[實(shí)用新型]一種電鏡測(cè)試平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720461460.3
• 申請(qǐng)日: 2017-04-28
• 公開（公告）號(hào): CN206920362U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李琰琪;王栩生;涂修文;邢國(guó)強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/22
• 分類號(hào): G01N23/22;H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英,林波

1.一種電鏡測(cè)試平臺(tái)，包括測(cè)試平臺(tái)(1)，其特征在于，所述測(cè)試平臺(tái)(1)上沿一方向間隔設(shè)置有至少兩個(gè)測(cè)試支撐板(2)，所述測(cè)試支撐板(2)沿垂直于所述測(cè)試平臺(tái)(1)的方向向上延伸，相鄰兩個(gè)所述測(cè)試支撐板(2)之間形成用于放置待測(cè)試樣品(100)的空隙，每個(gè)所述測(cè)試支撐板(2)的對(duì)應(yīng)于所述空隙的側(cè)面均設(shè)置有柔性導(dǎo)電層(3)，測(cè)試時(shí)，樣品(100)立設(shè)于所述空隙中并夾持于該空隙對(duì)應(yīng)的兩個(gè)所述柔性導(dǎo)電層(3)之間，以便于觀察樣品(100)的端面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述測(cè)試平臺(tái)(1)上還設(shè)置有放大鏡(6)，所述放大鏡(6)能夠移動(dòng)至任意所述空隙的上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，相鄰兩個(gè)所述測(cè)試支撐板(2)之間的所述空隙的寬度可調(diào)；所述測(cè)試支撐板(2)的厚度為500μm-4mm；所述柔性導(dǎo)電層(3)的厚度為30μm-150μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述測(cè)試平臺(tái)(1)上沿所述方向設(shè)置有滑軌(10)，所述測(cè)試支撐板(2)設(shè)置有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述滑軌(10)配合，以使所述測(cè)試支撐板(2)沿著所述滑軌(10)移動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述滑軌(10)為兩個(gè)，且兩個(gè)所述滑軌(10)分別設(shè)置于所述測(cè)試支撐板(2)的兩個(gè)相對(duì)外側(cè)部，所述測(cè)試支撐板(2)的兩個(gè)相對(duì)外側(cè)部分別設(shè)置有所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)，一個(gè)所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)與一個(gè)所述滑軌(10)配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括連接于所述測(cè)試支撐板(2)的移動(dòng)支撐桿(8)，所述移動(dòng)支撐桿(8)的端部連接有移動(dòng)球(9)，所述移動(dòng)球(9)滑動(dòng)設(shè)置于所述滑軌(10)中。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述測(cè)試平臺(tái)(1)上設(shè)置有立桿(4)，所述立桿(4)的頂端設(shè)置有萬向連接桿(5)，所述放大鏡(6)連接于所述萬向連接桿(5)的端部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述萬向連接桿(5)的最小長(zhǎng)度L不小于和中的較小值；其中，

a為所述測(cè)試平臺(tái)(1)的寬度，mm；

b為所述測(cè)試平臺(tái)(1)的長(zhǎng)度，mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述萬向連接桿(5)與所述立桿(4)之間為鉸接連接，所述立桿(4)的高度不高于所述測(cè)試支撐板(2)的高度。

10.根據(jù)權(quán)利要求2、7或8所述的電鏡測(cè)試平臺(tái)，其特征在于，所述放大鏡(6)設(shè)置有刻度線(61)，用于標(biāo)識(shí)放大倍數(shù)；所述放大鏡(6)的放大倍數(shù)為200-800。