[實用新型]裝片機裝片機構有效
| 申請號: | 201720447342.7 | 申請日: | 2017-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN206711871U | 公開(公告)日: | 2017-12-05 |
| 發明(設計)人: | 王安云 | 申請(專利權)人: | 無錫明祥電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝片機裝片 機構 | ||
技術領域
本實用新型涉及裝片機,特別涉及裝片機裝片機構。
背景技術
在集成電路裝片機中,裝片部件是其核心部件。裝片過程涉及芯片的剝離、拾取、轉移、對準和放置。目前,公開號為CN201717251U的中國專利公開了一種集成電路裝片機四自由度裝片模塊,它包括真空泵、吸嘴和頂針,采用吸嘴和頂針,將晶圓盤上的芯片轉移到引線框架上,實現芯片與引線框架的待貼片位置的對準和綁定;對準是通過數控裝置保證X、Y、Z、θ四個自由度上的對準。從而保證了較高的裝片精度和裝片效率。
上述裝片機在使用時,吸嘴吸附芯片放于引線框架上進行焊接,吸嘴長時間在高溫環境下對芯片一直進行取放容易磨損,對芯片的取放會產生影響,但是上述裝片模塊中,操作人員無法對吸嘴的使用時間進行精確地計算,從而無法把控吸嘴的磨損狀況。
實用新型內容
本實用新型的目的是提供一種裝片機裝片機構,其具有精確把控吸嘴使用壽命,便于及時更換吸嘴的優點。
本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的:一種裝片機裝片機構,包括水平工作臺和芯片放取機構,芯片放取機構包括真空泵、吸嘴和運動架,所述運動架上固定有金屬管,金屬管一端與真空泵相連,另一端與吸嘴相連,所述工作臺靠近運動架的側面固定有固定臺,所述固定臺上固定有十字滑臺,所述十字滑臺與運動架相連,運動架朝向固定臺的側面上固定有感光器,所述固定臺上設有正對感光器的激光發射器,所述固定臺上固定有計數警報器,所述感光器與計數警報器電連接。
通過采用上述技術方案,先對計數警報器進行設定,設定一個上限值,表示吸嘴的額定工作次數,裝片機工作時,十字滑臺驅動運動架移動,運動架下降,運動架上的感光器接收到激光發射器發出的激光,傳遞信號給技術警報器,計數警報器的實時數加一,表示吸嘴已工作的次數,當實時數小于上限數時,裝片機繼續工作,當實時數等于上限數時,計數警報器開始報警,提醒操作人員更換吸嘴;吸嘴跟隨運動架下降,靠近芯片時,真空泵開啟,吸嘴吸附芯片,運動架上升,運動架水平移動到待焊引線框架的上方,運動架下降,芯片放置于焊液上,吸嘴在運動架的帶動下離開引線框架,完成焊接;激光發射器所發出的激光不易發散,方向性好,感光器接收信號更準確;計數警報器可精確計算吸嘴的使用次數,對吸嘴的使用次數進行嚴格把控,避免操作人員通過人力記憶等方式對吸嘴的使用時間進行把控的不精確。
本實用新型進一步設置為:工作臺下方設有芯源轉盤,工作臺在芯源轉盤的上方開有槽口,槽口內壁上設有風扇。
通過采用上述技術方案,將帶有芯片的晶圓盤放置于芯源轉盤內,裝片機工作時,運動架帶動吸嘴移動,吸嘴穿過槽口吸附晶圓盤上的芯片,在運動架的帶動下將芯片焊在待焊引線框架上,由于在焊接芯片時溫度較高,吸嘴通過芯片的傳遞使自身溫度升高,吸嘴一直處于高溫時容易發生氧化,對吸嘴造成腐蝕,且高溫時,吸嘴容易發生軟化,序芯片接觸時容易磨損,降低吸嘴使用壽命,在槽口內設置的風扇可對吸嘴進行降溫,當吸嘴帶著高溫從待焊引線框架上向下移動經過槽口時,槽口內的風扇對吸嘴進行降溫,防止吸嘴溫度過高。
本實用新型進一步設置為:所述工作臺上開設有安裝孔,安裝孔內固定有軸承,軸承內圈固定有旋轉軸,旋轉軸遠離工作臺的一端連接芯源轉盤,所述芯源轉盤的上表面固定有磁性固定塊,所述工作臺的側壁上開設有容納固定塊的固定槽。
通過采用上述技術方案,芯源轉盤轉動連接于工作臺下方,工作前,將芯源轉盤轉出,將晶圓盤放置于芯源轉盤內,再將芯源轉盤轉入,固定塊嵌于固定槽內,磁性固定塊吸附在固定槽內,對芯源轉盤進行固定。
本實用新型進一步設置為:裝片機構還包括磨損警報器,所述真空泵與吸嘴之間設有壓力傳感器,所述壓力傳感器與磨損警報器電連接。
通過采用上述技術方案,當吸嘴上發生較小磨損時,吸嘴雖然可以吸附芯片,但是由于發生磨損,吸附并不牢固影響芯片的焊接;在真空泵與吸嘴之間設有的壓力傳感器可有效控制吸嘴與真空泵之間的壓力,當吸嘴發生磨損時,吸嘴與真空泵之間壓力產生變化,壓力傳感器傳遞信號給磨損警報器,磨損警報器報警提醒操作人員更換吸嘴。
本實用新型進一步設置為:金屬管與吸嘴螺紋連接,連接處設有密封箍,密封箍內設有密封墊。
通過采用上述技術方案,金屬管與吸嘴通過螺紋連接,方便安裝與拆除,金屬管與吸嘴連接處用密封箍箍緊,密封墊將連接處封堵,對吸嘴與金屬管的連接起到密封作用。
本實用新型進一步設置為:所述吸嘴的下端設為錐形,所述吸嘴的下端面處封堵有擋片,所述擋片的中間開設有過氣孔。
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





