[實用新型]一種UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720641119.6 | 申請日: | 2017-06-05 |
| 公開(公告)號: | CN206907746U | 公開(公告)日: | 2018-01-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 林宜龍;陳薇;黎滿標;林清嵐 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳格蘭達智能裝備股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司44202 | 代理人: | 郝傳鑫 |
| 地址: | 518109 廣東省深圳市坪*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 uv 膜盤多工位搬送 翻轉(zhuǎn) 機構(gòu) | ||
1.一種UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu)包括第一搬送組件(5)、第二搬送組件(6)和雙軸運動平臺(7),所述雙軸運動平臺(7)包括沿水平方向的滑軌(9),所述第一搬送組件(5)和第二搬送組件(6)能夠沿所述滑軌(9)運動,實現(xiàn)多工位搬送;
所述第二搬送組件(6)包括升降裝置、夾料裝置和旋轉(zhuǎn)裝置,所述旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)氣缸(25),所述夾料裝置包括夾爪,所述旋轉(zhuǎn)氣缸(25)驅(qū)動所述夾爪旋轉(zhuǎn),所述夾爪帶動UV膜盤翻轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述雙軸運動平臺(7)還包括支撐組件、驅(qū)動組件和傳動帶組件;
所述支撐組件支撐所述其他組件;
所述驅(qū)動組件包括第一驅(qū)動電機(15)、第二驅(qū)動電機(12);
所述傳動帶組件包括第一傳動帶(14)、第二傳動帶(13),所述第一傳動帶(14)與所述第二傳動帶(13)在豎直平面內(nèi)平行且存在重疊區(qū)(35),所述第一驅(qū)動電機(15)帶動第一傳動帶(14)運動,所述第二驅(qū)動電機(12)帶動第二傳動帶(13)運動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述雙軸運動平臺(7)還包括光電傳感器(10),所述光電傳感器(10)設(shè)置于所述第一傳動帶(14)與所述第二傳動帶(13)的重疊區(qū)(35),用于感應(yīng)所述重疊區(qū)(35)是否有搬送組件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述第一驅(qū)動電機(15)、第二驅(qū)動電機(12)和旋轉(zhuǎn)氣缸(25)能同時工作,帶動第一搬送組件(5)和第二搬送組件(6)同時搬送,并在第二搬送組件(6)進行搬送工作時實現(xiàn)對膜盤(16)的翻轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述第一搬送組件(5)包括第一滑塊(8)、豎直方向的Z軸移動平臺(19)、支撐架(36)、真空吸盤(17)和真空壓力開關(guān)(18),所述第一滑塊(8)能夠沿所述滑軌(9)運動,所述Z軸移動平臺(19)固定于第一滑塊(8),所述支撐架(36)與所述Z軸移動平臺(19)固定連接,所述支撐架(36)設(shè)置有真空壓力開關(guān)(18),所述真空吸盤(17)安裝在支撐架底面。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:
所述第二搬送組件(6)的升降裝置包括第二滑塊(11)、頂板(37)、底板(38)、升降氣缸(20)和導(dǎo)桿(22),所述第二滑塊(11)能夠沿所述滑軌(9)運動,所述頂板(37)垂直固定于第二滑塊(11),所述升降氣缸(20)垂直安裝于所述頂板(37),所述導(dǎo)桿(22)安裝在頂板(37)邊緣并穿過頂板(37)與底板(38)固定連接;
所述夾料裝置包括夾料氣缸(23)、夾料臂、夾爪,所述夾料氣缸(23)安裝在所述底板(38)上,所述夾爪與所述夾料臂連接,所述夾料氣缸(23)通過驅(qū)動夾料臂帶動夾爪移動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述底板(38)設(shè)置有沿水平方向的直線滑軌(24),所述夾料臂能夠沿所述直線滑軌(24)運動。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述夾料氣缸(23)、夾料臂、夾爪和直線滑軌(24)的數(shù)量都為兩個,且對稱設(shè)置在所述底板(38)的兩側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述夾爪包括第一夾爪(27)和第二夾爪(28),所述夾料臂包括第一夾料臂(39)和第二夾料臂(40),所述第二夾爪(28)與第二夾料臂(40)連接,所述第二夾爪(28)與第二夾料臂(40)連接的一側(cè)設(shè)有圓孔卡位,所述第二夾料臂(40)設(shè)置有與所述圓孔卡位配合的球頭柱塞(29),所述圓孔卡位與球頭柱塞(29)相配合使所述第二夾爪(28)只能旋轉(zhuǎn)0度或180度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項所述的UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu),其特征在于:所述UV膜盤多工位搬送翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的氣源和電源由電氣系統(tǒng)提供。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





