[實用新型]真空操縱系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720587454.2
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN206806286U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金浩
• 申請（專利權(quán)）人: 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海弼興律師事務(wù)所31283
• 代理人: 薛琦,曾鶯華

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種真空操縱系統(tǒng)，特別涉及一種引出電極的真空操縱系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在大氣環(huán)境中，如果需要同時使得物體在兩個方向上線性移動具有多種實現(xiàn)方式。但是當(dāng)被移動的物體位于真空腔中時，這種線性移動就遇到了困難。一般來說，出于設(shè)備的精簡和布線的便利性考慮，驅(qū)動器(例如電機(jī))都是位于真空腔外的大氣環(huán)境中的，而被驅(qū)動物(例如離子注入機(jī)的引出電極)則是被置于真空腔中的。這樣一來就需要將大氣環(huán)境中的驅(qū)動力傳遞到真空中，由此衍生出真空密封和力的傳遞問題，必須在保證真空腔真空度的條件下完成力的傳遞。

一般來說，線性移動可以采用波紋管來實現(xiàn)，但是通過波紋管的移動只能實現(xiàn)一維的線性移動，如果要同時使得被驅(qū)動物實現(xiàn)在兩個方向上的移動就比較困難了，特別是在兩個相互垂直的方向上移動。因為波紋管的彎折度是有限的，難以實現(xiàn)90度的彎折；如果采用兩根以相互垂直的角度連接的波紋管來實現(xiàn)二維方向上的移動，先不說移動行程的精確性，移動的穩(wěn)定性都很難保障。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中同時使真空腔中的被驅(qū)動物實現(xiàn)在兩個方向上的移動比較困難的缺陷，提供一種真空操縱系統(tǒng)。

本實用新型是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題的：

一種真空操縱系統(tǒng)，用于操縱一被驅(qū)動物在真空條件下的移動，其特點在于，所述真空操縱系統(tǒng)包括：

真空密封裝置，所述真空密封裝置設(shè)有真空腔和若干驅(qū)動孔，所述驅(qū)動孔與所述真空腔連通；

驅(qū)動平臺，所述驅(qū)動平臺位于所述真空腔內(nèi)；

驅(qū)動部件，所述驅(qū)動部件穿設(shè)于所述驅(qū)動孔，且所述驅(qū)動部件的一端位于所述真空腔內(nèi)且與所述驅(qū)動平臺連接，所述驅(qū)動部件的另一端位于真空密封裝置外；

波紋管，所述波紋管用于密封所述驅(qū)動部件和所述驅(qū)動孔之間的間隙；

關(guān)節(jié)部件，所述關(guān)節(jié)部件位于所述真空腔內(nèi)，所述關(guān)節(jié)部件的一端與所述被驅(qū)動物連接，所述關(guān)節(jié)部件的另一端與所述驅(qū)動平臺連接；

其中，所述驅(qū)動部件驅(qū)動所述驅(qū)動平臺、所述驅(qū)動平臺驅(qū)動所述關(guān)節(jié)部件，所述關(guān)節(jié)部件帶動所述被驅(qū)動物在真空條件下移動。

在本技術(shù)方案中，通過將驅(qū)動部件、波紋管和真空密封裝置結(jié)合，簡化了真空操縱系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)；同時，本實用新型的真空操縱系統(tǒng)即實現(xiàn)了真空腔的真空密封，又實現(xiàn)了驅(qū)動部件與真空腔結(jié)合的結(jié)構(gòu)，優(yōu)化了真空操縱系統(tǒng)的整體功能；在本技術(shù)方案中，通過述驅(qū)動部件驅(qū)動驅(qū)動平臺、驅(qū)動平臺驅(qū)動關(guān)節(jié)部件，關(guān)節(jié)部件帶動被驅(qū)動物在真空條件下移動，而實現(xiàn)被驅(qū)動物在不同方向的移動。

較佳地，所述真空密封裝置包括：

主體框架，所述主體框架設(shè)有第一真空腔和開口，所述開口與所述第一真空腔連通；

操縱器軀干，所述操縱器軀干對應(yīng)于所述開口設(shè)置，且所述操縱器軀干密封連接于所述主體框架，所述操縱器軀干設(shè)有第二真空腔；

其中，所述第二真空腔與所述第一真空腔連通并形成所述真空腔，所述驅(qū)動孔設(shè)于所述操縱器軀干。

在本技術(shù)方案中，通過設(shè)置操縱器軀干，縮小了真空操縱系統(tǒng)的整體體積，并簡化了真空操縱系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。

較佳地，所述操縱器軀干可拆卸地連接于所述主體框架。

較佳地，所述波紋管對應(yīng)于所述驅(qū)動部件設(shè)置，且所述波紋管的一端密封連接于所述真空密封裝置的外壁，所述波紋管的另一端與所述驅(qū)動部件連接，所述驅(qū)動部件穿設(shè)于所述波紋管。

較佳地，所述驅(qū)動部件包括第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件，所述第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件均與所述驅(qū)動平臺連接，且所述第一驅(qū)動部件的移動方向和第二驅(qū)動部件的移動方向設(shè)有夾角。

在本技術(shù)方案中，通過設(shè)置不同移動方向的第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件，實現(xiàn)了被驅(qū)動物在真空腔中不同方向的移動。

較佳地，所述夾角為90度。

較佳地，所述第一驅(qū)動部件包括一驅(qū)動臂，所述驅(qū)動臂為L形；

所述驅(qū)動臂包括驅(qū)動桿和驅(qū)動連接桿，所述驅(qū)動桿的一端與所述波紋管連接，所述驅(qū)動桿的中心軸線與所述第一驅(qū)動部件的移動方向平行，所述驅(qū)動連接桿的中心軸線垂直于所述驅(qū)動桿的中心軸線，且所述驅(qū)動連接桿的一端套設(shè)于所述驅(qū)動桿的另一端；

所述驅(qū)動桿套設(shè)有第一萬向節(jié)，所述第一萬向節(jié)用于保持所述驅(qū)動桿的移動方向。

在本技術(shù)方案中，通過設(shè)置驅(qū)動臂的結(jié)構(gòu)，縮小了第一驅(qū)動部件的整體占用空間，同時簡化了真空操縱系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)。在本技術(shù)方案中，通過在驅(qū)動桿套設(shè)第一萬向節(jié)，保證了驅(qū)動桿沿移動方向移動的穩(wěn)定性及移動方向的精確度。

較佳地，所述驅(qū)動平臺包括：