[實(shí)用新型]芯片測試分類機(jī)器人

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720471404.8
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206731577U
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸軍;王毅;陳爾軍;吉俊;郝雪闖
• 申請（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州愛迪秀自動化科技有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/34;B07C5/38
• 代理公司: 北京文苑專利代理有限公司11516
• 代理人: 何新平

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及機(jī)械自動化領(lǐng)域，更為具體地，涉及一種芯片全自動測試裝置。

背景技術(shù)

目前對合格芯片的篩查多是采用晶圓測試探針臺來完成。晶圓測試探針坦是由顯微鏡、探針座、工作臺、承片臺、電工系統(tǒng)及界面顯示組成的，它搭配測試儀后完成對晶圓的電參數(shù)測試及功能測試。這種晶圓測試探針臺因?yàn)槠涮结樇按螯c(diǎn)機(jī)構(gòu)的限制，電參數(shù)只能設(shè)置為兩檔(合格品與不合格品，不合格品打紅點(diǎn))，電參數(shù)低于設(shè)置指標(biāo)的只能作為不合格品歸為廢料，實(shí)際部分不合格品可以歸為下一檔(良品或中上品)，檢測設(shè)備的不合理造成了產(chǎn)品的浪費(fèi)及成本增加。其次，在工作速度上因?yàn)樾枰謩訐Q晶圓并校準(zhǔn)以及晶圓平面移動需要X、Y軸同動等方面限制，導(dǎo)致其每小時(shí)工作效率并不高。再次，晶圓測試完后需切割成芯片，切割過程中有可能會造成芯片的損傷，切割后需再次篩選一遍，導(dǎo)致成本增加和效率降低。

目前雖然也有多軌道進(jìn)料檢測設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)同時(shí)取料，同時(shí)檢測和收納功能，大大提高了工作效率，但這類設(shè)備一次取料只能檢測一種參數(shù)，無法對待測產(chǎn)品性能做全面測試，也制約了其使用范圍。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種芯片測試分類機(jī)器人及其測試方法，改變傳統(tǒng)的芯片制造工序。通過振動盤搭配高速DDR馬達(dá)傳動以及多個測試工位，達(dá)到單測、順測、并測等多樣化測試方式，從而實(shí)現(xiàn)提高工作效率、降低人工及材料成本、降低勞動強(qiáng)度、優(yōu)化生產(chǎn)線等優(yōu)異效果。

一種芯片測試分類機(jī)器人，包括多軌振動上料組件1，篩選組件2，下壓組件3，多頭旋轉(zhuǎn)組件4和收料組件5；下壓組件3下方連接有多頭旋轉(zhuǎn)組件4；所述多頭旋轉(zhuǎn)組件4包括工作分度圓盤41、多個吸嘴組件42和真空分度盤43，真空分度盤43設(shè)置在工作分度圓盤41的軸心位置上，多個吸嘴組件42按照等分的間距設(shè)置在工作分度圓盤41上；多軌振動上料組件1，篩選組件2和收料組件5依次相鄰設(shè)置在多頭旋轉(zhuǎn)組件4的下方，且與吸嘴組件42的吸嘴425相對設(shè)置。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，多軌振動上料組件1包括圓軌上料震動組件11，圓軌上料震動組件11的上料出口端鄰接第一直軌上料振動組件12，第一直軌上料振動組件12的上料出口端鄰接第二直軌上料振動組件13，第二直軌上料振動組件13的上料出口端鄰接第三直軌上料振動組件15，第三直軌上料振動組件15的側(cè)下方設(shè)有直軌回料振動組件14，直軌回料振動組件14的上料出口端鄰接圓軌上料震動組件11的上料入口端。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，篩選組件2包括一個篩選底板23，篩選底板23上具有一個內(nèi)凹平臺，內(nèi)凹平臺內(nèi)依次相鄰設(shè)置多個測試組件22，每個測試組件22旁邊對應(yīng)設(shè)置一個氮?dú)廨斔徒M件21，篩選底板23的底部連接有高低調(diào)節(jié)組件24。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，下壓組件3包括下壓曲桿32，下壓曲桿32的一端連接有下壓桿31，下壓曲桿32上還設(shè)有多個下壓氣缸33，每個下壓氣缸33的底部連接有下壓膠頭。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，吸嘴組件42包括止轉(zhuǎn)桿426，止轉(zhuǎn)桿426固定在工作分度圓盤41上，止轉(zhuǎn)桿426上連接有止轉(zhuǎn)塊421，止轉(zhuǎn)塊421固定連接吸嘴導(dǎo)桿422，吸嘴導(dǎo)桿422穿過工作分度圓盤41，其下部通過直線軸承427連接吸嘴座424，吸嘴座424上設(shè)有吸嘴425，處于止轉(zhuǎn)塊421和工作分度圓盤41之間的吸嘴導(dǎo)桿422外部套裝有彈簧423。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，真空分度盤43包括固定分度盤431和旋轉(zhuǎn)分度盤432，固定分度盤431和旋轉(zhuǎn)分度盤432緊密貼合在一起，固定分度盤431上設(shè)有控制氣管接頭433，旋轉(zhuǎn)分度盤432上設(shè)有執(zhí)行氣管接頭434，執(zhí)行氣管接頭434通過氣管與吸嘴425連接。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，收料組件5包括料盒載體53，接料盒54收納在料盒載體53內(nèi)，料盒載體53上端設(shè)有接料口51，接料口51的出口通向接料盒54。

此外，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，還包括外部機(jī)架，多軌振動上料組件1，篩選組件2，下壓組件3，多頭旋轉(zhuǎn)組件4和收料組件5均設(shè)置在外部機(jī)架內(nèi)的平臺上。

本實(shí)用新型的芯片測試分類機(jī)器人，由振動盤傳送芯片搭配DDR馬達(dá)高速傳動，不損傷芯片，節(jié)省人力；設(shè)置多個測試組件，可根據(jù)實(shí)際需求提供單站、雙站、三站及順測、并測等多樣化測試方式，達(dá)到工序的節(jié)省、操作控制使用簡便等效果，提高了工作效率。

附圖說明

通過參考以下結(jié)合附圖的說明，并且隨著對本實(shí)用新型的更全面理解，本實(shí)用新型的其它目的及結(jié)果將更加明白及易于理解。在附圖中：

圖1為根據(jù)本實(shí)用新型芯片測試分類機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖一；