[實用新型]銀蒸發用坩堝

有效

• 申請號: 201720452871.6
• 申請日: 2017-04-26
• 公開（公告）號: CN206787286U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 游佩武;裘立強;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州杰利半導體有限公司
• 主分類號: F27B14/00
• 分類號: F27B14/00;F27B14/10
• 代理公司: 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙)32283
• 代理人: 周全

技術領域

本實用新型涉及一種坩堝，具體涉及一種銀蒸發用坩堝。

背景技術

在目前的銀蒸發工藝中，采用直接將銀源放在銅坩堝中蒸鍍的方式，銅質坩堝本體內部中空，有冷卻水流循環，帶走蒸發時的高溫，由于循環冷卻水加之銅坩堝導熱好的原因，造成蒸發時銀源上的熱量流失很快，導致這種方式蒸發銀效率很低。

實用新型內容

本實用新型針對以上問題，提供了一種減緩熱量流失，增加蒸發效率的銀蒸發用坩堝。

本實用新型的技術方案是：包括內部為空腔結構的銅質坩堝本體，空腔中連通流動的冷卻液，所述坩堝本體上表面開設若干凹槽狀的銅坩堝，所述銅坩堝內設有與銅坩堝適配的鉬坩堝。

所述鉬坩堝的堝口固定設有連接在所述坩堝本體上的連接盤。

所述連接盤與所述坩堝本體的連接結構為：所述連接盤底部設有若干凸起的卡扣一，所述坩堝本體上、銅坩堝周圍設有與卡扣一適配的凹槽。

所述連接盤與所述坩堝本體的連接結構為：所述連接盤底部或側面設有若干T型卡扣；

所述坩堝本體上、銅坩堝周圍設有與所述T型卡扣適配的T型環槽，所述T型環槽的內壁設有若干與所述T型卡扣適配的開口。

所述銅坩堝和鉬坩堝之間設有彈性導熱材料。

本實用新型的有益效果是：在原有的銅質坩堝中增加一個與之適配的鉬坩堝，由于鉬坩堝的導熱性低于銅，因此能減緩熱量流失，增加蒸發效率，而且只是在原有銅質坩堝上增加鉬坩堝，不需要換掉整個坩堝，在達到效果的同時還減少了成本投入。采用卡接方式將鉬坩堝連接在原來的銅質坩堝上，使其連接牢靠，不會產生因為蒸發過程中大量熱量的作用而晃動，導致蒸發不均勻。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖，

圖2是本實用新型中鉬坩堝與銅質坩堝本體的第一種實施方式的連接示意圖，

圖3是本實用新型中鉬坩堝與銅質坩堝本體的第二種實施方式的連接示意圖；

圖中1是坩堝本體，11是凹槽，12是T型環槽，2是銅坩堝，3是，鉬坩堝，31是連接盤，311是卡扣一，312是T型卡扣。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作具體說明。

如圖1-3所示，本實用新型包括內部為空腔結構的銅質坩堝本體1，空腔中連通流動的冷卻液，所述坩堝本體1上表面開設若干凹槽狀的銅坩堝2，所述銅坩堝2內設有與銅坩堝2適配的鉬坩堝3，因為鉬的導熱系數比銅小，因此可以減緩銀蒸發過程中的熱量流失，增加其蒸發效率，進而可降低電子束的發射，從而減少能源消耗。

所述鉬坩堝3的堝口固定設有連接在所述坩堝本體上的連接盤31。

圖2是本實用新型中鉬坩堝與銅質坩堝本體的第一種實施方式的連接示意圖，所述連接盤31與所述坩堝本體1的連接結構為：所述連接盤31底部設有若干凸起的卡扣一311，所述坩堝本體1上、銅坩堝2周圍設有與卡扣一311適配的凹槽11，將卡扣一311放在凹槽11中即可實現鉬坩堝與原有坩堝的連接。

圖3是本實用新型中鉬坩堝與銅質坩堝本體的第二種實施方式的連接示意圖，所述連接盤31與所述坩堝本體1的連接結構為：所述連接盤31底部設有若干T型卡扣312；所述坩堝本體1上、銅坩堝2周圍設有與所述T型卡扣312適配的T型環槽12，所述T型環槽12的內壁設有若干與所述T型卡扣312適配的開口。連接時，將T型卡扣312對準開口放下，然后旋轉鉬坩堝，使T型卡扣312旋進T型環槽12中，該方案比第一種實施方式連接更牢靠。

也可以在所述連接盤31側面設有若干T型卡扣二；銅坩堝內壁周圍設有與所述T型卡扣二適配的T型環槽二，所述T型環槽二的內壁設有若干與所述T型卡扣二適配的開口二。

因為銅坩堝和鉬坩堝都是硬質金屬材料，兩者之間存在接觸不緊密的問題，所以在所述銅坩堝2和鉬坩堝3之間設彈性導熱材料，該彈性導熱材料的導熱性也低于銅，如石墨等。