[實用新型]濕式刻蝕用清洗裝置以及濕式刻蝕設備

有效

• 申請號: 201720494846.4
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN206716576U
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 聶行健;陳聰文;汪杰;趙敏
• 申請（專利權）人: 東旭（昆山）顯示材料有限公司;東旭集團有限公司;東旭科技集團有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司11283
• 代理人: 李翔,李健

技術領域

本實用新型涉及顯示技術領域，具體地涉及一種濕式刻蝕用清洗裝置以及濕式刻蝕設備。

背景技術

隨著平板顯示技術的發展，液晶顯示器已經廣泛應用于電腦、電視、手機、車載屏幕等設備上。尤其是薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，簡稱TFT-LCD)具有大容量、高清晰度和高品質全真彩色而更加受到人們的青睞。

在TFT-LCD生產過程中，主要是在潔凈的玻璃基板上鍍膜、光刻、刻蝕、去膠等工藝。目前，濕式刻蝕設備主要包括刻蝕裝置、水洗裝置和干燥裝置這三個組成部分。在整個制備的過程當中，玻璃基板依次通過刻蝕裝置、水洗裝置和干燥裝置。當玻璃基板從刻蝕裝置進入水洗裝置中時，會不可避免的將部分化學藥劑帶入到水洗裝置中，使得水洗裝置的承液槽中含有化學藥劑。

實際上，在沿玻璃基板行進的方向上，承液槽中的化學藥劑的濃度是逐漸減小的，而目前只能將承液槽中的廢液進行整體排放，并不能夠實現區域排放以滿足對不同濃度的廢液進行分別處理的需求。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術存在的濕式刻蝕用水洗裝置中的承液槽不能針對不同濃度的廢液進行分別排放的問題，提供一種濕式刻蝕用清洗裝置，該濕式刻蝕用清洗裝置能夠針對不同區域所產生的不同濃度的廢液進行分別排放。

為了實現上述目的，本實用新型一方面提供一種濕式刻蝕用清洗裝置，所述濕式刻蝕用清洗裝置包括用于傳送玻璃基板的傳送單元、位于所述傳送單元上方的能夠向所述玻璃基板噴清洗液的噴淋單元以及位于所述傳送單元下方的接液槽，其中，所述接液槽的內部安裝有能夠將所述接液槽的內部分隔成沿所述傳送單元的傳送方向排列的相互獨立的腔室的隔板。

優選地，所述接液槽的內部設置有使得所述隔板能夠沿所述傳送方向往復移動的導向單元。

優選地，所述導向單元包括安裝于所述接液槽的側壁且沿所述傳送方向延伸的導軌以及安裝于所述隔板且能夠沿所述導軌滑動的滑塊。

優選地，所述導軌為多個，多個所述導軌成對設置，每對所述導軌位置對應地分布于所述接液槽相對的兩個側壁上。

優選地，所述濕式刻蝕用清洗裝置包括多個所述隔板。

優選地，至少一個所述腔室的底壁上設置有排液口。

優選地，所述傳送單元包括滾輪傳送帶。

優選地，所述隔板的周緣設置有密封件。

優選地，所述密封件包括貼附于所述隔板的周緣的密封條。

在上述技術方案中，通過在所述接液槽的內部設置能夠將所述接液槽的內部分隔成沿所述傳送單元的傳送方向排列且相互獨立的腔室的所述隔板，使得在不同位置噴洗所述玻璃基板后產生的廢液能夠進入相應的腔室中，以便針對不同濃度的廢液進行分別處理，不僅降低了制造成本，而且實現了環保目的。

本實用新型的另一方面提供一種濕式刻蝕設備，所述濕式刻蝕設備包括本實用新型所提供的濕式刻蝕用清洗裝置、位于所述濕式刻蝕用清洗裝置上游的刻蝕裝置以及位于所述濕式刻蝕用清洗裝置下游的干燥裝置。由于在所述濕式刻蝕設備中設置了本實用新型所提供的濕式刻蝕用清洗裝置，因此在所述刻蝕裝置中經過濕式刻蝕后的玻璃基板在所述傳送單元的輸送下進入所述濕式刻蝕用清洗裝置，位于所述傳送單元上方的噴淋單元如噴嘴向所述玻璃基板噴灑清洗液如水，清洗所述玻璃基板產生的不同濃度廢液流入所述接液槽內的相應的腔室中，這樣便能夠對不同濃度的廢液進行分別處理，具有良好的環保效果。

附圖說明

圖1是本實用新型的優選實施方式的濕式刻蝕設備的整體結構示意圖；

圖2是本實用新型的優選實施方式的濕式刻蝕用清洗裝置的整體結構示意圖；

圖3是圖2所示的濕式刻蝕用清洗裝置中的設置有導向單元的隔板的整體結構示意圖。

附圖標記說明

1-濕式刻蝕用清洗裝置；10-傳送單元；11-接液槽；12-隔板；13-導向單元；130-導軌；131-滑塊；14-密封件；2-刻蝕裝置；3-干燥裝置。

具體實施方式

在本實用新型中，在未作相反說明的情況下，使用的方位詞如“上、下、左、右”通常是指結合附圖中所示的方位和實際應用中的方位理解。