[實用新型]Low?k材料激光去除設備有效
| 申請號： | 201720559683.3 | 申請日： | 2017-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN206747798U | 公開（公告）日： | 2017-12-15 |
| 發明（設計）人： | 施心星;韓偉;邵西河 | 申請（專利權）人： | 蘇州鐳明激光科技有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/38 | 分類號： | B23K26/38;B23K26/36;B23K26/40;B23K26/046;B23K26/064 |
| 代理公司： | 蘇州唯亞智冠知識產權代理有限公司32289 | 代理人： | 李麗 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | low 材料 激光 去除 設備 | ||
1.Low-k材料激光去除設備，包括有設備支架，所述設備支架上安裝有激光器(1)，其特征在于：所述激光器(1)的光路輸出端設置有光閘(2)，所述光閘(2)的光路輸出端設置有半波片(3)，所述半波片(3)光路輸出端設置有偏振分光鏡(4)，所述偏振分光鏡(4)的光路輸出端設有兩條分支，包括P光分支與S光分支，
所述P光分支包括有第一45度反射鏡(5)，所述第一45度反射鏡(5)的90度反射路徑上，安裝有第二45度反射鏡(6)，所述第二45度反射鏡(6)的90度反射路徑上，安裝有第三45度反射鏡(7)，所述第三45度反射鏡(7)的90度反射路徑上，安裝有光束整形鏡片(8)，所述光束整形鏡片(8)的光路輸出端設置有第一聚焦鏡(9)，
所述S光分支包括有第一反射鏡(10)，所述第一反射鏡(10)的90度反射路徑上，安裝有第二反射鏡(11)，所述第二反射鏡(11)的90度反射路徑上，安裝有第三反射鏡(12)，所述第三反射鏡(12)的光路輸出端設置有分束鏡(13)，所述分束鏡(13)的光路輸出端設置有聚焦鏡(14)。
2.根據權利要求1所述的Low-k材料激光去除設備，其特征在于：所述半波片(3)上連接有旋轉平臺，所述旋轉平臺上安裝有旋轉控制裝置。
3.根據權利要求2所述的Low-k材料激光去除設備，其特征在于：所述旋轉控制裝置為伺服電機。
4.根據權利要求2所述的Low-k材料激光去除設備，其特征在于：所述旋轉控制裝置為納米電機。
5.根據權利要求1所述的Low-k材料激光去除設備，其特征在于：所述激光器(1)上設置有衰減器。
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