[實用新型]全自動量產(chǎn)型納米壓印裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720557058.5
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN206788552U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉曉成;史曉華
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州光舵微納科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32232
• 代理人: 黃麗莉

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種全自動量產(chǎn)型納米壓印裝置。

背景技術(shù)

納米壓印技術(shù)是微納米器件制作工藝中的一個重要技術(shù)，納米壓印技術(shù)最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出，這是一種不同于傳統(tǒng)光刻技術(shù)的全新圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)。納米壓印技術(shù)的定義為：不使用光線或者輻照使光刻感光成型，而是直接在硅襯底或者其他襯底上利用物理學(xué)的機理構(gòu)造納米尺寸圖形。

目前納米壓印制作時，主要采用人工的方式搬運料片和軟膜板，勞動強度大，工作效率低，容易影響后期壓印效果。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種全自動量產(chǎn)型納米壓印裝置。

為了達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下：

本實用新型提供一種全自動量產(chǎn)型納米壓印裝置，包括：

底座，底座上設(shè)有導(dǎo)軌；

多個納米壓印機構(gòu)，納米壓印機構(gòu)設(shè)置于底座上且分布于導(dǎo)軌長度方向的兩側(cè)；

供料機構(gòu)，包括料片供料機構(gòu)和軟膜板供料機構(gòu)，料片供料機構(gòu)和軟膜板供料機構(gòu)設(shè)置于底座上且位于導(dǎo)軌長度方向的一側(cè)；

物料移載機構(gòu)，物料移載機構(gòu)移動設(shè)置于導(dǎo)軌上，用于將料片和軟膜板在供料結(jié)構(gòu)和納米壓印機構(gòu)之間搬運。

本實用新型相較于現(xiàn)有技術(shù)，物料移載機構(gòu)將料片和軟膜板在供料結(jié)構(gòu)和納米壓印機構(gòu)之間搬運，結(jié)構(gòu)合理，省卻人力，實現(xiàn)自動搬運料片和軟膜板、以及自動壓印，多個納米壓印機構(gòu)同時工作，大大提高工作效率。

其中，上述的納米壓印機構(gòu)包括壓印機箱和壓印機構(gòu)，壓印機箱設(shè)置于底座上，壓印機箱內(nèi)設(shè)有料片定位機構(gòu)和軟膜板定位機構(gòu)，壓印機箱的側(cè)面上設(shè)有料片進出口和軟膜板進出口，壓印機構(gòu)設(shè)置于壓印機箱內(nèi)用于將軟膜板壓印至料片上。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可做如下改進：

作為優(yōu)選的方案，上述的物料移載機構(gòu)包括安裝基座、驅(qū)動機構(gòu)、二連接曲柄機構(gòu)和定位組件，安裝基座移動設(shè)置于導(dǎo)軌上，二連接曲柄機構(gòu)對稱設(shè)置于安裝基座上，二連接曲柄機構(gòu)包括第一連接臂和第二連接臂，第一連接臂長度方向的一端轉(zhuǎn)動設(shè)置于安裝基座上，第二連接臂長度方向的一端轉(zhuǎn)動設(shè)置于第一連接臂上，定位組件包括定位底座、料片取料組件和軟膜板取料組件，定位底座與二第二連接臂的自由端鉸接，料片取料組件、軟膜板取料組件設(shè)置于定位底座上，驅(qū)動機構(gòu)與第一連接臂、第二連接臂連接用于驅(qū)動二第一連接臂繞其與安裝基座的連接點沿同一圓周方向轉(zhuǎn)動、以及用于驅(qū)動二個第二連接臂繞其與第一連接臂的連接點沿相反的圓周方向轉(zhuǎn)動。

采用上述優(yōu)選的方案，二個第一連接臂的轉(zhuǎn)動使得料片和軟膜板在供料機構(gòu)和納米壓印機構(gòu)在導(dǎo)軌長度方向不同側(cè)的時候進行切換，二個第二連接臂的轉(zhuǎn)動完成供料機構(gòu)取料和納米壓印機構(gòu)上料工作。

作為優(yōu)選的方案，上述的定位底座為圓柱結(jié)構(gòu)，料片取料組件、軟膜板取料組件相對設(shè)置于圓柱結(jié)構(gòu)的側(cè)面上。

采用上述優(yōu)選的方案，料片取料組件、軟膜板取料組件設(shè)置于相對的側(cè)面上，通過二個第一連接臂的轉(zhuǎn)動帶動定位底座轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)料片取料組件、軟膜板取料組件的取料。

作為優(yōu)選的方案，上述的定位底座為圓柱結(jié)構(gòu)，料片取料組件、軟膜板取料組件設(shè)置于圓柱結(jié)同一側(cè)的側(cè)面上或二者均設(shè)置于圓柱結(jié)相對的二側(cè)面上，料片取料組件設(shè)置于軟膜板取料組件的上方。其中，上述的安裝基座包括上基座、下基座和連接氣缸，下基座移動設(shè)置于導(dǎo)軌上，連接氣缸設(shè)置于下基座上且其輸出端與上基座連接。

采用上述優(yōu)選的方案，料片取料組件、軟膜板取料組件設(shè)置于圓柱結(jié)同一側(cè)的側(cè)面上，通過上基座在豎直方向的移動，實現(xiàn)料片取料組件、軟膜板取料組件的取料。

作為優(yōu)選的方案，上述的料片取料組件包括二取料桿，取料桿為裝夾料桿或吸附料桿。

采用上述優(yōu)選的方案，取料桿為裝夾料桿，夾取料片；取料桿為吸附料桿，吸取料片，從而實現(xiàn)料片的取料。

作為優(yōu)選的方案，上述的軟膜板取料組件包括吸盤手指，吸盤手指為電磁吸鐵機構(gòu)或真空吸附機構(gòu)。

根據(jù)實際情況，可以選擇，上述的吸盤手指包括吸盤底板和電磁線圈，吸盤底板內(nèi)開設(shè)有安裝腔體，電磁線圈設(shè)置于安裝腔體內(nèi)，電磁線圈與變頻電源連接；還可以選擇，上述的吸盤手指包括吸盤底板，吸盤底板的底部開設(shè)有吸附氣孔，吸盤底板內(nèi)開設(shè)有連通吸附氣孔的連接通道，連接通道與真空泵連接。

采用上述優(yōu)選的方案，軟膜板取料組件為電磁吸鐵機構(gòu)或真空吸附機構(gòu)，實現(xiàn)軟膜板的取料。

作為優(yōu)選的方案，還設(shè)有料片定中心機構(gòu)，料片定中心機構(gòu)設(shè)置于料片供料機構(gòu)的下方。