[實用新型]光伏清洗設(shè)備用噴淋系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720606126.2 | 申請日: | 2017-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN207009409U | 公開(公告)日: | 2018-02-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王輝 | 申請(專利權(quán))人: | 常州市杰洋精密機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32258 | 代理人: | 鄭云 |
| 地址: | 213000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 清洗 備用 噴淋 系統(tǒng) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及光伏制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種光伏清洗設(shè)備用噴淋系統(tǒng)。
背景技術(shù)
在光伏系統(tǒng)用硅片生產(chǎn)制造中,需要對硅片表面進行制絨清洗工序。在進行制絨清洗時,制絨清洗是要在多個反應(yīng)池內(nèi)按工序分別浸泡,在完成上一道浸泡后的硅片表面,會附著上一道工序所使用的浸泡液,此時為了保證上一道工序的浸泡液不會對下一工序造成污染、沖淡等影響,需要對硅片進行沖洗。
在制絨工序中,可采用人工推出硅片沖洗,也可采用機械手夾出硅片花籃對硅片進行沖洗。當使用人工進行沖洗時,需要較多人工且沖洗過程存在污染,沖洗人員需要準備較為完備的保護措施。一般制絨工序中使用的浸泡液為酸性或者堿性并具有揮發(fā)性,當使用普通PE管作為沖洗管時,機內(nèi)揮發(fā)的酸液或者堿液會腐蝕沖洗管表面,沖洗管使用壽命較短。
實用新型內(nèi)容
本實用新型要解決的技術(shù)問題是:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中之不足,本實用新型提供一種可通過機械手段直接在機內(nèi)對硅片進行噴淋沖洗,減少人工成本,具有較強的耐腐蝕性能,使用壽命較長的光伏清洗設(shè)備用噴淋系統(tǒng)。
本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種光伏清洗設(shè)備用噴淋系統(tǒng),用于光伏清洗機內(nèi),安裝在藥水槽體上方,包括可抓取藥水槽體內(nèi)硅片的機械手,所述機械手上固定有與外部噴淋液泵管路連通的噴淋管,所述噴淋管端部固定有隨動噴淋頭,噴淋管外包裹有防腐外包層;所述的藥水槽體上方轉(zhuǎn)動設(shè)有傾斜式可開合門板,所述傾斜式可開合門板下方則具有承接門板處下落噴淋液的噴淋回收槽,噴淋回收槽底部連接并貫通外部噴淋液回收管路。
進一步的,防腐外包層為PTFE外包層。PTFE全稱為聚四氟乙烯,具有抗酸抗堿、抗各種有機溶劑的特點,幾乎不溶于所有的溶劑,由PTFE外包層包裹的噴淋管,具有良好的抗腐蝕性能,不受揮發(fā)的浸泡液影響,具有較長的使用壽命。
噴淋回收槽包括分別設(shè)置在門板兩側(cè)下方的傾斜式回收槽和與外部回收液管路連通的垂直導(dǎo)槽,所述的傾斜式回收槽與垂直導(dǎo)槽連通,且傾斜式回收槽底部傾斜設(shè)置且最低處與垂直導(dǎo)槽連通,所述垂直導(dǎo)槽與外部噴淋液回收管路貫通。傾斜設(shè)置的傾斜式回收槽,可便于收集噴淋液并將噴淋液在重力作用下引導(dǎo)至垂直導(dǎo)槽,便于外部噴淋液回收管路收集噴淋液,避免噴淋液落入藥液槽體內(nèi)污染藥液。
進一步的,為了便于門板轉(zhuǎn)動開啟閉合,藥水槽體側(cè)面具有推動門板轉(zhuǎn)動的推動裝置,所述推動裝置包括固定在藥水槽體側(cè)面的氣缸,所述氣缸活塞桿端部鉸接有連接片,連接片另一端與門板端部固定。通過氣缸即可方便控制門板開啟閉合,便于在提起硅片進行下一步浸泡操作前,預(yù)先噴淋沖洗干凈硅片,避免硅片表面殘液污染下一浸泡液。
本實用新型的有益效果是,本實用新型提供的光伏清洗設(shè)備用噴淋系統(tǒng),用于在制絨工序中對硅片表面進行沖洗,通過與機械手同步運動的噴淋管可對硅片進行沖洗,沖洗后的噴淋液可被下方噴淋回收槽收集回收,在降低人力使用成本,有效避免在上一浸泡池浸泡后的硅片表面附帶的浸泡液對下一浸泡池造成污染,且在噴淋管外壁包裹PTFE外包層,使噴淋管具有良好的耐腐蝕性能,不受揮發(fā)的浸泡液影響,具有較長的使用壽命。
附圖說明
下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1中A-A處的剖視放大圖。
圖中1、藥水槽體 2、機械手 3、噴淋管 4、隨動噴淋頭 5、防腐外包層 6、門板 7、傾斜式回收槽 8、垂直導(dǎo)槽 9、氣缸 10、連接片 11、門板限位條。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。
如圖1和圖2所示的一種光伏清洗設(shè)備用噴淋系統(tǒng)是本實用新型最優(yōu)實施例,用于光伏清洗機內(nèi),安裝在藥水槽體1上方,包括可抓取藥水槽體1內(nèi)硅片的機械手2。所述機械手2上固定有與外部噴淋液泵管路連通的噴淋管3,所述噴淋管3端部固定有隨動噴淋頭4,噴淋管3外包裹有防腐外包層5。防腐外包層5為PTFE外包層。PTFE全稱為聚四氟乙烯,具有抗酸抗堿、抗各種有機溶劑的特點,幾乎不溶于所有的溶劑,由PTFE外包層包裹的噴淋管3,具有良好的抗腐蝕性能,不受揮發(fā)的浸泡液影響,具有較長的使用壽命。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





