[實用新型]真空操縱系統

有效

• 申請號: 201720587454.2
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN206806286U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 金浩
• 申請（專利權）人: 上海凱世通半導體股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海弼興律師事務所31283
• 代理人: 薛琦,曾鶯華

1.一種真空操縱系統，用于操縱一被驅動物在真空條件下的移動，其特征在于，所述真空操縱系統包括：

真空密封裝置，所述真空密封裝置設有真空腔和若干驅動孔，所述驅動孔與所述真空腔連通；

驅動平臺，所述驅動平臺位于所述真空腔內；

驅動部件，所述驅動部件穿設于所述驅動孔，且所述驅動部件的一端位于所述真空腔內且與所述驅動平臺連接，所述驅動部件的另一端位于真空密封裝置外；

波紋管，所述波紋管用于密封所述驅動部件和所述驅動孔之間的間隙；

關節部件，所述關節部件位于所述真空腔內，所述關節部件的一端與所述被驅動物連接，所述關節部件的另一端與所述驅動平臺連接；

其中，所述驅動部件驅動所述驅動平臺、所述驅動平臺驅動所述關節部件，所述關節部件帶動所述被驅動物在真空條件下移動。

2.如權利要求1所述的真空操縱系統，其特征在于，所述真空密封裝置包括：

主體框架，所述主體框架設有第一真空腔和開口，所述開口與所述第一真空腔連通；

操縱器軀干，所述操縱器軀干對應于所述開口設置，且所述操縱器軀干密封連接于所述主體框架，所述操縱器軀干設有第二真空腔；

其中，所述第二真空腔與所述第一真空腔連通并形成所述真空腔，所述驅動孔設于所述操縱器軀干。

3.如權利要求2所述的真空操縱系統，其特征在于，所述操縱器軀干可拆卸地連接于所述主體框架。

4.如權利要求1所述的真空操縱系統，其特征在于，所述波紋管對應于所述驅動部件設置，且所述波紋管的一端密封連接于所述真空密封裝置的外壁，所述波紋管的另一端與所述驅動部件連接，所述驅動部件穿設于所述波紋管。

5.如權利要求1所述的真空操縱系統，其特征在于，所述驅動部件包括第一驅動部件和第二驅動部件，所述第一驅動部件和第二驅動部件均與所述驅動平臺連接，且所述第一驅動部件的移動方向和第二驅動部件的移動方向設有夾角。

6.如權利要求5所述的真空操縱系統，其特征在于，所述夾角為90度。

7.如權利要求5所述的真空操縱系統，其特征在于，所述第一驅動部件包括一驅動臂，所述驅動臂為L形；

所述驅動臂包括驅動桿和驅動連接桿，所述驅動桿的一端與所述波紋管連接，所述驅動桿的中心軸線與所述第一驅動部件的移動方向平行，所述驅動連接桿的中心軸線垂直于所述驅動桿的中心軸線，且所述驅動連接桿的一端套設于所述驅動桿的另一端；

所述驅動桿套設有第一萬向節，所述第一萬向節用于保持所述驅動桿的移動方向。

8.如權利要求5所述的真空操縱系統，其特征在于，所述驅動平臺包括：

第一軀干平臺，所述第一軀干平臺的一端設有第一滑塊，所述第一滑塊滑設于第一導軌，所述第一軀干平臺的另一端設有第二導軌，所述第二驅動部件與所述第一軀干平臺連接；

中間軀干平臺，所述中間軀干平臺與所述第一軀干平臺相對應的一端設有第二滑塊，所述第二滑塊滑設于所述第二導軌，所述中間軀干平臺還設有第三滑塊；

第二軀干平臺，所述第二軀干平臺與所述中間軀干平臺聯動，所述第二軀干平臺設有第三導軌，所述第三滑塊滑設于所述第三導軌，所述第一驅動部件與所述第二軀干平臺連接；

其中，所述第一滑塊與所述第三滑塊的移動方向平行，所述第二滑塊的移動方向與所述第三滑塊的移動方向形成有所述夾角。

9.如權利要求8所述的真空操縱系統，其特征在于，所述第二軀干平臺穿設于所述中間軀干平臺，且所述第二軀干平臺抵靠于所述中間軀干平臺。

10.如權利要求8中所述的真空操縱系統，其特征在于，所述第二軀干平臺設有軸套和第二萬向節，所述第一驅動部件的一端穿設于所述軸套，所述第二萬向節套設于所述軸套外。

11.如權利要求1所述的真空操縱系統，其特征在于，所述驅動平臺包括第一驅動平臺和第二驅動平臺，所述第一驅動平臺和第二驅動平臺相對設置；

所述關節部件包括主關節部件和從關節部件，所述主關節部件的一端與所述被驅動物的一端連接，所述主關節部件的另一端與所述第一驅動平臺連接，所述從關節部件的一端與所述被驅動物的另一端連接，所述從關節部件的另一端與所述第二驅動平臺連接。