[實用新型]噴嘴

有效

• 申請號: 201720513496.1
• 申請日: 2017-05-08
• 公開（公告）號: CN206965954U
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發明（設計）人: 陳勇州;古伊鈞;林祺浩
• 申請（專利權）人: 華景電通股份有限公司
• 主分類號: B05B1/00
• 分類號: B05B1/00;H01L21/673
• 代理公司: 北京律和信知識產權代理事務所(普通合伙)11446
• 代理人: 項榮,康寧寧

1.一種噴嘴，其特征在于，所述噴嘴用以固定設置于一機臺，該機臺用以提供一晶圓儲存盒置放，而該噴嘴能與該晶圓儲存盒的氣孔相連接，而該機臺能通過該噴嘴對該晶圓儲存盒充氣或抽氣，該噴嘴包含：

一基部，其為一圓柱狀結構，該基部的中心形成有一通氣孔；該基部的兩端分別定義為一通氣端及一連接端，該基部具有一環狀溝槽，該環狀溝槽用以與該機臺相互卡合，該環狀溝槽形成于該基部的外周緣或該基部形成該通氣孔的內壁；其中，該基部的外周緣與該基部形成該通氣孔的內壁距離定義為一最大厚度，該最大厚度減去該環狀溝槽的深度定義為一最小厚度，該通氣孔的孔徑不大于最大厚度的兩倍，且該環狀溝槽的深度不大于最小厚度；以及

一抵頂部，其由該基部的該連接端向遠離該基部的方向延伸形成，該抵頂部的中心形成有一穿孔，該穿孔、該通氣孔及該環狀溝槽位于相同的中心軸線上，而該穿孔與該通氣孔相互連通，該抵頂部的最大外徑不小于該基部的最大外徑，該抵頂部相反于與該基部相連接的一端具有平整的一頂面；其中，該晶圓儲存盒固定設置于該機臺時，該抵頂部的部分能對應貼合于該晶圓儲存盒的氣孔周緣，而該穿孔及該通氣孔則能對應與該晶圓儲存盒的氣孔相互連通。

2.依據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，該抵頂部包含有多個環狀氣密結構，該些環狀氣密結構由該頂面向遠離該基部的方向凸出延伸形成，且該些環狀氣密結構彼此間隔地設置。

3.依據權利要求2所述的噴嘴，其特征在于，各該環狀氣密結構與該穿孔位于相同的中心軸線上；最接近該穿孔的該環狀氣密結構的內環側壁，不與形成該穿孔的內壁共平面。

4.依據權利要求3所述的噴嘴，其特征在于，最遠離該穿孔的該環狀氣密結構的外環側壁，與該穿孔的中心軸線的距離，不大于該基部的外環側壁與該通氣孔的中心軸線的距離。

5.依據權利要求4所述的噴嘴，其特征在于，該些環狀氣密結構相反于與該頂面相連接的一接觸表面位于相同的平面；其中，該晶圓儲存盒固定設置于該機臺時，各該環狀氣密結構的該接觸表面能對應貼合于該晶圓儲存盒的氣孔周緣。

6.依據權利要求1至5其中任一項所述的噴嘴，其特征在于，該抵頂部的厚度由鄰近于該基部的位置，向遠離該基部的方向逐漸遞減。

7.依據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，該抵頂部具有一輔助環狀溝槽，該輔助環狀溝槽形成于該抵頂部形成該穿孔的內壁，且該輔助環狀溝槽與該環狀溝槽彼此相連通。

8.依據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，該抵頂部相反于與該基部相連接的一端內凹形成有一卡合槽，該卡合槽與該穿孔相互連通，且該卡合槽的孔徑大于該穿孔的孔徑，該頂面形成于該卡合槽與該穿孔相連接的位置；該卡合槽用以與位于該晶圓儲存盒的氣孔周緣的結構相互卡合。

9.依據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，該環狀溝槽形成于該基部形成該通氣孔的內壁，該基部的外周緣向外延伸形成有一強化結構，該強化結構與該抵頂部相互連接，而該抵頂部的外周緣與該強化結構的外周緣位于同一弧面。

10.依據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，該抵頂部鄰近于該穿孔的位置形成有一環狀斜面，該環狀斜面由遠離該基部的一端向該穿孔的中心軸線方向傾斜設置。