[實用新型]全自動量產型納米壓印裝置

有效

• 申請號: 201720557058.5
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN206788552U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 劉曉成;史曉華
• 申請（專利權）人: 蘇州光舵微納科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司32232
• 代理人: 黃麗莉

1.全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，包括：

底座，底座上設有導軌；

多個納米壓印機構，納米壓印機構設置于底座上且分布于導軌長度方向的兩側；

供料機構，包括料片供料機構和軟膜板供料機構，料片供料機構和軟膜板供料機構設置于底座上且位于導軌長度方向的一側；

物料移載機構，物料移載機構移動設置于導軌上，用于將料片和軟膜板在供料結構和納米壓印機構之間搬運。

2.根據權利要求1所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，物料移載機構包括安裝基座、驅動機構、二連接曲柄機構和定位組件，安裝基座移動設置于導軌上，二連接曲柄機構對稱設置于安裝基座上，二連接曲柄機構包括第一連接臂和第二連接臂，第一連接臂長度方向的一端轉動設置于安裝基座上，第二連接臂長度方向的一端轉動設置于第一連接臂上，定位組件包括定位底座、料片取料組件和軟膜板取料組件，定位底座與二第二連接臂的自由端鉸接，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于定位底座上，驅動機構與第一連接臂、第二連接臂連接用于驅動二第一連接臂繞其與安裝基座的連接點沿同一圓周方向轉動、以及用于驅動二個第二連接臂繞其與第一連接臂的連接點沿相反的圓周方向轉動。

3.根據權利要求2所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，定位底座為圓柱結構，料片取料組件、軟膜板取料組件相對設置于圓柱結構的側面上。

4.根據權利要求2所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，定位底座為圓柱結構，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于圓柱結同一側的側面上或二者均設置于圓柱結相對的二側面上，料片取料組件設置于軟膜板取料組件的上方。

5.根據權利要求1所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，安裝基座包括上基座、下基座和連接氣缸，下基座移動設置于導軌上，連接氣缸設置于下基座上且其輸出端與上基座連接。

6.根據權利要求1所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，料片取料組件包括二取料桿，取料桿為裝夾料桿或吸附料桿。

7.根據權利要求1所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，軟膜板取料組件包括吸盤手指，吸盤手指為電磁吸鐵機構或真空吸附機構。

8.根據權利要求7所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，吸盤手指包括吸盤底板和電磁線圈，吸盤底板內開設有安裝腔體，電磁線圈設置于安裝腔體內，電磁線圈與變頻電源連接；或吸盤手指包括吸盤底板，吸盤底板的底部開設有吸附氣孔，吸盤底板內開設有連通吸附氣孔的連接通道，連接通道與真空泵連接。

9.根據權利要求1所述的全自動量產型納米壓印裝置，其特征在于，納米壓印機構包括壓印機箱和壓印機構，壓印機箱設置于底座上，壓印機箱內設有料片定位機構和軟膜板定位機構，壓印機箱的側面上設有料片進出口和軟膜板進出口，壓印機構設置于壓印機箱內用于將軟膜板壓印至料片上。

10.根據權利要求1所述的全自動量產型納米壓印裝置其特征在于，還設有料片定中心機構，料片定中心機構設置于料片供料機構的下方。