[實用新型]晶片旋轉顯影裝置

有效

• 申請號: 201720452814.8
• 申請日: 2017-04-26
• 公開（公告）號: CN206788556U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 游佩武;裘立強;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州杰利半導體有限公司
• 主分類號: G03G15/10
• 分類號: G03G15/10
• 代理公司: 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙)32283
• 代理人: 周全

技術領域

本實用新型涉及芯片加工領域，具體涉及一種晶片旋轉顯影裝置。

背景技術

目前在二極管芯片生產的過程中，在曝光后的顯影工序一般把晶片放入靜止的顯影槽中，使用顯影液去除未曝光的光阻區域，由于晶片無法與顯影液充分接觸，可能造成顯影不均勻的問題出現。于是出現了提刷的方式，即顯影槽中的顯影液靜止，通過機械作用將晶片反復浸入，使得顯影液均勻涂覆在晶片上，從而使得線條清晰，但提刷的方式產生靜電，易失火存在安全隱患。

實用新型內容

本實用新型針對以上問題，提供了一種顯影效果好、安全性高的晶片旋轉顯影裝置。

本實用新型的技術方案是：包括顯影裝置本體，所述顯影裝置本體內設有晶片固定裝置，所述晶片固定裝置包括驅動塊和若干設在驅動塊上的晶片固定夾。

所述固定夾固定設在驅動塊上，所述驅動塊由電機一驅動作順時針和逆時針旋轉。

所述驅動塊為水平放置的蝸輪，所述固定夾通過若干嚙合在蝸輪周圍的蝸桿與蝸輪連接，所述蝸輪由電機二驅動作順時針和逆時針旋轉。

所述固定夾由兩根相對設置的、與晶片適配的固定槽構成。

所述固定槽鉸接在驅動塊上，兩根所述固定槽之間設有一根水平的彈簧，晶片放入固定槽中時彈簧處于拉伸狀態。

本實用新型的有益效果是：在裝置本體內裝顯影液，將晶片插在固定架上，由電機帶動轉動，攪動顯影液，增加顯影液和晶片的接觸機會和接觸壓力，使晶片與顯影液充分接觸，從而提升顯影效果，使顯影均勻。所述固定夾由兩根相對設置的、與晶片適配的固定槽構成，所述固定槽鉸接在驅動塊上，兩根所述固定槽之間設有一根水平的彈簧，晶片放入固定槽中時彈簧處于拉伸狀態，不僅可以有效固定晶片，還可以放置不同尺寸的晶片。本實用新型結構簡單，顯影效果好，適用范圍廣。

附圖說明

圖1是本實用新型的第一種實施方式的結構示意圖，

圖2是圖1的A-A向剖視圖，

圖3是本實用新型的第二種實施方式的結構示意圖，

圖4是圖3的B-B向剖視圖；

圖中1是顯影裝置本體，2是驅動塊，3是軸，4是固定槽，5是彈簧，6是蝸桿，7是軸承。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作具體說明。

本實用新型包括顯影裝置本體1，所述顯影裝置本體1內設有晶片固定裝置，所述晶片固定裝置包括驅動塊2和若干設在驅動塊上的晶片固定夾。所述驅動塊2活動連接在固定在所述顯影裝置本體底部的軸3上，可圍繞軸3轉動。

所述固定夾由兩根相對設置的、與晶片適配的固定槽4構成。所述固定槽4鉸接在驅動塊2上，兩根所述固定槽4之間設有一根水平的彈簧5，晶片放入固定槽中時彈簧4處于拉伸狀態，即原始狀態時，兩根固定槽4之間的距離小于晶片的寬度，通過彈簧4的支撐力來維持平衡，當有晶片要顯影時，撥開固定槽，將晶片放入其中，晶片通過彈簧拉伸產生的壓力被固定在固定槽4中，不僅可以有效固定晶片，還可以放置不同尺寸的晶片，擴大本實用新型的使用范圍。

圖1-2是本實用新型的第一種實施方式的結構示意圖，所述固定夾固定設在驅動塊2上，所述驅動塊2由電機一驅動作順時針和逆時針旋轉。固定在固定夾上的晶片圍繞軸3作旋轉運動，為了使晶片和顯影液接觸均勻，順時針和逆時針交互進行。

圖3-4是本實用新型的第二種實施方式的結構示意圖，所述驅動塊2為水平放置的蝸輪，所述固定夾通過若干嚙合在蝸輪周圍的蝸桿6與蝸輪連接，所述蝸桿6插接在固定于顯影裝置本體1內壁上的軸承7中，軸承7對蝸桿6起支撐作用，所述蝸輪由電機二驅動作順時針和逆時針旋轉，從而帶動蝸桿6作順時針和逆時針旋轉。固定在固定夾上的晶片圍繞各自的蝸桿6作旋轉運動，為了使晶片和顯影液接觸均勻，順時針和逆時針交互進行。

本實用新型在裝置本體內裝顯影液，將晶片插在固定架上，由電機帶動轉動，攪動顯影液，增加顯影液和晶片的接觸機會和接觸壓力，使晶片與顯影液充分接觸，從而提升顯影效果，使顯影均勻。所述固定夾由兩根相對設置的、與晶片適配的固定槽構成，所述固定槽鉸接在驅動塊上，兩根所述固定槽之間設有一根水平的彈簧，晶片放入固定槽中時彈簧處于拉伸狀態，不僅可以有效固定晶片，還可以放置不同尺寸的晶片。