[實用新型]半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720512886.7
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN206937069U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王娟
• 申請（專利權(quán)）人: 貴州貴芯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/34
• 代理公司: 貴陽春秋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)52109
• 代理人: 楊云

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體材料制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備。

背景技術(shù)

研磨工藝是在精加工基礎(chǔ)上用研具和磨料從工件表面磨去一層極薄金屬的一種磨料精密加工方法。尺寸公差等級可達(dá)IT5～I(xiàn)T3，Ra值可達(dá)0.1～0.008μm。

目前的研磨工藝基本分為三種：濕研、干研和半干研。其中，濕研將液狀研磨劑涂敷或連續(xù)加注于研具表面，使磨料(W14～W5)在工件與研具間不斷地滑動與滾動，從而實現(xiàn)對工件的切削，濕研應(yīng)用較多；干研將磨料(W3.5～W0.5)均勻地壓嵌在研具表層上，研磨時需在研具表面涂以少量的潤滑劑，干研多用于精研；半干研所用研磨劑為糊狀的研磨膏，粗、精研均可采用。

目前研磨工藝已經(jīng)在許多領(lǐng)域內(nèi)使用，由于研磨工藝可以更好地加工、改進(jìn)產(chǎn)品的外觀造型，因此，越來越多的工廠開始使用這一技術(shù)，而在半導(dǎo)體材料加工工藝中，研磨產(chǎn)品不僅僅會使得產(chǎn)品的外觀更加美觀，同時，也可以有效的提升半導(dǎo)體材料的性能，因此，在半導(dǎo)體材料研發(fā)工藝中，研磨技術(shù)已經(jīng)不斷發(fā)展；然而由于研磨技術(shù)目前基本都是采用的濕法研磨手段，這在半導(dǎo)體材料的研發(fā)中有著諸多的不便，因此，需要新型的研磨機(jī)械和手段來解決這一問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，包括研磨設(shè)備，所述研磨設(shè)備下方固定有支撐底座，所述研磨設(shè)備表面焊接有研磨臺，所述研磨設(shè)備通過連接柱與操作面板連接，所述研磨臺表面固定有研磨器，所述研磨器通過支撐座與粗磨轉(zhuǎn)輪連接，且支撐座一側(cè)設(shè)置有夾具，所述研磨臺一側(cè)固定有導(dǎo)軌，且導(dǎo)軌表面安裝有移動控制塊，所述移動控制塊一側(cè)安裝有精磨轉(zhuǎn)輪，所述研磨器一側(cè)表面設(shè)置有方向調(diào)節(jié)器，所述操作面板表面設(shè)置有操作按鍵和電源按鍵，所述夾具通過滑槽與固定滑塊連接，所述精磨轉(zhuǎn)輪表面繪制有摩擦壁，所述精磨轉(zhuǎn)輪下方焊接有連接桿，且連接桿表面繪制有螺紋。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述連接桿通過螺紋固定在移動控制塊上。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述夾具通過固定滑塊連接在支撐座上。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述支撐底座共設(shè)置有四個，且四個支撐底座均勻分布在研磨設(shè)備底部。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

所述操作面板與研磨器和夾具電性連接。

本實用新型中，本申請通過利用兩個不同的研磨輪達(dá)到不同的研 磨效果，同時，精磨轉(zhuǎn)輪設(shè)計成了可拆卸結(jié)構(gòu)，通過螺紋和連接桿來固定精磨轉(zhuǎn)輪，可以根據(jù)需要更換不同尺寸的研磨輪，同時，還在研磨臺上加入了夾取半導(dǎo)體材料的夾具，通過夾具夾取并放入研磨，相比較于手工放置研磨精度更高，安全性更好。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備的主視圖；

圖2為本實用新型提出的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型提出的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備的精磨轉(zhuǎn)輪的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖例說明：

1-研磨設(shè)備、11-研磨臺、12-支撐底座、13-連接柱、2-操作面板、21-操作按鍵、22-電源按鍵、3-研磨器、31-支撐座、32-粗磨轉(zhuǎn)輪、33-方向調(diào)節(jié)器、34-導(dǎo)軌、35-移動控制塊、4-精磨轉(zhuǎn)輪、41-摩擦壁、42-連接桿、43-螺紋、5-夾具、51-滑槽、52-固定滑塊。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參照圖1-3，半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，包括研磨設(shè)備1，研磨設(shè)備1下方固定有支撐底座12，研磨設(shè)備1表面焊接有研磨臺11，研磨設(shè)備1通過連接柱13與操作面板2連接，研磨臺11表面固定有研磨 器3，研磨器3通過支撐座31與粗磨轉(zhuǎn)輪32連接，且支撐座31一側(cè)設(shè)置有夾具5，研磨臺11一側(cè)固定有導(dǎo)軌34，且導(dǎo)軌34表面安裝有移動控制塊35，移動控制塊35一側(cè)安裝有精磨轉(zhuǎn)輪4，研磨器3一側(cè)表面設(shè)置有方向調(diào)節(jié)器33，操作面板2表面設(shè)置有操作按鍵21和電源按鍵22，夾具5通過滑槽51與固定滑塊52連接，精磨轉(zhuǎn)輪4表面繪制有摩擦壁41，精磨轉(zhuǎn)輪4下方焊接有連接桿42，且連接桿42表面繪制有螺紋43。

連接桿42通過螺紋43固定在移動控制塊35上。