[實用新型]一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構

有效

• 申請號: 201720550853.1
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN207014294U
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 張利鋒
• 申請（專利權）人: 王曉偉
• 主分類號: B25B33/00
• 分類號: B25B33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種真空元器件，具體涉及一種實用性強的在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構。

背景技術

對于在真空室外對真空室內器件位置進行調節，既不能破壞或影響真空室內的真空狀態，又需完成內部元件的移位動作，現有的通用真空元器件難以實現此要求。

因此，有必要設計開發一種結構設計合理，使用方便，適用于在真空室外對真空室內元件進行位置調節的機構。

發明內容

發明目的：本實用新型的目的是為了解決現有技術的不足，提供一種結構設計合理，使用方便，適用于在真空室外部對真空室內元件進行位置調節的機構。

技術方案：為了實現以上目的，本實用新型所采取的技術方案為:

一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構，它包括：移動座、主軸、移位波紋管、連接法蘭、支撐座；移動座和主軸通過螺釘固定連接，主軸和連接法蘭及移位波紋管焊接為一體，支撐座通過螺釘分別和移動座及主軸相連接；通過調節移動座上的三維平臺，實現主軸帶動內部元件在真空環境下的X/Y/Z三維方向移位；

作為優選方案，以上所述的三維調整機構，所述的支撐座通過螺釘分別和移動座和主軸相連接；通過調節移動座上的三維平臺，實現主軸在真空環境下的X/Y/Z方向移位；

本實用新型所提供的三維調整機構，連接法蘭通過螺釘緊固于被抽真空室上。

本實用新型提供的在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構，實際使用時，先將需要移動的元件連接到主軸上，再將多維調節平臺安裝在移動座上，然后通過支撐座將移動座和連接法蘭通過螺釘連接好，最后將連接法蘭通過螺釘緊固于被抽真空容器上，開始抽真空后，需要移位時調節，只需在大氣外調節移動座上的三維移動平臺旋鈕，就可以完成X/Y/Z三維方向的移位。

有益效果：本實用新型提供的一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構與現有技術相比具有以下優點：

本實用新型提供的一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構，結構設計合理，在保持真空室處于真空環境時，通過真空室外部的三維移動座就可以完成真空室內部元件的移位運動，該機構實用性強，結構緊湊，制造成本低，尤其適用于在真空室內部狹小空間的元件移動，應用范圍廣泛，可克服現有真空環境下多維移位機構的諸多不足。

附圖說明

圖1為本實用新型提供的一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例，進一步闡明本實用新型，應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。

如圖1所示，一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構，它包括：它包括：移動座(1)，主軸(2)，支撐座(3)；所述的主軸包括移位波紋管(2-1)，連接法蘭(2-2)，移動座(1)和主軸(2)通過螺釘固定連接，主軸(2)和連接法蘭(2-2)及移位波紋管(2-1)焊接為一體，支撐座(3)通過螺釘分別和移動座(1)和主軸(2)相連接；通過調節移動座(1)上的三維平臺，實現主軸(2)在真空環境下的X/Y/Z方向移位；該機構結構設計合理，實用性強，尤其解決了對真空狀態下工作的元件的X/Y/Z方向的三維移位調節，應用范圍廣；

以上所述的一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構，主軸(2)通過連接法蘭(2-2)連接在真空室上，移位波紋管(2-1)實現真空密封和移位時的柔性伸縮。

以上所述的一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構，主軸(2)通過支撐座(3)與移動座(1)連接并實現X/Y/Z方向的三維移位調節。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。