[實用新型]光伏清洗設備用噴淋系統有效
| 申請號: | 201720606126.2 | 申請日: | 2017-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN207009409U | 公開(公告)日: | 2018-02-13 |
| 發明(設計)人: | 王輝 | 申請(專利權)人: | 常州市杰洋精密機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258 | 代理人: | 鄭云 |
| 地址: | 213000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 清洗 備用 噴淋 系統 | ||
1.一種光伏清洗設備用噴淋系統,用于光伏清洗機內,安裝在藥水槽體(1)上方,其特征在于:包括可抓取藥水槽體(1)內硅片的機械手(2),所述機械手(2)上固定有與外部噴淋液泵管路連通的噴淋管(3),所述噴淋管(3)端部固定有隨動噴淋頭(4),噴淋管(3)外包裹有防腐外包層(5);所述的藥水槽體(1)上方轉動設有傾斜式可開合門板(6),所述傾斜式可開合門板(6)下方則具有承接門板(6)處下落噴淋液的噴淋回收槽,所述噴淋回收槽底部連接并貫通外部噴淋液回收管路。
2.如權利要求1所述的光伏清洗設備用噴淋系統,其特征在于:所述的噴淋管(3)為PU管,防腐外包層(5)為PTFE外包層。
3.如權利要求1所述的光伏清洗設備用噴淋系統,其特征在于:所述的噴淋回收槽包括分別設置在門板(6)兩側下方的傾斜式回收槽(7)和與外部回收液管路連通的垂直導槽(8),所述的傾斜式回收槽(7)與垂直導槽(8)連通,且傾斜式回收槽(7)底部傾斜設置且最低處與垂直導槽(8)連通,所述垂直導槽(8)與外部噴淋液回收管路貫通。
4.如權利要求1所述的光伏清洗設備用噴淋系統,其特征在于:所述的藥水槽體(1)側面具有推動門板轉動的推動裝置,所述推動裝置包括固定在藥水槽體側面的氣缸(9),所述氣缸(9)活塞桿端部鉸接有連接片(10),連接片(10)另一端與門板(6)端部固定。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





