[實(shí)用新型]一種NOR型阻變存儲(chǔ)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720519419.7
• 申請(qǐng)日: 2017-05-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207021297U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許毅勝;熊濤;劉釗;舒清明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海格易電子有限公司;北京兆易創(chuàng)新科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L45/00
• 分類號(hào): H01L45/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種NOR型阻變存儲(chǔ)器，其特征在于，包括：

自下而上多個(gè)層疊設(shè)置的第一電極，所述第一電極之間設(shè)置有層間介質(zhì)層，所述層間介質(zhì)層延伸至所述第一電極的外側(cè)，并包裹多個(gè)所述第一電極；

貫穿所述多個(gè)層疊設(shè)置的所述第一電極，以及所述層間介質(zhì)層的至少一個(gè)第一通孔，所述第一通孔的孔壁上設(shè)置有阻變材料；

設(shè)置在所述第一通孔內(nèi)，且由所述阻變材料包裹的第二電極，所述第二電極與對(duì)應(yīng)的字線電連接；

與所述第一電極一一對(duì)應(yīng)，且設(shè)置在所述層間介質(zhì)層內(nèi)的第二通孔，所述第二通孔內(nèi)形成有位線，所述位線與對(duì)應(yīng)的第一電極電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器，其特征在于，

還包括與所述第二電極對(duì)應(yīng)設(shè)置的選通管；所述選通管包括源極、漏極和柵極，所述選通管的上表面設(shè)置絕緣層，所述絕緣層覆蓋所述源極、漏極和柵極；

所述絕緣層中設(shè)置導(dǎo)電過(guò)孔，所述第二電極通過(guò)所述導(dǎo)電過(guò)孔與對(duì)應(yīng)的所述選通管的漏極電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器，其特征在于，還包括設(shè)置在所述第二電極和所述導(dǎo)電過(guò)孔之間的過(guò)渡金屬層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器，其特征在于，

所述過(guò)渡金屬層的材料為銅，所述導(dǎo)電過(guò)孔的填充材料為鎢。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NOR型阻變存儲(chǔ)器，其特征在于，

所述阻變材料為WOx，TaOx以及HfOx中的任意一種，所述第一電極的材料為鎢，所述第二電極的材料為鎢。