[實用新型]一種雙層掩膜版組件和蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201720578925.3
• 申請日: 2017-05-23
• 公開（公告）號: CN207109079U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 趙蓉;金龍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274
• 代理人: 申健

技術領域

本實用新型涉及顯示技術領域，尤其涉及一種雙層掩膜版組件和蒸鍍裝置。

背景技術

有機電致發光二極管(英文全稱：Organic Light-Emitting Diode，英文簡稱：OLED)顯示屏具備無需背光，對比度高、厚度薄和視角廣等優異特性，被越來越多的應用于顯示設備。

OLED顯示屏生產過程中需要通過與OLED發光顯示單元精度相適應的掩膜版組件將有機層蒸鍍到基版上，形成OLED發光顯示單元。現有技術中在制造OLED顯示屏時會用到一種雙層掩膜版組件，該雙層掩膜版是通過在開口掩膜版(英文全稱：Open Mask)組件(即開口掩膜版焊接在掩膜版框架上之后組成的組件)上進行精細金屬掩膜版(也可以稱為高精度金屬掩膜版，英文全稱：Fine Metal Mask，簡稱：FMM) 的張網焊接(即為精細金屬掩膜版施加一定的張網力使其平整之后進行焊接)實現的，具體的，在開口掩膜版組件上焊接精細金屬掩膜版是將精細金屬掩膜版焊接在該開口掩膜版組件中的掩膜版框架上。

將精細金屬掩膜版焊接在該開口掩膜版組件中的掩膜版框架上之后，由于焊點的支撐，上述雙層掩膜版中開口掩膜版和精細金屬掩膜版之間會存在一定的間隙，無法緊密貼合，如此在焊接完成并釋放施加在FMM上的張網力之后，精細金屬掩膜版會出現褶皺。因此在使用上述雙層掩膜版進行蒸鍍時，會因為該雙層掩膜版存在的褶皺，而降低蒸鍍的良率。

實用新型內容

本實用新型的實施例提供一種雙層掩膜版組件和蒸鍍裝置，用于解決雙層掩膜版中開口掩膜版和精細金屬掩膜版無法緊密貼合的問題。

為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案：

第一方面，提供一種雙層掩膜版組件，該雙層掩膜版組件包括：

第一掩膜版；

第一掩膜版框架，第一掩膜版固定在第一掩膜版框架上，在第一掩膜版框架固定第一掩膜版的表面上、且未被第一掩膜版覆蓋的區域內設置有第一卡接部；

第二掩膜版；

第二掩膜版框架，第二掩膜版固定在第二掩膜版框架上，在第二掩膜版框架固定第二掩膜版的表面上、且未被第二掩膜版覆蓋的區域內設置有第二卡接部；

第一掩膜版框架固定第一掩膜版的表面與第二掩膜版框架固定第二掩膜版的表面相對設置，且第一卡接部與第二卡接部卡合，以便第一掩膜版和第二掩膜版相貼合。

可選的，第一卡接部為凸起；第二卡接部為凹槽或鏤空部。

可選的，凸起為圍繞第一掩膜版一周的環形凸起。

可選的，凹槽為圍繞第二掩膜版一周的環形凹槽。

可選的，第一掩膜版框架包括4個邊框，第一掩膜版跨接固定在相對設置的第一邊框和第二邊框上，凸起設置在相對設置的第三邊框和第四邊框上。

可選的，第一掩膜版為開口掩膜版，第二掩膜版為精細金屬掩膜版。

可選的，第一掩膜版為精細金屬掩膜版，第二掩膜版為開口掩膜版。

第二方面，提供一種蒸鍍裝置，該裝置包括蒸鍍源和上述第一方面所述的雙層掩膜版組件。

可選的，上述雙層掩膜版組件中的精細金屬掩膜版靠近蒸鍍源一側。

本實用新型實施例提供的雙層掩膜版組件，該雙層掩膜版組件包括：第一掩膜版、第一掩膜版框架、第二掩膜版和第二掩膜版框架；其中，第一掩膜版固定在第一掩膜版框架上，在第一掩膜版框架固定第一掩膜版的表面上、且未被第一掩膜版覆蓋的區域內設置有第一卡接部；第二掩膜版固定在第二掩膜版框架上，在第二掩膜版框架固定第二掩膜版的表面上、且未被第二掩膜版覆蓋的區域內設置有第二卡接部；以及第一掩膜版框架固定第一掩膜版的表面與第二掩膜版框架固定第二掩膜版的表面相對設置，且第一卡接部與第二卡接部卡合，以便第一掩膜版和第二掩膜版相貼合。因此，該雙層掩膜版組件中，第一掩膜版和第二掩膜版之間可以緊密貼合，從而可以消除該雙層掩膜版存在的褶皺，進而可以提高蒸鍍的良率。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供的雙層掩膜版組件的結構示意圖一；

圖2為本實用新型實施例提供的第一掩膜版和第一掩膜版框架的結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例提供的第一掩膜版固定在第一掩膜版框架上的結構示意圖

圖4為本實用新型實施例提供的第二掩膜版和第二掩膜版框架的結構示意圖；

圖5為本實用新型實施例提供的第二掩膜版固定在第二掩膜版框架上的結構示意圖；

圖6為本實用新型實施例提供的精細金屬掩膜版條的結構示意圖；