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[實(shí)用新型]銀蒸發(fā)用坩堝有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201720452871.6 申請(qǐng)日: 2017-04-26
公開(公告)號(hào): CN206787286U 公開(公告)日: 2017-12-22
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 游佩武;裘立強(qiáng);王毅 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司
主分類號(hào): F27B14/00 分類號(hào): F27B14/00;F27B14/10
代理公司: 揚(yáng)州市蘇為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32283 代理人: 周全
地址: 225008 江蘇省揚(yáng)*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 蒸發(fā) 坩堝
【權(quán)利要求書】:

1.銀蒸發(fā)用坩堝,包括內(nèi)部為空腔結(jié)構(gòu)的銅質(zhì)坩堝本體,空腔中連通流動(dòng)的冷卻液,所述坩堝本體上表面開設(shè)若干凹槽狀的銅坩堝,其特征在于,所述銅坩堝內(nèi)設(shè)有與銅坩堝適配的鉬坩堝。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述鉬坩堝的堝口固定設(shè)有連接在所述坩堝本體上的連接盤。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述連接盤與所述坩堝本體的連接結(jié)構(gòu)為:所述連接盤底部設(shè)有若干凸起的卡扣一,所述坩堝本體上、銅坩堝周圍設(shè)有與卡扣一適配的凹槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述連接盤與所述坩堝本體的連接結(jié)構(gòu)為:所述連接盤底部或側(cè)面設(shè)有若干T型卡扣;

所述坩堝本體上、銅坩堝周圍設(shè)有與所述T型卡扣適配的T型環(huán)槽,所述T型環(huán)槽的內(nèi)壁設(shè)有若干與所述T型卡扣適配的開口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述銅坩堝和鉬坩堝之間設(shè)有彈性導(dǎo)熱材料。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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