[實用新型]全自動納米壓印裝置

有效

• 申請號: 201720557059.X
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN206788553U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 劉曉成;史曉華
• 申請（專利權）人: 蘇州光越微納科技有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司32232
• 代理人: 黃麗莉

1.全自動納米壓印裝置，其特征在于，包括：

料片供料機構，包括供料架、以及設置于供料架上的至少一個料盒，料盒上由下至上依次設有多個料片固定機構；

納米壓印機構，包括壓印機箱和壓印機構，壓印機箱設置于料片供料機構的一側，壓印機箱內設有料片定位機構和軟膜板定位機構，壓印機箱的側面上設有料片進出口和軟膜板進出口，壓印機構設置于壓印機箱內用于將軟膜板壓印至料片上；

料片移載機構，其設置于料片供料機構和納米壓印機構之間，用于將料片在料片供料機構和納米壓印機構之間移動。

2.根據權利要求1所述的全自動納米壓印裝置，其特征在于，料片移載機構包括底座、曲柄機構、安裝基座、料片取料組件和旋轉驅動機構，底座設置于料片供料機構和納米壓印機構之間，曲柄機構包括第一連接臂和第二連接臂，第一連接臂長度方向的一端轉動設置于底座上，第二連接臂長度方向的一端轉動設置于第一連接臂上，安裝基座轉動設置于第二連接臂的自由端，料片取料組件設置于安裝基座上，旋轉驅動機構與第一連接臂、第二連接臂和安裝基座連接用于驅動第一連接臂繞其與底座的連接點轉動、驅動第二連接臂繞其與第一連接臂的連接點轉動、以及驅動安裝基座在第二連接臂的自由端作圓周方向轉動。

3.根據權利要求2所述的全自動納米壓印裝置，其特征在于，安裝基座為圓柱結構，料片取料組件為二個，二個料片取料組件相對設置于圓柱結構的側面上。

4.根據權利要求3所述的全自動納米壓印裝置，其特征在于，安裝基座包括上基座和下基座，下基座轉動設置于第二連接臂的自由端，上基座設置于下基座上，料片取料組件設置于上基座和下基座之間。

5.根據權利要求4所述的全自動納米壓印裝置，其特征在于，料片取料組件包括固定環、連接組件和二取料桿，固定環套設于上基座和下基座之間，連接組件設置于固定環上，二取料桿設置于連接組件上。

6.根據權利要求5所述的全自動納米壓印裝置，其特征在于，取料桿內設有電磁線圈，電磁線圈與變頻電源連接。

7.根據權利要求4所述的全自動納米壓印裝置，其特征在于，第一連接臂長度方向的一端的底部設有第一轉盤，第一轉盤轉動設置于底座上，第二連接臂長度方向的一端的底部設有第二轉盤，第二轉盤轉動設置于第一連接臂上，第一轉盤、第二轉盤和下基座上設有角度傳感器。

8.根據權利要求1所述的全自動納米壓印裝置，其特征在于，料盒包括對稱設置的二料架，料片固定結構設置于二料架的相對側面上，料片固定機構為料片導向固定槽，料片導向固定槽槽底的橫截面為圓弧結構且圓弧結構的外徑尺寸由料盒的進出口至料盒的內側為由大漸小設置。