[實用新型]一種高效硅晶片熱場長晶裝置

有效

• 申請號: 201720589450.8
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN206418219U
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 陳旭光;張濤;孫鵬
• 申請（專利權）人: 鎮江仁德新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 陳國強

1.一種高效硅晶片熱場長晶裝置，其特征在于：包括爐體(9)，以及設置于爐體外的冷卻器(8)，爐體(9)內設置有保溫裝置(11)，保溫裝置(11)內設置有坩堝(2)，坩堝(2)的外側包覆有坩堝護板(1)，坩堝護板(1)外設置有用于對坩堝(2)加熱形成熱場的加熱器(10)，所述坩堝護板(1)底部設置有冷凝板(3)，冷凝板(3)連接有冷卻管(4)，冷卻管與冷卻器(8)連接。

2.根據權利要求1所述的高效硅晶片熱場長晶裝置，其特征在于：所述冷卻管(4)內設置有導流管(5)。

3.根據權利要求1或2所述的高效硅晶片熱場長晶裝置，其特征在于：所述冷卻管(4)通過接頭(6)連接有連接管(7)，連接管(7)與冷卻器(8)連接。

4.根據權利要求1所述的高效硅晶片熱場長晶裝置，其特征在于：所述冷卻管(4)的端部插入冷凝板(3)內部，與坩堝護板(1)底部接觸。

5.根據權利要求4所述的高效硅晶片熱場長晶裝置，其特征在于：所述冷卻管(4)與坩堝護板(1)接觸位置位于坩堝護板(1)底部的中心點處。

6.根據權利要求1所述的高效硅晶片熱場長晶裝置，其特征在于：所述加熱器(10)包括設置于坩堝護板(1)側邊的環形加熱器，以及位于坩堝護板(1)頂部上方的加熱器。