[實(shí)用新型]一種用于動態(tài)觀察碲鋅鎘材料化學(xué)腐蝕坑的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720603943.2
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN207007672U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 虞慧嫻;楊建榮;孫士文
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號: G01N17/00
• 分類號: G01N17/00
• 代理公司: 上海滬慧律師事務(wù)所31311
• 代理人: 李秀蘭

1.一種用于動態(tài)觀察碲鋅鎘材料化學(xué)腐蝕坑的裝置，由樣品腐蝕單元(1)、自動進(jìn)液單元(2)、廢液回收單元(3)和觀察測控單元(4)組成，其特征在于：

所述樣品腐蝕單元(1)由腐蝕槽(1-1)、主進(jìn)液管(1-2)、腐蝕液分進(jìn)液管(1-3)、腐蝕液進(jìn)液閥(1-4)、清洗液分進(jìn)液管(1-5)、清洗液進(jìn)液閥(1-6)、排液管(1-7)、排液閥(1-8)、密封圈(1-9)、槽蓋(1-10)和固定螺釘組成，樣品腐蝕單元(1)通過分進(jìn)液管(1-3，1-5)與自動進(jìn)液單元(2)相連接，樣品腐蝕單元(1)通過排液管(1-7)與廢液回收單元(3)相連接；

所述自動進(jìn)液單元(2)由腐蝕液儲液罐(2-1)、腐蝕液進(jìn)液泵(2-2)、清洗液儲液罐(2-3)以及清洗液進(jìn)液泵(2-4)組成，每個(gè)進(jìn)液泵兩端通過軟管分別與一個(gè)儲液罐(2-1，2-3)和一根分進(jìn)液管(1-3，1-5)相連接，啟動自動進(jìn)液單元(2)可自動將儲液罐(2-1，2-3)中的腐蝕液和清洗液同時(shí)或者順序注入腐蝕槽(1-1)；

所述廢液回收單元(3)由廢液罐(3-1)和排液泵(3-2)組成，排液泵(3-2)通過軟管分別與廢液罐(3-1)和排液管(1-7)相連接，啟動廢液回收單元(3)可將腐蝕槽(1-1)中的液體自動排入廢液罐(3-1)；

所述觀察測控單元(4)由顯微鏡、CCD相機(jī)、測控軟件以及存儲設(shè)備組成，其中顯微鏡的觀察模式在可見光反射和紅外光透射之間切換，整體放大倍數(shù)在50倍到1000倍之間可調(diào)；

將樣品放置在腐蝕槽(1-1)中，使用顯微鏡選擇待腐蝕觀察的區(qū)域，通過腐蝕液進(jìn)液泵(2-2)將腐蝕液注入到腐蝕槽(1-1)中對樣品進(jìn)行腐蝕，啟動排液泵(3-2)，腐蝕過程中腐蝕槽(1-1)中的腐蝕液不斷交替更新，同時(shí)產(chǎn)生的廢液被即時(shí)收集到廢液罐(3-1)中，腐蝕過程中通過顯微鏡與CCD相機(jī)動態(tài)觀察和記錄材料腐蝕坑形成演變狀態(tài)，腐蝕結(jié)束后，通過清洗液進(jìn)液泵(2-4)將清洗液注入到腐蝕槽(1-1)中，直到樣品洗凈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于動態(tài)觀察碲鋅鎘材料化學(xué)腐蝕坑的裝置，其特征在于：所述腐蝕槽(1-1)由耐腐蝕材料制備，形狀為具有一定深度的不規(guī)則槽體，槽體右側(cè)連接主進(jìn)液管(1-2)，主進(jìn)液管內(nèi)孔與腐蝕槽(1-1)的內(nèi)部相通，由主進(jìn)液管(1-2)分出若干腐蝕液分進(jìn)液管(1-3)與清洗液分進(jìn)液管(1-5)，每根分進(jìn)液管上都安裝有單獨(dú)控制的進(jìn)液閥，包括腐蝕液進(jìn)液閥(1-4)和清洗液進(jìn)液閥(1-6)，分別控制多種腐蝕液與清洗液的進(jìn)液，腐蝕槽(1-1)左側(cè)下部連接排液管(1-7)，排液管內(nèi)孔與腐蝕槽(1-1)的內(nèi)部相通，排液管(1-7)上安裝有排液閥(1-8)；腐蝕槽(1-1)上表面四周有螺紋孔若干，用于安裝固定螺釘；槽蓋(1-10)與腐蝕槽(1-1)上表面形狀大小相同，材質(zhì)為透明材料，可用于光學(xué)觀察，四周有通孔若干與腐蝕槽(1-1)上表面螺紋孔相對應(yīng)，腐蝕槽(1-1)和槽蓋(1-10)之間設(shè)耐腐蝕的密封圈(1-9)，安裝固定螺釘并通過密封圈(1-9)將槽蓋(1-10)與腐蝕槽(1-1)密封固定；腐蝕槽(1-1)為可進(jìn)行顯微觀察的密封槽體，內(nèi)部腐蝕液及其揮發(fā)性氣體無泄露，同時(shí)連接了多種腐蝕液和清洗液。