[實用新型]基板邊部檢測設備

有效

• 申請號: 201720552649.3
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN206710330U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 周波;李青;王麗紅;鄭權
• 申請（專利權）人: 東旭科技集團有限公司;東旭集團有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙)11447
• 代理人: 陳慶超,桑傳標

技術領域

本公開涉及基板邊部檢測技術領域，具體地，涉及一種基板邊部檢測設備。

背景技術

在基板生產過程中需要對基板邊部研磨、倒角和拋光處理，而在此過程中可能因各種工藝參數不合理或受到沖擊等其他因素造成邊部燒邊、欠磨、裂紋等缺陷。由此為了能夠保證生產質量，普遍通過采用檢測設備對基板邊部進行檢測是否存在各類缺陷。而在現有技術中，這種檢測設備的布置位置可能受制于生產線中的基板傳送裝置的限制，具有安裝不方便的問題。

實用新型內容

本公開解決的問題是提供一種便于安裝的基板邊部檢測設備。

為了實現上述目的，本公開提供一種基板邊部檢測設備，所述基板邊部檢測設備包括：拍攝單元，該拍攝單元布置在靠近基板邊緣的第一側表面的位置以能夠拍攝到基板邊緣的所述第一側表面的圖像；照明單元，該照明單元用于對基板邊緣照射光；第一反光單元，該第一反光單元布置在靠近基板邊緣的第二側表面的位置，所述拍攝單元通過所述第一反光單元能夠拍攝到基板邊緣的所述第二側表面的圖像。

可選地，所述第一反光單元能夠對基板邊緣的所述第二側表面的光線反射180°后射入所述拍攝單元。

可選地，所述第一反光單元包括位于基板邊緣的所述第二側表面的正上方的第一直角棱鏡、以及位于基板邊緣的所述第二側表面的斜上方的第二直角棱鏡，所述第一直角棱鏡和所述第二直角棱鏡的傾斜表面均背對于所述第二側表面。

可選地，所述基板邊部檢測設備包括用于調整所述第一反光單元的位置和角度的位置調整裝置，所述第一反光單元設置在該位置調整裝置上。

可選地，所述基板邊部檢測設備還包括布置在基板邊緣的頂端面外側的第二反光單元，所述拍攝單元通過所述第二反光單元能夠拍攝到基板邊緣的頂端面的圖像。

可選地，所述第二反光單元為第三直角棱鏡且該第三直角棱鏡的傾斜表面背對于基板邊緣的所述頂端面。

可選地，所述照明單元包括基板邊緣的頂端延伸線為基準對稱布置在基板邊緣外側的第一照明部和第二照明部。

可選地，所述照明單元為LED燈光源或鹵素燈光源。

可選地，所述拍攝單元為線陣CCD相機或面陣CCD相機。

可選地，所述基板邊部檢測設備包括殼體，所述拍攝單元、所述第一反光單元和所述照明單元集成在所述殼體中，所述殼體對應于基板邊緣的表面上形成有用于容納基板邊緣的開口槽，所述第一反光單元和所述拍攝單元位于所述開口槽的兩側且分別與所述開口槽對應布置。

通過上述技術方案，即，在通過照明單元向基板邊緣照射光的狀態下，由于拍攝單元布置在靠近基板邊緣的第一側表面的位置而能夠直接拍攝到基板邊緣的所述第一側表面的圖像，并且利用第一反光單元將基板邊緣的第二側表面的光反射至拍攝單元，使得拍攝單元通過該第一反光單元拍攝到基板邊緣的所述第二側表面的圖像，從而能夠實現檢測基板邊部是否存在缺陷。由此，通過如上所述的布置結構能夠有效實現檢測基板邊部的缺陷的同時，基板邊部檢測設備的安裝位置并不會受到基板傳送裝置等其他結構的限制而具有安裝方便的效果。

本公開的其他特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本公開的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本公開，但并不構成對本公開的限制。在附圖中：

圖1為根據本公開具體實施方式的基板邊部檢測設備的結構示意圖。

附圖標記說明

1基板 2拍攝單元

3第一反光單元 4照明單元

5第一直角棱鏡 6第二直角棱鏡

7第三直角棱鏡 8第一照明部

9第二照明部 10 殼體

11 第一側表面 12 第二側表面

13 開口槽

具體實施方式

以下結合附圖對本公開的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本公開，并不用于限制本公開。