[實(shí)用新型]用于LOW?K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720560631.8
• 申請(qǐng)日: 2017-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN206747810U
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施心星;邵西河;張文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州鐳明激光科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/70
• 分類號(hào): B23K26/70
• 代理公司: 蘇州唯亞智冠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司32289
• 代理人: 李麗

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種激光加工裝置，尤其涉及一種用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置。

背景技術(shù)

近年來半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，中國(guó)已成為IGBT,LED等半導(dǎo)體芯片最大消費(fèi)國(guó)，而且每年以30％以上的速度增長(zhǎng)，未來5年，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將進(jìn)入黃金時(shí)代，當(dāng)前各大半導(dǎo)體廠商都在進(jìn)行產(chǎn)能擴(kuò)建，以滿足日益增長(zhǎng)的消費(fèi)需求。

眾所周知，半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的表現(xiàn)與整體半導(dǎo)體業(yè)的景氣度密不可分，以往的半導(dǎo)體設(shè)備基本上是靠國(guó)外進(jìn)口，而基于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置是半導(dǎo)體芯片制程上尤為重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，因此急需研發(fā)一款國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)LOW-K開槽的激光加工裝置，以彌補(bǔ)國(guó)家在該領(lǐng)域的空白。同時(shí)會(huì)極大的降低整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的制造成本，較傳統(tǒng)加工效率有50％以上的提升。

有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置。

本實(shí)用新型的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置，包括有承載支架，其中：所述承載支架上安裝有全自動(dòng)上下料組件，所述自動(dòng)上下料組件下料出口處，設(shè)置有清洗涂覆組件，所述承載支架上還安裝有激光器，所述激光器的光路輸出端，安裝有光路組件，所述光路組件的光路輸出端與清洗涂覆組件的出料端設(shè)置有加工組件。

進(jìn)一步地，上述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置，其中，所述全自動(dòng)上下料組件包括有料盒軸，所述料盒軸上通過中轉(zhuǎn)軸、夾片軸與上料軸相連，所述上料軸上安裝有上料第一吸盤，所述夾片軸上還連接有下料軸，所述下料軸上安裝有下料第二吸盤。

更進(jìn)一步地，上述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置，其中，所述清洗涂覆組件，包括有旋轉(zhuǎn)主軸，所述旋轉(zhuǎn)主軸上分別連接有清洗軸與涂覆軸，所述清洗軸上安裝有清洗噴頭，所述涂覆軸上安裝有涂覆噴頭或是涂覆塊。

更進(jìn)一步地，上述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置，其中，所述光路組件包括有光閘，所述光閘的光路輸出端設(shè)置有擴(kuò)束鏡，所述擴(kuò)束鏡上連接有第一反射鏡，所述第一反射鏡的光路輸出端設(shè)置有衰減器，所述衰減器的光路輸出端設(shè)置有第二反射鏡，所述第二反射鏡的光路輸出端設(shè)置有第三反射鏡，所述第三反射鏡的光路輸出端對(duì)應(yīng)加工組件。

更進(jìn)一步地，上述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置，其中，所述第三反射鏡的光路輸出端安裝有分光鏡與聚焦鏡。

再進(jìn)一步地，上述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置，其中，所述加工組件包括有X軸引導(dǎo)組件與Y軸引導(dǎo)組件，所述X軸引導(dǎo)組件與Y軸引導(dǎo)組件上設(shè)置有獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有吸附陶瓷盤。

借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

依托于各個(gè)組件的相互配合，能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下料、自動(dòng)清洗。并且，可同時(shí)加工N條切割道，極大的提高了LOW-K開槽的加工效率，降低了前端的制造成本和生產(chǎn)節(jié)拍。

上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

附圖說明

圖1是用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是光路組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中各附圖標(biāo)記的含義如下。

1 承載支架2 全自動(dòng)上下料組件

3 清洗涂覆組件4 激光器

5 光路組件6 加工組件

7 料盒軸8 中轉(zhuǎn)軸

9 夾片軸10上料軸

11第一吸盤12下料軸

13第二吸盤14光閘

15擴(kuò)束鏡16第一反射鏡

17衰減器18第二反射鏡

19第三反射鏡20分光鏡

21聚焦鏡

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。