[實(shí)用新型]銀蒸發(fā)用坩堝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720452871.6 | 申請(qǐng)日: | 2017-04-26 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206787286U | 公開(公告)日: | 2017-12-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 游佩武;裘立強(qiáng);王毅 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號(hào): | F27B14/00 | 分類號(hào): | F27B14/00;F27B14/10 |
| 代理公司: | 揚(yáng)州市蘇為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32283 | 代理人: | 周全 |
| 地址: | 225008 江蘇省揚(yáng)*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 蒸發(fā) 坩堝 | ||
1.銀蒸發(fā)用坩堝,包括內(nèi)部為空腔結(jié)構(gòu)的銅質(zhì)坩堝本體,空腔中連通流動(dòng)的冷卻液,所述坩堝本體上表面開設(shè)若干凹槽狀的銅坩堝,其特征在于,所述銅坩堝內(nèi)設(shè)有與銅坩堝適配的鉬坩堝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述鉬坩堝的堝口固定設(shè)有連接在所述坩堝本體上的連接盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述連接盤與所述坩堝本體的連接結(jié)構(gòu)為:所述連接盤底部設(shè)有若干凸起的卡扣一,所述坩堝本體上、銅坩堝周圍設(shè)有與卡扣一適配的凹槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述連接盤與所述坩堝本體的連接結(jié)構(gòu)為:所述連接盤底部或側(cè)面設(shè)有若干T型卡扣;
所述坩堝本體上、銅坩堝周圍設(shè)有與所述T型卡扣適配的T型環(huán)槽,所述T型環(huán)槽的內(nèi)壁設(shè)有若干與所述T型卡扣適配的開口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銀蒸發(fā)用坩堝,其特征在于,所述銅坩堝和鉬坩堝之間設(shè)有彈性導(dǎo)熱材料。
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