[實用新型]一種晶圓加磁測試裝置有效
| 申請號： | 201720508227.6 | 申請日： | 2017-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN207281239U | 公開（公告）日： | 2018-04-27 |
| 發明（設計）人： | 付玉增;周平;逯建武 | 申請（專利權）人： | 普冉半導體（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海信好專利代理事務所(普通合伙)31249 | 代理人： | 朱成之 |
| 地址： | 201210 上海市浦東新區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 晶圓加磁 測試 裝置 | ||
1.一種晶圓加磁測試裝置，其特征在于，包含：固定設置在針卡（3）上的方形骨架電磁鐵，用于提供水平的磁場來對待測晶圓中的霍爾傳感器進行加磁測試；
所述的方形骨架電磁鐵包含：
管芯（2），用于繞制線圈；
兩片方形線圈托板（1），分別位于管芯（2）兩側，分別連接管芯（2）的兩端，用于固定繞線位置和線圈位置；
線圈，其繞設在管芯（2）上。
2.如權利要求1所述的晶圓加磁測試裝置，其特征在于，所述的方形線圈托板（1）上具有卡槽（101），用于放置聚磁材料。
3.如權利要求2所述的晶圓加磁測試裝置，其特征在于，所述的方形線圈托板（1）采用鋁材料。
4.如權利要求1所述的晶圓加磁測試裝置，其特征在于，所述的管芯（2）為空心柱狀結構，其內部空腔用于放置聚磁材料。
5.如權利要求1所述的晶圓加磁測試裝置，其特征在于，所述的線圈采用漆包線。
6.如權利要求2或4所述的晶圓加磁測試裝置，其特征在于，所述的方形骨架電磁鐵還包含：若干聚磁材料，其設置在管芯（2）內部空腔處和卡槽（101）處，用于增強磁場強度。
7.如權利要求1所述的晶圓加磁測試裝置，其特征在于，所述的針卡（3）上具有針卡凹槽（301），用于固定方形骨架電磁鐵。
8.如權利要求7所述的晶圓加磁測試裝置，其特征在于，所述的針卡（3）上設置若干探針（4），所述的探針（4）設置在針卡凹槽（301）處，保證了方形骨架電磁鐵產生的磁場在探針（4）位置處是水平方向的。
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