[實(shí)用新型]用于LOW?K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720560631.8 | 申請(qǐng)日: | 2017-05-19 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206747810U | 公開(公告)日: | 2017-12-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 施心星;邵西河;張文 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州鐳明激光科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | B23K26/70 | 分類號(hào): | B23K26/70 |
| 代理公司: | 蘇州唯亞智冠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司32289 | 代理人: | 李麗 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 low 開槽 全自動(dòng) 激光 加工 裝置 | ||
1.用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置,包括有承載支架(1),其特征在于:所述承載支架(1)上安裝有全自動(dòng)上下料組件(2),所述自動(dòng)上下料組件下料出口處,設(shè)置有清洗涂覆組件(3),所述承載支架(1)上還安裝有激光器(4),所述激光器(4)的光路輸出端,安裝有光路組件(5),所述光路組件(5)的光路輸出端與清洗涂覆組件(3)的出料端設(shè)置有加工組件(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置,其特征在于:所述全自動(dòng)上下料組件(2)包括有料盒軸(7),所述料盒軸(7)上通過(guò)中轉(zhuǎn)軸(8)、夾片軸(9)與上料軸(10)相連,所述上料軸(10)上安裝有上料第一吸盤(11),所述夾片軸(9)上還連接有下料軸(12),所述下料軸(12)上安裝有下料第二吸盤(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置,其特征在于:所述清洗涂覆組件(3),包括有旋轉(zhuǎn)主軸,所述旋轉(zhuǎn)主軸上分別連接有清洗軸與涂覆軸,所述清洗軸上安裝有清洗噴頭,所述涂覆軸上安裝有涂覆噴頭或是涂覆塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置,其特征在于:所述光路組件(5)包括有光閘(14),所述光閘(14)的光路輸出端設(shè)置有擴(kuò)束鏡(15),所述擴(kuò)束鏡(15)上連接有第一反射鏡(16),所述第一反射鏡(16)的光路輸出端設(shè)置有衰減器(17),所述衰減器(17)的光路輸出端設(shè)置有第二反射鏡(18),所述第二反射鏡(18)的光路輸出端設(shè)置有第三反射鏡(19),所述第三反射鏡(19)的光路輸出端對(duì)應(yīng)加工組件(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置,其特征在于:所述第三反射鏡(19)的光路輸出端安裝有分光鏡(20)與聚焦鏡(21)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LOW-K開槽的全自動(dòng)激光加工裝置,其特征在于:所述加工組件(6)包括有X軸引導(dǎo)組件與Y軸引導(dǎo)組件,所述X軸引導(dǎo)組件與Y軸引導(dǎo)組件上設(shè)置有獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)軸,所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有吸附陶瓷盤。
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