[實(shí)用新型]探針卡及測(cè)試系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720519102.3
• 申請(qǐng)日: 2017-05-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206945761U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牛剛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 分類(lèi)號(hào): G01R1/073;H01L21/66
• 代理公司: 上海立群專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)31291
• 代理人: 侯莉,毛立群

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種探針卡及測(cè)試系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制造過(guò)程中，在晶圓切割成封裝芯片之前，需對(duì)晶圓中的芯片進(jìn)行電學(xué)性能測(cè)試，并將晶圓中不合格的芯片進(jìn)行標(biāo)記，然后于后段的封裝制程之前將這些標(biāo)記的芯片舍棄。該測(cè)試環(huán)節(jié)至關(guān)重要，其可以確認(rèn)芯片的性能以對(duì)芯片進(jìn)行篩選，從而降低封裝成本。為確保芯片功能和成品率的有效測(cè)試，要求測(cè)試設(shè)備的檢測(cè)精度始終在制造廠(chǎng)內(nèi)的規(guī)格范圍以?xún)?nèi)，從而需對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所用的檢測(cè)儀器進(jìn)行定期的校準(zhǔn)。

其中，探針檢測(cè)設(shè)備是于半導(dǎo)體領(lǐng)域中，對(duì)晶圓上的器件進(jìn)行特性分析而使用的檢測(cè)的設(shè)備。探針檢測(cè)設(shè)備包括測(cè)試機(jī)、探針臺(tái)和探針卡(probecard)。測(cè)試機(jī)用于施加信號(hào)以及測(cè)量反饋回的信號(hào)。探針臺(tái)的主要功能是對(duì)待測(cè)芯片進(jìn)行載入和載出，同時(shí)對(duì)待測(cè)樣品及探針卡上的探針進(jìn)行精確定位。探針卡是晶圓測(cè)試中被測(cè)芯片和測(cè)試機(jī)之間的接口，在進(jìn)行測(cè)試時(shí)，探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊接觸，引出芯片信號(hào)并將信號(hào)反饋于測(cè)試機(jī)，測(cè)試機(jī)對(duì)探針卡回饋的信號(hào)進(jìn)行分析，從而了解芯片的電性特性，掌握晶圓是否在制造過(guò)程中出現(xiàn)缺陷。同樣的，為了確保探針檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)精度，需對(duì)探針檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)，通常的方法是對(duì)探針檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行外校(送至特定校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行校準(zhǔn))或送于機(jī)臺(tái)產(chǎn)商進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)頻率為半年一次或一年一次，每次校準(zhǔn)均需花費(fèi)大量的校準(zhǔn)資金。

因此，如何在既可保證探針檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)精度的情況下，又可適用于多種測(cè)試條件，以節(jié)省成本，已成為一個(gè)不容忽視的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種探針卡，能夠適用于多種測(cè)試條件。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種探針卡，包含：設(shè)置于所述基板上的探針和金手指，每一個(gè)所述探針對(duì)應(yīng)一個(gè)金手指，所述探針同測(cè)試單元相連接，所述金手指與測(cè)試機(jī)相連接；所述探針包含第一探針和第二探針；至少一個(gè)接通裝置，所述接通裝置包含第一信號(hào)源與第二信號(hào)源，所述第一信號(hào)源與所述第一探針相連接，所述第二信號(hào)源與所述第二探針相連接；所述接通裝置還包含一電磁鐵，所述電磁鐵與所述第一信號(hào)源電連接；所述電磁鐵具有第一位置和第二位置，當(dāng)所述電磁鐵位于所述第一位置時(shí)與所述第二信號(hào)源電連接，當(dāng)所述電磁鐵位于所述第二位置時(shí)與所述第二信號(hào)源斷開(kāi)連接；電磁鐵下方設(shè)置有磁鐵。

可選的，所述接通裝置包含柔性電路板，所述柔性電路板連接所述第一信號(hào)源和所述第二信號(hào)源。

可選的，所述第一信號(hào)源中的信號(hào)是正負(fù)電流交替的信號(hào)，所述第二信號(hào)源中的信號(hào)是接地信號(hào)。

可選的，所述磁鐵與所述電磁鐵相互吸引時(shí)所述電磁鐵位于所述第一位置，所述磁鐵與所述電磁鐵相互排斥時(shí)所述電磁鐵位于所述第二位置。

可選的，所述接通裝置中還包含連接桿，所述連接桿一端連接所述第二信號(hào)源，另一端連接處于第一位置的電磁鐵。

可選的，所述接通裝置中還包含殼體、支撐桿，所述支撐桿與所述殼體固定連接。

可選的，還包含電磁鐵固定裝置，所述電磁鐵固定裝置一端連接于所述支撐桿，另一端連接所述電磁鐵，所述電磁鐵固定裝置能相對(duì)于所述支撐桿擺動(dòng)。

可選的，當(dāng)所述第一信號(hào)源的信號(hào)是正電流時(shí)，所述磁鐵與所述電磁鐵相互排斥，當(dāng)所述第一信號(hào)源的信號(hào)是負(fù)電流時(shí)，所述磁鐵與所述電磁鐵相互吸引。

可選的，所述磁鐵設(shè)置于所述電磁鐵位于第一位置的正下方。

本實(shí)用新型還包含一種測(cè)試系統(tǒng)，包括測(cè)試機(jī)，及設(shè)置于所述測(cè)試機(jī)上的上述任一項(xiàng)所述的探針卡。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案具有以下有益效果：

本實(shí)用新型的探針卡通過(guò)設(shè)置電磁鐵與磁鐵，使得在施加正向電流和反向電流時(shí)，電磁鐵與磁鐵相互吸引或排斥，從而給探針接通不同的電位，因此能夠適用于更多的測(cè)試環(huán)境。本實(shí)用新型的探針卡可靠性高，響應(yīng)速度快。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例探針卡測(cè)試系統(tǒng)的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的探針卡示意圖；

圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的探針卡接通裝置示意圖；

圖4是本實(shí)用新型一實(shí)施例的探針卡接通裝置示意圖。

具體實(shí)施方式