構，包括雙作用液壓缸，以及安裝在提升拉臂安裝座上的提升拉臂；雙作用液壓缸的推桿與提升拉臂、提升板和蓋板依次連接，連接處設活動鉸鏈；提升拉臂的中部通過活動鉸鏈與提升拉臂安裝座連接，并以連接處作為提升拉臂的轉動軸心；當提升拉臂分別位于轉動行程起始位和終止位時，提升拉臂與提升拉臂安裝座相接觸，該兩個接觸位置各設置一組電氣-機械限位保護組件；每組電氣-機械限位保護組件均包括一個電氣限位開關和至少一個機械限位塊，電氣限位開關通過導線連接至雙作用液壓缸的驅動液壓泵；在提升拉臂轉動并接近提升拉臂安裝座的過程中，將先觸發電氣限位開關，再與機械限位塊接觸。

作為改進，所述電氣限位開關和機械限位塊安裝方式是下述的任意一種：

(1)電氣限位開關和一個機械限位塊均安裝在提升拉臂上；

(2)電氣限位開關和一個機械限位塊均安裝在提升拉臂安裝座上；

(3)電氣限位開關和一個機械限位塊分別安裝在提升拉臂安裝座和提升拉臂上。

作為改進，所述機械限位塊有兩個，分別設置在提升拉臂安裝座和提升拉臂上的相對位置。

作為改進，所述電氣限位開關具有觸發限位塊，觸發限位塊設在提升拉臂安裝座和提升拉臂上與電氣限位開關相對的位置。

作為改進，當提升拉臂分別位于轉動行程起始位和終止位時，蓋板呈開啟或閉合狀態。

作為改進，所述雙作用液壓缸安裝在液壓缸安裝座上且通過鉸鏈連接，雙作用液壓缸能實現限定幅度內的擺動。

作為改進，所述蓋板安裝在蓋板安裝座或轉軸上，蓋板的一側通過活動鉸鏈與蓋板安裝座或轉軸連接，并以其作為蓋板的轉動軸心。

本實用新型的工作過程是：

雙作用液壓缸動作，帶動提升拉臂繞提升拉臂安裝座轉動，提升拉臂帶動提升板運動，提升板繼而帶動蓋板繞蓋板安裝座或轉軸運動實現蓋板的開合動作。

電氣-機械限位保護組件用于蓋板開啟和關閉時的限位保護：

當蓋板完成開啟或閉合時，安裝在提升拉臂安裝座上的電氣限位開關響應，液壓泵斷電停止供油，保證蓋板開啟機構不會因為開啟過程的過運動產生損壞；當電氣限位開關意外故障時，安裝在提升拉臂和提升拉臂安裝座上的開啟位置機械限位塊接觸，開啟機構受到限位塊作用而停止運動，保證機構不會因為開啟過程的過運動產生損壞。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型的機構結構非常緊湊，工作效率高；通過設置有限位保護裝置，能保證蓋板完全開啟或關閉后自動切斷液壓系統，保護液壓系統和機械結構不被損壞；相較于傳統的采用電缸或氣缸作為動力源的開啟機構，本實用新型采用液壓缸作為動力源，成本優勢明顯。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為限位裝置結構示意圖。

圖3為蓋板閉合時限位裝置工作示意圖。

圖4為蓋板開啟時限位裝置工作示意圖。