[實用新型]半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720512886.7
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN206937069U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王娟
• 申請（專利權(quán)）人: 貴州貴芯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/34
• 代理公司: 貴陽春秋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)52109
• 代理人: 楊云

1.半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，包括研磨設(shè)備(1)，其特征在于，所述研磨設(shè)備(1)下方固定有支撐底座(12)，所述研磨設(shè)備(1)表面焊接有研磨臺(11)，所述研磨設(shè)備(1)通過連接柱(13)與操作面板(2)連接，所述研磨臺(11)表面固定有研磨器(3)，所述研磨器(3)通過支撐座(31)與粗磨轉(zhuǎn)輪(32)連接，且支撐座(31)一側(cè)設(shè)置有夾具(5)，所述研磨臺(11)一側(cè)固定有導(dǎo)軌(34)，且導(dǎo)軌(34)表面安裝有移動控制塊(35)，所述移動控制塊(35)一側(cè)安裝有精磨轉(zhuǎn)輪(4)，所述研磨器(3)一側(cè)表面設(shè)置有方向調(diào)節(jié)器(33)，所述操作面板(2)表面設(shè)置有操作按鍵(21)和電源按鍵(22)，所述夾具(5)通過滑槽(51)與固定滑塊(52)連接，所述精磨轉(zhuǎn)輪(4)表面繪制有摩擦壁(41)，所述精磨轉(zhuǎn)輪(4)下方焊接有連接桿(42)，且連接桿(42)表面繪制有螺紋(43)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，其特征在于，所述連接桿(42)通過螺紋(43)固定在移動控制塊(35)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，其特征在于，所述夾具(5)通過固定滑塊(52)連接在支撐座(31)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，其特征在于，所述支撐底座(12)共設(shè)置有四個，且四個支撐底座(12)均勻分布在研磨設(shè)備(1)底部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體材料研磨設(shè)備，其特征在于，所述操作面板(2)與研磨器(3)和夾具(5)電性連接。