[實用新型]一種石英舟

有效

• 申請號: 201720474665.5
• 申請日: 2017-05-02
• 公開（公告）號: CN206685357U
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 劉龍杰;黨繼東
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙)32251
• 代理人: 陸金星

1.一種石英舟，主要包括兩個側板(1)，兩個側板之間通過槽棒(2)連接，其特征在于：

所述槽棒(2)至少有3根，其中1根槽棒(2)設于其余槽棒的下方；

各根槽棒(2)上均設有復數個卡槽(3)，各根槽棒(2)上的卡槽一一對應并構成硅片承載槽。

2.根據權利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述槽棒(2)為3根，3根槽棒之間形成三角形；

當所述三角形為直角三角形時，其直角邊不與水平面平行。

3.根據權利要求2所述的石英舟，其特征在于：所述1根槽棒(2)設于側板(1)的下方中部，另外2根槽棒(2)位于所述側板下方中部的槽棒的上方兩側。

4.根據權利要求3所述的石英舟，其特征在于：所述設于側板(1)的下方中部的槽棒上的卡槽與硅片的角配合或與硅片的邊配合。

5.根據權利要求4所述的石英舟，其特征在于：所述卡槽(3)與硅片的角配合時，所述卡槽(3)為V形結構，所述V形結構的夾角為100~160度。

6.根據權利要求3所述的石英舟，其特征在于：所述設于側板(1)的下方中部的槽棒(2)的寬度為3~4 cm。

7.根據權利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述石英舟還包括緊固件，且所述石英舟為分體結構。

8.根據權利要求7所述的石英舟，其特征在于：所述側板(1)上設有通孔(6)，所述槽棒（2）的兩端為與所述側板通孔(6)配合的螺桿結構(5)，所述緊固件與該螺桿結構(5)配合，使兩個側板之間通過槽棒（2）連接固定。

9.根據權利要求8所述的石英舟，其特征在于：所述緊固件為石英螺母(4)。

10.根據權利要求8所述的石英舟，其特征在于：所述設于側板(1)的下方中部的槽棒（2）兩端的螺桿結構(5)的直徑為1.2~1.5 cm，其長度為2.5~3 cm；

其余槽棒（2）兩端的螺桿結構(5)的直徑為0.8~1.2 cm，其長度為2~2.5 cm。