[實用新型]一種硅片的分選組件及硅片測試儀

有效

• 申請號: 201720554247.7
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN206921842U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 李琰琪;王栩生;涂修文;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/66
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 胡彬

1.一種硅片的分選組件，用于硅片測試儀，其特征在于，包括覆蓋于硅片測試儀的屏幕上的分選屏(1)，所述分選屏(1)的表面設置有分選區域，所述分選區域與所述屏幕上顯示的硅片(3)的圖像所在區域重合，所述分選區域均分為多個第一子單元(11)，當所述屏幕上顯示的硅片(3)的圖像存在缺陷區域(31)時，所述缺陷區域(31)覆蓋所述第一子單元(11)的個數占所述第一子單元(11)的總數之比，即為硅片(3)中缺陷區域(31)所占面積；和/或所述分選區域內設置有第一坐標系，根據所述第一坐標系讀出所述缺陷區域(31)的邊長和高，以得到所述缺陷區域(31)的面積。

2.如權利要求1所述的分選組件，其特征在于，所述分選區域包括多條橫向刻度線和縱向刻度線，多條所述橫向刻度線與所述縱向刻度線圍成多個所述第一子單元(11)，所述第一坐標系的橫坐標軸與一條所述橫向刻度線重合，所述第一坐標系的縱坐標軸與一條所述縱向刻度線重合。

3.如權利要求1所述的分選組件，其特征在于，所述第一坐標系以所述分選屏(1)的中心為原點。

4.如權利要求1-3任一項所述的分選組件，其特征在于，還包括硅片對應屏(2)，所述硅片對應屏(2)與硅片(3)的大小相等，所述硅片對應屏(2)的表面均分為多個第二子單元(21)，所述第二子單元(21)與所述第一子單元(11)數量相同。

5.如權利要求4所述的分選組件，其特征在于，所述硅片對應屏(2)還設置有第二坐標系，所述第二坐標系用于確定缺陷區域(31)中的缺陷的位置。

6.如權利要求4所述的分選組件，其特征在于，所述硅片對應屏(2)為玻璃或塑料材質屏。

7.如權利要求1-3任一項所述的分選組件，其特征在于，所述分選屏(1) 為柔性塑料透明貼紙、玻璃板或塑料板。

8.如權利要求1-3任一項所述的分選組件，其特征在于，所述缺陷區域(31)為具有絨絲、黑邊、黑心、結區摩擦、漏漿、斷柵、反向擊穿或燒結不良的區域。

9.一種硅片測試儀，其特征在于，包括如權利要求1-8任一項所述的分選組件。

10.如權利要求9所述的測試儀，其特征在于，所述測試儀為PL測試儀或EL測試儀。