[實用新型]一種用于電子束發射度測量的微米量級轉換靶裝置

有效

• 申請號: 201720503582.4
• 申請日: 2017-05-08
• 公開（公告）號: CN206696440U
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 李洪;江孝國;龍全紅;劉云龍;葉毅;戴文華;王遠;楊興林
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院流體物理研究所
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙)51220
• 代理人: 王記明

技術領域

本實用新型涉及電子束發射度測量技術領域，具體涉及一種用于電子束發射度測量的微米量級轉換靶裝置。

背景技術

在加速器領域中的電子束發射度測量技術是加速器研制過程中的一種重要測試技術，通過對電子束發射度的測量可以獲取電子束的性能狀態，這對于加速器的調試具有及其重要的意義。在發射度的測量技術中，有一種基于切倫科夫輻射原理的測量技術，但這種測量技術要求轉換靶厚度極其的薄，最好達到微米量級，并且要求轉換靶平面達到鏡面效果，否則，將給測量帶來極大的誤差甚至是不真實的測量結果。

雖然通過對石英等類似材料進行研磨可以獲得一定厚度的薄片，并且也具有鏡面效果，但目前能夠研磨出0.1mm厚度的石英薄片已經極為困難，并且存在尺寸小、不便于清洗、極易破損(安裝不便)的缺點，更主要的問題是達到0.1mm厚度的石英薄片仍然還不能在性能上滿足測量要求，需要更薄的薄片，采用石英研磨的方法已經很難再繼續往更薄的程度進行下去了，需要尋找一種新的結構形式的轉換靶材料及支撐結構來達到獲取需要的厚度的薄片靶。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于電子束發射度測量的微米量級轉換靶裝置，解決現有技術中石英薄片厚度小于0.1mm后難以加工同時性能不滿足電子束發射度測量的問題，達到滿足使用同時具有使用簡便、維護方便的效果。

本實用新型通過下述技術方案實現：

一種用于電子束發射度測量的微米量級轉換靶裝置，包括一個下環座，下環座的上端面沿其軸線內凹形成有一個環狀凹槽，還包括一個與下環座相匹配的上環座，上環座的下表面設置有向下凸出且與下環座的環狀凹槽相匹配的凸環，上環座的凸環插入下環座的環狀凹槽后，鋪設在下環座上的薄膜被擴張形成鏡面。本發明采用相互匹配的上環座和下環座，在下環座上設置有環形凹槽，將薄膜平鋪在下環座上，將上環座的凸環平整地推入環狀凹槽內，推動的過程中，凸環的作用使得薄膜被拉伸延展，形成鏡面，下環座和的配合具有較好的可壓縮性，能把厚度僅有0.9～2微米的通光性、延展性好的薄膜延展達到鏡面效果，來實現用于電子束發射度測量的微米量級轉換靶裝置，克服了石英薄片尺寸小、不便于清洗、極易破損、安裝不便的缺點，達到了使用簡便、維護方便、成本低的目的，并且在直徑30～200mm各種口徑范圍內具有同樣高的測量精度，相對于石英薄片只能50-60mm直徑而言，大大提高了適應的口徑。

在所述上環座凸環的內側設置有一環狀密封槽，在該環狀密封槽內設置有一個側面擴展密封圈。進一步講，在薄膜的拉伸過程中，由于凸環與薄膜的直接作用，可能會造成受力不均而損壞薄膜的問題，經過多次的實驗和理論分析后，通過在上環座凸環的內側設置有一環狀密封槽，在該環狀密封槽內設置有一個側面擴展密封圈的方式，將薄膜自由的平鋪在下環座上，將上環座的凸環均勻、水平地壓進下環座的環形凹槽內，壓進過程中側面擴展密封圈和漲緊裝置下環的凹槽內壁摩擦，使薄膜擴展成鏡面效果的平面，通過具有一定彈性的側面擴展密封圈作用在薄膜上，避免了薄膜在硬碰硬拉伸狀態下的損壞。

所述下環座環狀凹槽內側的端面沿下環座的軸向內凹形成有頂部凹槽，在頂部凹槽內安裝有保持密封圈。

在所述下環座的環狀凹槽內安裝有壓緊密封圈。

進一步講，通過在頂部凹槽內安裝有保持密封圈、在下環座的環狀凹槽內安裝有壓緊密封圈，兩處的密封圈將薄膜壓緊固定，使得薄膜在拉伸過程中每一處變向都有一個密封圈進行保護和密封壓緊，使微米量級轉換靶平整緊固，滿足電子束發射度測量。

在所述的壓緊密封圈上設置有向下延伸并進入下環座底部的條形槽，在條形槽的底部設置有貫穿下環座的螺孔。通過在下環座底部設置條形槽，條形槽向上延伸貫穿壓緊密封圈，在條形槽底部設置螺孔，當上環座與下環座匹配連接后，需要利用螺釘進行固定，通過設置條形槽，便于螺釘的操作連接，為其提供了寬敞的操作空間，提高了裝配固定的效率。

在所述下環座的環狀凹槽外側壁上，設置有多個排氣孔。通過設置多個排氣孔，在裝配過程中，凸環的下壓必然會壓縮環形凹槽的空間，壓縮后的氣體通過設置的排氣孔排出，可以避免壓縮空氣對薄膜拉伸鋪平的反作用，有利于提高薄膜的鏡面效果。

在所述下環座的外側還設置有一個連接基座。進一步講，通過設置一個連接基座，便于整個轉換靶的后續安裝，便于其更換，增加了實用性。

本實用新型與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：