[實(shí)用新型]一種石英舟有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720474665.5 | 申請日: | 2017-05-02 |
| 公開(公告)號: | CN206685357U | 公開(公告)日: | 2017-11-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉龍杰;黨繼東 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙)32251 | 代理人: | 陸金星 |
| 地址: | 215129 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 石英 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種石英舟。
背景技術(shù)
常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡,在所有的可持續(xù)能源中,太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前,在所有的太陽電池中,晶體硅太陽電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽能電池之一,這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲量,同時(shí)晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優(yōu)異的電學(xué)性能和機(jī)械性能,因此,晶體硅太陽電池在光伏領(lǐng)域占據(jù)著重要的地位。
現(xiàn)有技術(shù)中,晶體硅太陽能電池的制備工藝主要包括:清洗、去損傷層、制絨、擴(kuò)散制結(jié)、刻蝕、沉積減反射膜、印刷、燒結(jié)、電池片測試。其中,擴(kuò)散制結(jié)是晶體硅太陽能電池生產(chǎn)過程中的一道核心工序。現(xiàn)有的擴(kuò)散工序普遍采用高溫?cái)U(kuò)散爐進(jìn)行擴(kuò)散,即把硅片放置在爐管中,這就需要使用石英舟。
現(xiàn)有的石英舟一般是一體結(jié)構(gòu),參見圖1所示,主要包括兩個(gè)側(cè)板1,兩側(cè)板之間通過4根槽棒2連接,4根槽棒上均設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)卡槽3,卡槽與相鄰卡槽位于同一平面且相互配合,形成硅片承載槽。現(xiàn)有的4根槽棒分成上下2根分別分布于側(cè)板上,從側(cè)視圖來看,4根槽棒呈梯形結(jié)構(gòu);硅片也是呈正方形狀態(tài)正向插入硅片承載槽內(nèi);此時(shí),槽棒與硅片的接觸處為硅片的3個(gè)邊上(因?yàn)橄路降?個(gè)槽棒與硅片的接觸處均位于硅片的下邊上)。
然而,實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn),當(dāng)石英舟使用達(dá)到一定次數(shù)而又未及時(shí)清洗時(shí),槽棒與硅片的接觸處會產(chǎn)生卡槽印,嚴(yán)重影響了硅片的外觀。
因此,改進(jìn)石英舟的結(jié)構(gòu)以減少卡槽印的產(chǎn)生,顯然具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種石英舟。以減少卡槽印的產(chǎn)生,提高硅片的外觀質(zhì)量。
為達(dá)到上述發(fā)明目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種石英舟,主要包括兩個(gè)側(cè)板,兩個(gè)側(cè)板之間通過槽棒連接,
所述槽棒至少有3根,其中1根槽棒設(shè)于其余槽棒的下方;
各根槽棒上均設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)卡槽,各根槽棒上的卡槽一一對應(yīng)并構(gòu)成硅片承載槽。
優(yōu)選的,所述槽棒為3根,3根槽棒之間形成三角形;當(dāng)所述三角形為直角三角形時(shí),其直角邊不與水平面平行。
優(yōu)選的,所述1根槽棒設(shè)于側(cè)板的下方中部,另外2根槽棒位于所述側(cè)板下方中部的槽棒的上方兩側(cè)。
上文中,所述1根槽棒設(shè)于側(cè)板的下方中部。其位置是一種優(yōu)選,當(dāng)然,其位置也可以偏離中央位置。
上文中,所述各根槽棒上的卡槽一一對應(yīng)并構(gòu)成硅片承載槽,是指各根槽棒上的相鄰的卡槽一一對應(yīng),并構(gòu)成一個(gè)硅片承載槽;而槽棒上設(shè)有多個(gè)卡槽,因而形成多個(gè)平行的硅片承載槽。優(yōu)選的,各根槽棒上的卡槽的數(shù)量都是相同的。
優(yōu)選的,各個(gè)卡槽構(gòu)成的硅片承載槽優(yōu)選是豎直的承載槽,即硅片插入硅片承載槽之后,硅片是呈豎直狀態(tài)。
所述槽棒上的卡槽的數(shù)量優(yōu)選為10~20個(gè),更優(yōu)選的為15~18個(gè)。
優(yōu)選的,所述設(shè)于側(cè)板的下方中部的槽棒上的卡槽為與硅片的角配合;或者,所述設(shè)于側(cè)板的下方中部的槽棒上的卡槽與硅片的邊配合;此時(shí),硅片呈豎直的方方正正的放置形式。
優(yōu)選的,所述卡槽與硅片的角配合時(shí),所述卡槽為V形結(jié)構(gòu),所述V形結(jié)構(gòu)的夾角為100~160度。
所述V形結(jié)構(gòu)的卡槽,用來放置與硅片的角,此時(shí),硅片呈傾斜的放置形式。對于夾角的度數(shù),本實(shí)用新型不做具體限定,典型但非限制性的可以是101度、102度、105度、110度、115度、120度、125度、130度、135度、140度、145度、150度、155度、156度、157度、158度、159度。優(yōu)選120~150度。
優(yōu)選的,所述設(shè)于側(cè)板的下方中部的槽棒的寬度為3~4 cm。
優(yōu)選的,所述石英舟還包括緊固件,且所述石英舟為分體結(jié)構(gòu)。其主要由2個(gè)側(cè)板、至少3根槽棒和緊固件組成。
上述技術(shù)方案中,所述側(cè)板上設(shè)有通孔,所述槽棒的兩端為與所述側(cè)板通孔配合的螺桿結(jié)構(gòu),所述緊固件與該螺桿結(jié)構(gòu)配合,使兩個(gè)側(cè)板之間通過槽棒連接固定。
優(yōu)選的,所述緊固件為石英螺母。
優(yōu)選的,所述設(shè)于側(cè)板的下方中部的槽棒兩端的螺桿結(jié)構(gòu)的直徑為1.2~1.5 cm,其長度為2.5~3 cm;
其余槽棒兩端的螺桿結(jié)構(gòu)的直徑為0.8~1.2 cm,其長度為2~2.5 cm。
所述設(shè)于側(cè)板的下方中部的槽棒兩端的螺桿結(jié)構(gòu)的長度為2.5~3 cm。例如,可以是2.6cm、2.7cm、2.8cm、2.9cm等。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司,未經(jīng)蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720474665.5/2.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇:一種多功能聽診器
- 下一篇:乳腺超聲檢測系統(tǒng)
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





