[實用新型]一種UV膜盤多工位搬送翻轉機構

有效

• 申請號: 201720641119.6
• 申請日: 2017-06-05
• 公開（公告）號: CN206907746U
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 林宜龍;陳薇;黎滿標;林清嵐
• 申請（專利權）人: 深圳格蘭達智能裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫

技術領域

本實用新型涉及膜盤搬送機構，尤其涉及一種用于芯片剝離設備上的UV膜盤多工位搬送翻轉機構。

背景技術

目前芯片生產商在剝離UV膜盤上的芯片操作時，需要經過上料、邊料剝離、芯片剝離的工序，每次上料時需要人工從槽式料箱里把UV膜盤抽出并放到刮邊料設備上進行邊料剝離操作，然后由人工將剝離邊料后的UV膜盤取出，再放到另一剝離芯片的設備上，這樣不但增加了人力，而且在操作工程中還有可能造成芯片脫離或損傷，增加了企業的成本，降低了生產效率。

實用新型內容

為克服現有技術的不足，本實用新型的目的是：提供一種用于芯片剝離設備上的UV膜盤多工位搬送翻轉機構，不僅能夠實現膜盤的多工位搬送，而且在搬送的同時實現膜盤的自動翻轉，從而節省人力，降低生產成本，并且提高生產效率。

為了解決背景技術中的技術問題，本實用新型提供了一種UV膜盤多工位搬送翻轉機構，所述搬送翻轉機構包括第一搬送組件、第二搬送組件和雙軸運動平臺，所述雙軸運動平臺包括沿水平方向的滑軌，所述第一搬送組件和第二搬送組件能夠沿所述滑軌運動，實現多工位搬送；

所述第二搬送組件包括升降裝置、夾料裝置和旋轉裝置，所述旋轉裝置包括旋轉氣缸，所述夾料裝置包括夾爪，所述旋轉氣缸驅動所述夾爪旋轉，所述夾爪帶動UV膜盤翻轉。

優選地，所述雙軸運動平臺還包括支撐組件、驅動組件和傳動帶組件；

所述支撐組件支撐所述其他組件；

所述驅動組件包括第一驅動電機、第二驅動電機；

所述傳動帶組件包括第一傳動帶、第二傳動帶，所述第一傳動帶與所述第二傳動帶在豎直平面內平行且存在重疊區，所述第一驅動電機帶動第一傳動帶運動，所述第二驅動電機帶動第二傳動帶運動。

優選地，所述雙軸運動平臺還包括光電傳感器，所述光電傳感器設置于所述第一傳動帶與所述第二傳動帶的重疊區，用于感應所述重疊區是否有搬送組件。

具體地，所述第一驅動電機、第二驅動電機和旋轉氣缸能同時工作，帶動第一搬送組件和第二搬送組件同時搬送，并在第二搬送組件進行搬送工作時實現對膜盤的翻轉。

進一步地，所述第一搬送組件包括第一滑塊、豎直方向的Z軸移動平臺、支撐架、真空吸盤和真空壓力開關，所述第一滑塊能夠沿所述滑軌運動，所述Z軸移動平臺固定于第一滑塊，所述支撐架與所述Z軸移動平臺固定連接，所述支撐架設置有真空壓力開關，所述真空吸盤安裝在支撐架底面。

優選地，所述第二搬送組件的升降裝置包括第二滑塊、頂板、底板、升降氣缸和導桿，所述第二滑塊能夠沿所述滑軌運動，所述頂板垂直固定于第二滑塊，所述升降氣缸垂直安裝于所述頂板，所述導桿安裝在頂板邊緣并穿過頂板與底板固定連接；

所述夾料裝置包括夾料氣缸、夾料臂、夾爪，所述夾料氣缸安裝在所述底板上，所述夾爪與所述夾料臂連接，所述夾料氣缸通過驅動夾料臂帶動夾爪移動。

優選地，所述底板設置有沿水平方向的直線滑軌，所述夾料臂能夠沿所述直線滑軌運動。

優選地，所述夾料氣缸、夾料臂、夾爪和直線滑軌的數量都為兩個，且對稱設置在所述底板的兩側。

具體地，所述夾爪包括第一夾爪和第二夾爪，所述夾料臂包括第一夾料臂和第二夾料臂，所述第二夾爪與第二夾料臂連接，所述第二夾爪與第二夾料臂連接的一側設有圓孔卡位，所述第二夾料臂設置有與所述圓孔卡位配合的球頭柱塞，所述圓孔卡位與球頭柱塞相配合使所述第二夾爪只能旋轉0度或180度。

優選地，所述UV膜盤多工位搬送翻轉機構的氣源和電源由電氣系統提供。

采用上述技術方案，本實用新型的UV膜盤多工位搬送翻轉機構能夠實現UV膜盤的多工位搬送，而且在搬送的同時實現UV膜盤的自動翻轉，有效保護了UV膜盤上的芯片，避免芯片掉落和刮傷，并在10s以內完成一片出料，從而節省了人力，提高了產品質量，降低了生產成本，并且提升了生產效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它附圖。

圖1是本實用新型實施例提供的UV膜盤多工位搬送翻轉機構結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例提供的UV膜盤多工位搬送翻轉機構中的雙軸運動平臺的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例提供的UV膜盤多工位搬送翻轉機構中的第一搬送組件的立體圖及爆炸圖；