[實(shí)用新型]全自動(dòng)納米壓印裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720557059.X
• 申請(qǐng)日: 2017-05-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206788553U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉成;史曉華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州光越微納科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00
• 代理公司: 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司32232
• 代理人: 黃麗莉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種全自動(dòng)納米壓印裝置。

背景技術(shù)

納米壓印技術(shù)是微納米器件制作工藝中的一個(gè)重要技術(shù)，納米壓印技術(shù)最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出，這是一種不同于傳統(tǒng)光刻技術(shù)的全新圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)。納米壓印技術(shù)的定義為：不使用光線或者輻照使光刻感光成型，而是直接在硅襯底或者其他襯底上利用物理學(xué)的機(jī)理構(gòu)造納米尺寸圖形。

目前納米壓印制作時(shí)，主要采用人工的方式搬運(yùn)料片，勞動(dòng)強(qiáng)度大，工作效率低，容易影響后期壓印效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種全自動(dòng)納米壓印裝置。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

本實(shí)用新型提供一種全自動(dòng)納米壓印裝置，包括：

料片供料機(jī)構(gòu)，包括供料架、以及設(shè)置于供料架上的至少一個(gè)料盒，料盒上由下至上依次設(shè)有多個(gè)料片固定機(jī)構(gòu)；

納米壓印機(jī)構(gòu)，包括壓印機(jī)箱和壓印機(jī)構(gòu)，壓印機(jī)箱設(shè)置于料片供料機(jī)構(gòu)的一側(cè)，壓印機(jī)箱內(nèi)設(shè)有料片定位機(jī)構(gòu)和軟膜板定位機(jī)構(gòu)，壓印機(jī)箱的側(cè)面上設(shè)有料片進(jìn)出口和軟膜板進(jìn)出口，壓印機(jī)構(gòu)設(shè)置于壓印機(jī)箱內(nèi)用于將軟膜板壓印至料片上；

料片移載機(jī)構(gòu)，其設(shè)置于料片供料機(jī)構(gòu)和納米壓印機(jī)構(gòu)之間，用于將料片在料片供料機(jī)構(gòu)和納米壓印機(jī)構(gòu)之間移動(dòng)。

本實(shí)用新型相較于現(xiàn)有技術(shù)，料片移載機(jī)構(gòu)將料片在料片供料機(jī)構(gòu)和納米壓印機(jī)構(gòu)之間移動(dòng)，結(jié)構(gòu)合理，省卻人力，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)納米壓印，大大提高工作效率。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可做如下改進(jìn)：

作為優(yōu)選的方案，上述的料片移載機(jī)構(gòu)包括底座、曲柄機(jī)構(gòu)、安裝基座、料片取料組件和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，底座設(shè)置于料片供料機(jī)構(gòu)和納米壓印機(jī)構(gòu)之間，曲柄機(jī)構(gòu)包括第一連接臂和第二連接臂，第一連接臂長(zhǎng)度方向的一端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于底座上，第二連接臂長(zhǎng)度方向的一端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于第一連接臂上，安裝基座轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于第二連接臂的自由端，料片取料組件設(shè)置于安裝基座上，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與第一連接臂、第二連接臂和安裝基座連接用于驅(qū)動(dòng)第一連接臂繞其與底座的連接點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)、驅(qū)動(dòng)第二連接臂繞其與第一連接臂的連接點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)、以及驅(qū)動(dòng)安裝基座在第二連接臂的自由端作圓周方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

采用上述優(yōu)選的方案，第一連接臂和第二連接臂轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)安裝基座靠近或遠(yuǎn)離供料機(jī)構(gòu)和納米壓印機(jī)構(gòu)，安裝基座轉(zhuǎn)動(dòng)可將料片取料組件在供料機(jī)構(gòu)和納米壓印機(jī)構(gòu)之間切換。

作為優(yōu)選的方案，上述的安裝基座為圓柱結(jié)構(gòu)，料片取料組件為二個(gè)，二個(gè)料片取料組件相對(duì)設(shè)置于圓柱結(jié)構(gòu)的側(cè)面上。

采用上述優(yōu)選的方案，設(shè)置二個(gè)料片取料組件，實(shí)現(xiàn)待壓印料片和壓印完成的料片的取料，更加方便。

作為優(yōu)選的方案，上述的安裝基座包括上基座和下基座，下基座轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于第二連接臂的自由端，上基座設(shè)置于下基座上，料片取料組件設(shè)置于上基座和下基座之間。

采用上述優(yōu)選的方案，料片取料組件設(shè)置于上基座和下基座之間，便于安裝和拆卸。

作為優(yōu)選的方案，上述的料片取料組件包括固定環(huán)、連接組件和二取料桿，固定環(huán)套設(shè)于上基座和下基座之間，連接組件設(shè)置于固定環(huán)上，二取料桿設(shè)置于連接組件上。

采用上述優(yōu)選的方案，料片取料組件采用固定環(huán)連接，便于更換，適用于不同產(chǎn)品。

作為優(yōu)選的方案，上述的取料桿內(nèi)設(shè)有電磁線圈，電磁線圈與變頻電源連接。

采用上述優(yōu)選的方案，電磁線圈通電后產(chǎn)生吸力，從而將料片吸附住，便于料片的移載。

作為優(yōu)選的方案，上述的第一連接臂長(zhǎng)度方向的一端的底部設(shè)有第一轉(zhuǎn)盤(pán)，第一轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于底座上，第二連接臂長(zhǎng)度方向的一端的底部設(shè)有第二轉(zhuǎn)盤(pán)，第二轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于第一連接臂上，第一轉(zhuǎn)盤(pán)、第二轉(zhuǎn)盤(pán)和下基座上設(shè)有角度傳感器。

采用上述優(yōu)選的方案，第一連接臂通過(guò)第一轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于底座上，第二連接臂通過(guò)第二轉(zhuǎn)盤(pán)設(shè)置于第一連接臂上，角度傳感器可計(jì)算第一轉(zhuǎn)盤(pán)、第二轉(zhuǎn)盤(pán)和下基座轉(zhuǎn)動(dòng)的角度，避免產(chǎn)生操作錯(cuò)誤。

作為優(yōu)選的方案，上述的第一轉(zhuǎn)盤(pán)、第二轉(zhuǎn)盤(pán)和下基座料盒包括對(duì)稱設(shè)置的二料架，料片固定結(jié)構(gòu)設(shè)置于二料架的相對(duì)側(cè)面上，料片固定機(jī)構(gòu)為料片導(dǎo)向固定槽，料片導(dǎo)向固定槽槽底的橫截面為圓弧結(jié)構(gòu)且圓弧結(jié)構(gòu)的外徑尺寸由料盒的進(jìn)出口至料盒的內(nèi)側(cè)為由大漸小設(shè)置。

采用上述優(yōu)選的方案，圓弧結(jié)構(gòu)的外徑尺寸由料盒的進(jìn)出口至料盒的內(nèi)側(cè)為由大漸小設(shè)置，便于料片的固定，也便于料片移載機(jī)構(gòu)取料。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式