[實(shí)用新型]一種NOR型阻變存儲(chǔ)器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720519419.7 | 申請(qǐng)日: | 2017-05-11 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN207021297U | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-02-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 許毅勝;熊濤;劉釗;舒清明 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海格易電子有限公司;北京兆易創(chuàng)新科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L45/00 | 分類號(hào): | H01L45/00 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人: | 孟金喆 |
| 地址: | 201203 上海市浦東新區(qū)張*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 nor 型阻變 存儲(chǔ)器 | ||
1.一種NOR型阻變存儲(chǔ)器,其特征在于,包括:
自下而上多個(gè)層疊設(shè)置的第一電極,所述第一電極之間設(shè)置有層間介質(zhì)層,所述層間介質(zhì)層延伸至所述第一電極的外側(cè),并包裹多個(gè)所述第一電極;
貫穿所述多個(gè)層疊設(shè)置的所述第一電極,以及所述層間介質(zhì)層的至少一個(gè)第一通孔,所述第一通孔的孔壁上設(shè)置有阻變材料;
設(shè)置在所述第一通孔內(nèi),且由所述阻變材料包裹的第二電極,所述第二電極與對(duì)應(yīng)的字線電連接;
與所述第一電極一一對(duì)應(yīng),且設(shè)置在所述層間介質(zhì)層內(nèi)的第二通孔,所述第二通孔內(nèi)形成有位線,所述位線與對(duì)應(yīng)的第一電極電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器,其特征在于,
還包括與所述第二電極對(duì)應(yīng)設(shè)置的選通管;所述選通管包括源極、漏極和柵極,所述選通管的上表面設(shè)置絕緣層,所述絕緣層覆蓋所述源極、漏極和柵極;
所述絕緣層中設(shè)置導(dǎo)電過(guò)孔,所述第二電極通過(guò)所述導(dǎo)電過(guò)孔與對(duì)應(yīng)的所述選通管的漏極電連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器,其特征在于,還包括設(shè)置在所述第二電極和所述導(dǎo)電過(guò)孔之間的過(guò)渡金屬層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器,其特征在于,
所述過(guò)渡金屬層的材料為銅,所述導(dǎo)電過(guò)孔的填充材料為鎢。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器,其特征在于,
所述阻變材料為WOx,TaOx以及HfOx中的任意一種,所述第一電極的材料為鎢,所述第二電極的材料為鎢。
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