[實用新型]晶片旋轉顯影裝置有效
| 申請號： | 201720452814.8 | 申請日： | 2017-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN206788556U | 公開（公告）日： | 2017-12-22 |
| 發明（設計）人： | 游佩武;裘立強;王毅 | 申請（專利權）人： | 揚州杰利半導體有限公司 |
| 主分類號： | G03G15/10 | 分類號： | G03G15/10 |
| 代理公司： | 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙)32283 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 225008 江蘇省揚*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 旋轉 顯影 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.晶片旋轉顯影裝置，包括顯影裝置本體，所述顯影裝置本體內設有晶片固定裝置，所述晶片固定裝置包括驅動塊和若干設在驅動塊上的晶片固定夾，其特征在于，所述驅動塊為水平放置的蝸輪，所述固定夾通過若干嚙合在蝸輪周圍的蝸桿與蝸輪連接，所述蝸輪由電機二驅動作順時針和逆時針旋轉。
2.根據權利要求1所述的晶片旋轉顯影裝置，其特征在于，所述固定夾由兩根相對設置的、與晶片適配的固定槽構成。
3.根據權利要求2所述的晶片旋轉顯影裝置，其特征在于，所述固定槽鉸接在驅動塊上，兩根所述固定槽之間設有一根水平的彈簧，晶片放入固定槽中時彈簧處于拉伸狀態。
4.根據權利要求2所述的晶片旋轉顯影裝置，其特征在于，所述固定槽內設有彈性膠條。
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