[實(shí)用新型]一種硅片的分選組件及硅片測(cè)試儀有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720554247.7 | 申請(qǐng)日: | 2017-05-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206921842U | 公開(公告)日: | 2018-01-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李琰琪;王栩生;涂修文;邢國(guó)強(qiáng) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 215129 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅片 分選 組件 測(cè)試儀 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及硅片測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硅片的分選組件及硅片測(cè)試儀。
背景技術(shù)
光伏檢測(cè)綜合分析系統(tǒng)(Photoluminescence,PL)和紅外缺陷測(cè)試儀(Electroluminescence,EL)是非常重要的光伏測(cè)試儀器,它們能有效分辨出硅片的缺陷,如絨絲、黑邊、黑心、結(jié)區(qū)摩擦、漏漿、斷柵、反向擊穿、燒結(jié)不良等,其功能相當(dāng)于太陽能硅片測(cè)試的“眼睛”,尤其是PL更是在電池片的制造起點(diǎn)起到一個(gè)“監(jiān)控”作用。
其中,絨絲是硅片比較常見的缺陷之一。絨絲會(huì)造成太陽能電池低開壓、低短路電流、低少子壽命等一系列問題,并存在弱光風(fēng)險(xiǎn),因此各個(gè)廠家對(duì)絨絲的把控十分嚴(yán)格。
目前行業(yè)普遍認(rèn)為,當(dāng)硅片的絨絲區(qū)域的面積大于硅片面積的10%時(shí),稱之為絨絲異常,則硅片不合格。但現(xiàn)有技術(shù)中并沒有精確計(jì)算絨絲區(qū)域面積及絨絲位置的方法,硅片是否合格的判斷準(zhǔn)確度也不高。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的第一目的在于提出一種能夠計(jì)算硅片的缺陷區(qū)域的面積的分選組件。
為達(dá)此目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
一種硅片的分選組件,用于硅片測(cè)試儀,包括覆蓋于硅片測(cè)試儀的屏幕上的分選屏,所述分選屏的表面設(shè)置有分選區(qū)域,所述分選區(qū)域與所述屏幕上顯示的硅片的圖像所在區(qū)域重合,所述分選區(qū)域均分為多個(gè)第一子單元,當(dāng)所述屏幕上顯示的硅片的圖像存在缺陷區(qū)域時(shí),所述缺陷區(qū)域覆蓋所述第一子單元的個(gè)數(shù)占所述第一子單元的總數(shù)之比,即為硅片中缺陷區(qū)域所占面積;和/或所述分選區(qū)域內(nèi)設(shè)置有第一坐標(biāo)系,根據(jù)所述第一坐標(biāo)系讀出所述缺陷區(qū)域的邊長(zhǎng)和高,以得到所述缺陷區(qū)域的面積。
其中,所述分選區(qū)域包括多條橫向刻度線和縱向刻度線,多條所述橫向刻度線與所述縱向刻度線圍成多個(gè)所述第一子單元,所述第一坐標(biāo)系的橫坐標(biāo)軸與一條所述橫向刻度線重合,所述第一坐標(biāo)系的縱坐標(biāo)軸與一條所述縱向刻度線重合。
其中,所述第一坐標(biāo)系以所述分選屏的中心為原點(diǎn)。
其中,還包括硅片對(duì)應(yīng)屏,所述硅片對(duì)應(yīng)屏與硅片的大小相等,所述硅片對(duì)應(yīng)屏的表面均分為多個(gè)第二子單元,所述第二子單元與所述第一子單元數(shù)量相同。
其中,所述硅片對(duì)應(yīng)屏還設(shè)置有第二坐標(biāo)系,所述第二坐標(biāo)系用于確定缺陷區(qū)域中的缺陷的位置。
其中,所述硅片對(duì)應(yīng)屏由玻璃或塑料材質(zhì)屏。
其中,所述分選屏為柔性塑料透明貼紙、玻璃板或塑料板。
其中,所述缺陷區(qū)域?yàn)榫哂薪q絲、黑邊、黑心、結(jié)區(qū)摩擦、漏漿、斷柵、反向擊穿或燒結(jié)不良的區(qū)域。
本實(shí)用新型的第二目的在于提出一種能夠計(jì)算硅片的缺陷區(qū)域的面積的硅片測(cè)試儀。
為達(dá)此目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
一種硅片測(cè)試儀,包括上述的分選組件。
其中,所述測(cè)試儀為PL測(cè)試儀或EL測(cè)試儀。
有益效果:本實(shí)用新型提供了一種硅片的分選組件及硅片測(cè)試儀。該硅片的分選組件用于硅片測(cè)試儀,包括覆蓋于硅片測(cè)試儀的屏幕上的分選屏,所述分選屏的表面設(shè)置有分選區(qū)域,所述分選區(qū)域與所述屏幕上顯示的硅片的圖像所在區(qū)域重合,所述分選區(qū)域均分為多個(gè)第一子單元,當(dāng)所述屏幕上顯示的硅片的圖像存在缺陷區(qū)域時(shí),所述缺陷區(qū)域覆蓋所述第一子單元的個(gè)數(shù)占所述第一子單元的總數(shù)之比,即為硅片中缺陷區(qū)域所占面積;和/或所述分選區(qū)域內(nèi)設(shè)置有第一坐標(biāo)系,根據(jù)所述第一坐標(biāo)系讀出所述缺陷區(qū)域的邊長(zhǎng)和高,以得到所述缺陷區(qū)域的面積。通過劃分第一子單元,工作人員可以快速、準(zhǔn)確地計(jì)算缺陷區(qū)域所占的面積,判斷硅片是否合格,從而提高分選硅片的準(zhǔn)確率,從而提高太陽能電池片的質(zhì)量。
附圖說明
圖1是具有絨絲的硅片的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的分選屏的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例2提供的一種分選屏的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例2提供的另一種分選屏的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例2提供的分選屏劃分第一子單元的區(qū)域與硅片的圖像重合后的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖6是本實(shí)用新型提供的硅片對(duì)應(yīng)屏的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖7是本實(shí)用新型提供的硅片對(duì)應(yīng)屏與硅片的圖像重合后的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中:
1、分選屏;11、第一子單元;
2、硅片對(duì)應(yīng)屏;21、第二子單元;
3、硅片;31、缺陷區(qū)域。
具體實(shí)施方式
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





