[實用新型]一種在真空室外對真空室內元件進行三維位置調整的機構

有效

• 申請號: 201720550853.1
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN207014294U
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 張利鋒
• 申請（專利權）人: 王曉偉
• 主分類號: B25B33/00
• 分類號: B25B33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種在真空室外對真空室內部元件進行三維位置調整的機構，它包括：移動座(1)、主軸(2)、支撐座(3)；所述的主軸(2)包括移位波紋管(2-1)、連接法蘭(2-2)，連接法蘭(2-2)與移位波紋管(2-1)焊接為一體；移動座(1)和主軸(2)通過螺釘固定連接；支撐座(3)通過螺釘分別和移動座(1)和主軸(2)相連接；其特征是通過調節真空室外的移動座(1)上的三維平臺，實現主軸(2)在真空環境中的X/Y/Z方向移位。

2.根據權利要求1所述的一種真空室外對真空室內部元件進行三維位置調整的機構，其特征是在主軸(2)與移動座(1)連接，移位波紋管(2-1)實現主軸(2)的柔性真空運動密封。

3.根據權利要求1所述的一種真空室外對真空室內部元件進行三維位置調整的機構，其特征是通過在真空室外調節移動座(1)的三維位置，實現主軸(2)帶動內部元件在真空室內X/Y/Z三維方向的移位。