[實用新型]探針卡及測試系統

有效

• 申請號: 201720519102.3
• 申請日: 2017-05-11
• 公開（公告）號: CN206945761U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 牛剛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;H01L21/66
• 代理公司: 上海立群專利代理事務所(普通合伙)31291
• 代理人: 侯莉,毛立群

1.一種探針卡，其特征在于，包括：

基板，設置于所述基板上的探針和金手指，每一個所述探針對應一個金手指，所述探針同測試單元相連接，所述金手指與測試機相連接；

所述探針包含第一探針和第二探針；

至少一個接通裝置，所述接通裝置包含第一信號源與第二信號源，所述第一信號源與所述第一探針相連接，所述第二信號源與所述第二探針相連接；

所述接通裝置還包含一電磁鐵，所述電磁鐵與所述第一信號源電連接；

所述電磁鐵具有第一位置和第二位置，當所述電磁鐵位于所述第一位置時與所述第二信號源電連接，當所述電磁鐵位于所述第二位置時與所述第二信號源斷開連接；

電磁鐵下方設置有磁鐵。

2.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述接通裝置包含柔性電路板，所述柔性電路板連接所述第一信號源和所述第二信號源。

3.如權利要求2所述的探針卡，其特征在于，所述第一信號源中的信號是正負電流交替的信號，所述第二信號源中的信號是接地信號。

4.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述磁鐵與所述電磁鐵相互吸引時所述電磁鐵位于所述第一位置，所述磁鐵與所述電磁鐵相互排斥時所述電磁鐵位于所述第二位置。

5.如權利要求2所述的探針卡，其特征在于，所述接通裝置中還包含連接桿，所述連接桿一端連接所述第二信號源，另一端連接處于第一位置的電磁鐵。

6.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述接通裝置中還包含殼體、支撐桿，所述支撐桿與所述殼體固定連接。

7.如權利要求6所述的探針卡，其特征在于，還包含電磁鐵固定裝置，所述電磁鐵固定裝置一端連接于所述支撐桿，另一端連接所述電磁鐵，所述電磁鐵固定裝置能相對于所述支撐桿擺動。

8.如權利要求3或4所述的探針卡，其特征在于，當所述第一信號源的信號是正電流時，所述磁鐵與所述電磁鐵相互排斥，當所述第一信號源的信號是負電流時，所述磁鐵與所述電磁鐵相互吸引。

9.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述磁鐵設置于所述電磁鐵位于第一位置的正下方。

10.一種測試系統，其特征在于，包括測試機，及設置于所述測試機上的如權利要求1～9中任一項所述的探針卡。