[實用新型]一種電鏡測試平臺

有效

• 申請號: 201720461460.3
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206920362U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 李琰琪;王栩生;涂修文;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22;H01J37/20;H01J37/28
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英,林波

技術領域

本實用新型涉及測試裝置技術領域，尤其涉及一種用于觀察PERC背面鋁硅層厚度的電鏡測試平臺。

背景技術

現有技術中，掃描電鏡是一種樣品制備簡單、分辨高、綜合分析能力強的測試分析設備，已廣泛應用于各類材料的表面和截面微觀分析。目前太陽新型電池PERC技術正在產線逐步推廣，在工藝監測中需要用電鏡來測試硅鋁合金層厚度，這時需要大量的硅鋁合金厚度的測試數據。PERC是鈍化發射極背面接觸點技術，在激光開孔這一工藝流程中有line式開孔，dash式開孔和dot式開孔，也就是開孔呈線狀、線段狀、點狀，而需要觀察制備的截面是與這些線、線段、點相互垂直的，當電池片是線狀開孔則在測試時很容易，當電池片是線段或是點開孔時，制備樣品存在很大難度，尤其是點狀，這是因為無法控制電池片的碎裂方向，只能在現有碎裂方向中選取合適的樣品，這時選用普通的光鏡，如圖1所示，其在測試時，將待測試的樣品100粘貼在圓形的測試平臺1’的側面，將存在如下問題：

1、樣品100與測試平臺1’之間的接觸點較少，因而無法采集較多的數據，且導電性不好；

2、一個測試平臺1’最多能夠貼5個樣品100，因而測試過程中，需要頻繁更換測試平臺1’，使得測試十分繁瑣，對軌跡球磨損也很嚴重；

3、在測試樣品時需要頻繁更改角度，需要操作人員具有較高水平；

4、樣品只是簡單粘在測試平臺1’的邊緣，容易掉入電鏡真空腔體內，造成腔體污染；

5、在制備樣品時，由于PERC需要觀察硅鋁合金層，這需要較高倍的微鏡才能觀察到，而硅鋁合金在硅片表面留下的坑洞用肉眼無法直接看到，所以在制備樣品后，能否測試到目標樣品不能夠確定，其具有很大盲目性；

這導致現有的光鏡無法完成硅鋁合金層厚度的測試工作。

因此，如何更好的測試PERC樣品是電鏡操作者亟需要解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種電鏡測試平臺，能夠有效提高測試效率，避免樣品掉入電鏡的真空腔內污染腔體。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種電鏡測試平臺，包括測試平臺，所述測試平臺上沿一方向間隔設置有至少兩個測試支撐板，所述測試支撐板沿垂直于所述測試平臺的方向向上延伸，相鄰兩個所述測試支撐板之間形成用于放置待測試樣品的空隙，每個所述測試支撐板的對應于所述空隙的側面均設置有柔性導電層，測試時，樣品立設于所述空隙中并夾持于該空隙對應的兩個所述柔性導電層之間，以便于觀察樣品的端面。

作為一種優選，所述測試平臺上還設置有放大鏡，所述放大鏡能夠移動至任意所述空隙的上方。

作為一種優選，相鄰兩個所述測試支撐板之間的所述空隙的寬度可調；所述測試支撐板的厚度為500μm-4mm；所述柔性導電層的厚度為30μm-150μm。

作為一種優選，所述測試平臺上沿所述方向設置有滑軌，所述測試支撐板設置有移動機構，所述移動機構與所述滑軌配合，以使所述測試支撐板沿著所述滑軌移動。

作為一種優選，所述滑軌為兩個，且兩個所述滑軌分別設置于所述測試支撐板的兩個相對外側部，所述測試支撐板的兩個相對外側部分別設置有所述移動機構，一個所述移動機構對應與一個所述滑軌配合。

作為一種優選，所述移動機構包括連接于所述測試支撐板的移動支撐桿，所述移動支撐桿的端部連接有移動球，所述移動球滑動設置于所述滑軌中。

作為一種優選，所述測試平臺上設置有立桿，所述立桿的頂端設置有萬向連接桿，所述放大鏡連接于所述萬向連接桿的端部。

作為一種優選，所述萬向連接桿的最小長度L不小于和中的較小值；其中，

a為所述測試平臺的寬度，mm；

b為所述測試平臺的長度，mm。

作為一種優選，所述萬向連接桿與所述立桿之間為鉸接連接，所述立桿的高度不高于所述測試支撐板的高度。

作為一種優選，所述放大鏡設置有刻度線，用于標識放大倍數；所述放大鏡的放大倍數為200-800。