[實用新型]一種曝光機光強調節裝置

有效

• 申請號: 201720595338.5
• 申請日: 2017-05-25
• 公開（公告）號: CN206741198U
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 胡超;薛棟;寧鵬飛
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司11505
• 代理人: 孟潭

1.一種曝光機光強調節裝置，包括分光裝置，所述分光裝置的輸出端口與積光器間形成照射光路，其特征在于所述輸出端口與所述積光器間設置半透半反射鏡和第二分光裝置，所述半透半反射鏡設置在所述照射光路上，所述第二分光裝置的輸入端口朝向所述半透半反射鏡的反射面，所述第二分光裝置的輸出端口與所述分光裝置間建立補償光路。

2.如權利要求1所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于所述半透半反射鏡的反射面設置反射率單調變化的反射鍍膜。

3.如權利要求2所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于所述反射鍍膜為所述反射面上平行布設的反射鍍膜條帶，所述反射鍍膜條帶的反射率延所述平行布設方向單調變化。

4.如權利要求2所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于所述反射鍍膜為自內向外布設的環形的反射鍍膜條帶，所述反射鍍膜條帶的反射率沿徑向方向單調變化。

5.如權利要求1所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于所述半透半反射鏡的反射面與所述照射光路方向保持固定夾角，所述半透半反射鏡通過位移機構受控移動。

6.如權利要求1所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于一個所述照射光路對應的所述第二分光裝置的輸出端口通過纖維光導與其他所述照射光路對應的所述分光裝置的輸出端口建立補償光路。

7.如權利要求1所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于所述照射光路對應的所述第二分光裝置的輸出端口通過纖維光導與所述分光裝置的補償輸入端口間建立補償光路。

8.如權利要求1所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于所述積光器采用復眼鏡頭。

9.如權利要求1所述的曝光機光強調節裝置，其特征在于所述分光裝置和第二分光裝置采用光纖分光器。