[實(shí)用新型]噴嘴

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720513496.1
• 申請(qǐng)日: 2017-05-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206965954U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳勇州;古伊鈞;林祺浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華景電通股份有限公司
• 主分類號(hào): B05B1/00
• 分類號(hào): B05B1/00;H01L21/673
• 代理公司: 北京律和信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11446
• 代理人: 項(xiàng)榮,康寧寧

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種噴嘴，特別是一種固定設(shè)置于用以對(duì)晶圓儲(chǔ)存盒進(jìn)行氣體交換的機(jī)臺(tái)上的噴嘴。

背景技術(shù)

在晶圓的生產(chǎn)過(guò)程中，晶圓在運(yùn)送過(guò)程中，必需透過(guò)晶圓儲(chǔ)存盒來(lái)進(jìn)行運(yùn)送，而為了避免晶圓表面的各種結(jié)構(gòu)于運(yùn)送過(guò)程中發(fā)生質(zhì)變。相關(guān)生產(chǎn)廠商會(huì)利用特制的機(jī)臺(tái)，來(lái)對(duì)晶圓儲(chǔ)存盒內(nèi)的氣體進(jìn)行交換，以使晶圓儲(chǔ)存盒內(nèi)充滿相對(duì)穩(wěn)定的氣體。對(duì)于相關(guān)廠商而言，如何設(shè)計(jì)機(jī)臺(tái)上的噴嘴，以避免機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓儲(chǔ)存盒進(jìn)行氣體交換時(shí)，氣體由噴嘴向外泄漏的問(wèn)題，成為了制作該機(jī)臺(tái)時(shí)最重要的問(wèn)題之一。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種噴嘴，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中，噴嘴容易在機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓儲(chǔ)存盒內(nèi)部的氣體進(jìn)行交換時(shí)，發(fā)生泄漏的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種噴嘴，其用以固定設(shè)置于一機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)用以提供一晶圓儲(chǔ)存盒置放，而噴嘴能與晶圓儲(chǔ)存盒的氣孔相連接，而機(jī)臺(tái)能通過(guò)噴嘴對(duì)晶圓儲(chǔ)存盒充氣或抽氣，噴嘴包含：一基部及一抵頂部?；繛橐粓A柱狀結(jié)構(gòu)，基部的中心形成有一通氣孔；基部的兩端分別定義為一通氣端及一連接端，基部具有一環(huán)狀溝槽，環(huán)狀溝槽用以與機(jī)臺(tái)相互卡合，環(huán)狀溝槽形成于基部的外周緣或基部形成通氣孔的內(nèi)壁；其中，基部的外周緣與基部形成通氣孔的內(nèi)壁距離定義為一最大厚度，最大厚度減去環(huán)狀溝槽的深度定義為一最小厚度，通氣孔的孔徑不大于最大厚度的兩倍，且環(huán)狀溝槽的深度不大于最小厚度。抵頂部由基部的連接端向遠(yuǎn)離基部的方向延伸形成，抵頂部的中心形成有一穿孔，穿孔、通氣孔及環(huán)狀溝槽位于相同的中心軸線上，而穿孔與通氣孔相互連通，抵頂部的最大外徑不小于基部的最大外徑，抵頂部相反于與基部相連接的一端具有平整的一頂面；其中，晶圓儲(chǔ)存盒固定設(shè)置于機(jī)臺(tái)時(shí)，抵頂部的部分能對(duì)應(yīng)貼合于晶圓儲(chǔ)存盒的氣孔周緣，而穿孔及通氣孔則能對(duì)應(yīng)與晶圓儲(chǔ)存盒的氣孔相互連通。

優(yōu)選地，該抵頂部包含有多個(gè)環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)，該些環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)由該頂面向遠(yuǎn)離該基部的方向凸出延伸形成，且該些環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)彼此間隔地設(shè)置。

優(yōu)選地，各該環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)與該穿孔位于相同的中心軸線上；最接近該穿孔的該環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)的內(nèi)環(huán)側(cè)壁，不與形成該穿孔的內(nèi)壁共平面。

優(yōu)選地，最遠(yuǎn)離該穿孔的該環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)的外環(huán)側(cè)壁，與該穿孔的中心軸線的距離，不大于該基部的外環(huán)側(cè)壁與該通氣孔的中心軸線的距離。

優(yōu)選地，該些環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)相反于與該頂面相連接的一接觸表面位于相同的平面；其中，該晶圓儲(chǔ)存盒固定設(shè)置于該機(jī)臺(tái)時(shí)，各該環(huán)狀氣密結(jié)構(gòu)的該接觸表面能對(duì)應(yīng)貼合于該晶圓儲(chǔ)存盒的氣孔周緣。

優(yōu)選地，該抵頂部的厚度由鄰近于該基部的位置，向遠(yuǎn)離該基部的方向逐漸遞減。

優(yōu)選地，該抵頂部具有一輔助環(huán)狀溝槽，該輔助環(huán)狀溝槽形成于該抵頂部形成該穿孔的內(nèi)壁，且該輔助環(huán)狀溝槽與該環(huán)狀溝槽彼此相連通。

優(yōu)選地，該抵頂部相反于與該基部相連接的一端內(nèi)凹形成有一卡合槽，該卡合槽與該穿孔相互連通，且該卡合槽的孔徑大于該穿孔的孔徑，該頂面形成于該卡合槽與該穿孔相連接的位置；該卡合槽用以與位于該晶圓儲(chǔ)存盒的氣孔周緣的結(jié)構(gòu)相互卡合。

優(yōu)選地，該環(huán)狀溝槽形成于該基部形成該通氣孔的內(nèi)壁，該基部的外周緣向外延伸形成有一強(qiáng)化結(jié)構(gòu)，該強(qiáng)化結(jié)構(gòu)與該抵頂部相互連接，而該抵頂部的外周緣與該強(qiáng)化結(jié)構(gòu)的外周緣位于同一弧面。

優(yōu)選地，該抵頂部鄰近于該穿孔的位置形成有一環(huán)狀斜面，該環(huán)狀斜面由遠(yuǎn)離該基部的一端向該穿孔的中心軸線方向傾斜設(shè)置。

本實(shí)用新型的有益效果可以在于：透過(guò)基部及抵頂部的設(shè)計(jì)，可以有效地加強(qiáng)噴嘴與晶圓儲(chǔ)存盒接觸時(shí)的氣密度，而降低噴嘴于機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓儲(chǔ)存盒內(nèi)部進(jìn)行氣體交換時(shí)發(fā)生氣體泄漏的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的噴嘴設(shè)置于機(jī)臺(tái)上的示意圖。

圖2、3為本實(shí)用新型的噴嘴的第一實(shí)施例的示意圖。

圖4、5為本實(shí)用新型的噴嘴的第二實(shí)施例的示意圖。

圖6、7為本實(shí)用新型的噴嘴的第三實(shí)施例的示意圖。

圖8、9為本實(shí)用新型的噴嘴的第四實(shí)施例的示意圖。

圖10、11為本實(shí)用新型的噴嘴的第五實(shí)施例的示意圖。

具體實(shí)施方式