[實用新型]基板邊部檢測設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720552649.3
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN206710330U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周波;李青;王麗紅;鄭權(quán)
• 申請（專利權(quán)）人: 東旭科技集團有限公司;東旭集團有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京英創(chuàng)嘉友知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11447
• 代理人: 陳慶超,桑傳標

1.一種基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述基板邊部檢測設(shè)備包括：拍攝單元(2)，該拍攝單元(2)布置在靠近基板(1)邊緣的第一側(cè)表面(11)的位置以能夠拍攝到基板(1)邊緣的所述第一側(cè)表面(11)的圖像；照明單元(4)，該照明單元(4)用于對基板(1)邊緣照射光；第一反光單元(3)，該第一反光單元(3)布置在靠近基板(1)邊緣的第二側(cè)表面(12)的位置，所述拍攝單元(2)通過所述第一反光單元(3)能夠拍攝到基板(1)邊緣的所述第二側(cè)表面(12)的圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述第一反光單元(3)布置為能夠?qū)?1)邊緣的所述第二側(cè)表面(12)的光線反射180°后射入所述拍攝單元(2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述第一反光單元(3)包括位于基板(1)邊緣的所述第二側(cè)表面(12)的正上方的第一直角棱鏡(5)、以及位于基板(1)邊緣的所述第二側(cè)表面(12)的斜上方的第二直角棱鏡(6)，所述第一直角棱鏡(5)和所述第二直角棱鏡(6)的傾斜表面均背對于所述第二側(cè)表面(12)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述基板邊部檢測設(shè)備包括用于調(diào)整所述第一反光單元(3)的位置和角度的位置調(diào)整裝置，所述第一反光單元(3)設(shè)置在該位置調(diào)整裝置上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述基板邊部檢測設(shè)備還包括布置在基板(1)邊緣的頂端面外側(cè)的第二反光單元，所述拍攝單元(2)通過所述第二反光單元能夠拍攝到基板(1)邊緣的頂端面的圖像。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述第二反光單元為第三直角棱鏡(7)且該第三直角棱鏡(7)的傾斜表面背對于基板(1)邊緣的所述頂端面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述照明單元(4)包括以基板(1)邊緣的頂端延伸線為基準對稱布置在基板(1)邊緣外側(cè)的第一照明部(8)和第二照明部(9)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述照明單元(4)為LED燈光源或鹵素燈光源。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述拍攝單元(2)為線陣CCD相機或面陣CCD相機。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板邊部檢測設(shè)備，其特征在于，所述基板邊部檢測設(shè)備包括殼體(10)，所述拍攝單元(2)、所述第一反光單元(3)和所述照明單元(4)集成在所述殼體(10)中，所述殼體(10)對應(yīng)于基板(1)邊緣的表面上形成有用于容納基板(1)邊緣的開口槽(13)，所述第一反光單元(3)和所述拍攝單元(2)位于所述開口槽(13)的兩側(cè)且分別與所述開口槽(13)對應(yīng)布置。