[實(shí)用新型]一種用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720434437.5
• 申請(qǐng)日: 2017-04-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206935318U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭國(guó)平;楊暉;李海歐;曹剛;肖明;郭光燦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
• 主分類號(hào): B01J3/03
• 分類號(hào): B01J3/03
• 代理公司: 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11260
• 代理人: 鄭立明,鄭哲

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化式機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置。

背景技術(shù)

CVD技術(shù)是化學(xué)氣相沉積Chemical Vapor Deposition的縮寫。化學(xué)氣相沉積乃是通過(guò)化學(xué)反應(yīng)的方式，利用加熱、等離子激勵(lì)或光輻射等各種能源，在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。

CVD技術(shù)在生產(chǎn)和研發(fā)新材料的過(guò)程中，已經(jīng)成為越來(lái)越重要的方法，最典型的例子就是CVD法大面積生長(zhǎng)石墨烯。CVD法在大規(guī)模生長(zhǎng)二維材料或者層狀材料的領(lǐng)域中有著不可匹敵的優(yōu)勢(shì)。在CVD生長(zhǎng)技術(shù)中，大部分技術(shù)都是以氣體作為材料的前驅(qū)體，也有少數(shù)的方法是以液體為源。針對(duì)液態(tài)前驅(qū)體，有專門的鼓泡法將液體帶入到高溫反應(yīng)區(qū)。而對(duì)于固態(tài)前驅(qū)體，專門的設(shè)備及技術(shù)還非常匱乏和簡(jiǎn)陋。但是固態(tài)前驅(qū)體又恰恰是最需要精確控制的。對(duì)于目前的技術(shù)，最棘手的是固態(tài)源的填裝以及固態(tài)源的溫度控制。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置，該裝置可以實(shí)現(xiàn)固態(tài)源的方便填裝，源溫度的平穩(wěn)控制，以及良好的密封性能。

本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置，包括上蓋組件與及不銹鋼釜體1構(gòu)成的密閉反應(yīng)釜；所述的上蓋組件包括上蓋法蘭2，上蓋法蘭2上設(shè)有與反應(yīng)釜內(nèi)連通的進(jìn)氣管3與出氣管4；進(jìn)氣管3伸入反應(yīng)釜內(nèi)部；

所述的上蓋法蘭2上還設(shè)有固態(tài)源盛放裝置，所述的固態(tài)源盛放裝置包括不銹鋼直棒 5與固態(tài)源存放筒6；不銹鋼直棒5外徑不小于固態(tài)源存放筒6外徑，通過(guò)螺紋連接；固態(tài)源存放筒6一端伸入反應(yīng)釜內(nèi)部；固態(tài)源存放筒6中空側(cè)壁設(shè)有多個(gè)通氣孔道7；

所述的上蓋法蘭2上還設(shè)有溫控裝置的熱電阻8，熱電阻8測(cè)溫端伸入反應(yīng)釜內(nèi)部；

所述的不銹鋼釜體1外側(cè)設(shè)有溫控裝置的加熱環(huán)。

所述的不銹鋼釜體1包括下部的氣體緩沖腔10，氣體緩沖腔10的壁厚小于不銹鋼釜體 1上部。

所述的不銹鋼釜體1包括上部設(shè)有密封環(huán)槽11，內(nèi)設(shè)密封圈組件，所述的上蓋法蘭2 下面設(shè)有密封環(huán)12；密封環(huán)12嵌入密封環(huán)槽11壓緊密封圈組件實(shí)現(xiàn)上蓋組件與及不銹鋼釜體1構(gòu)成的密封，組成密閉反應(yīng)釜。

所述的密封圈組件包括兩個(gè)全氟醚橡膠FFKM密封圈13與一個(gè)不銹鋼壓環(huán)14，全氟醚橡膠FFKM密封圈13設(shè)于不銹鋼壓環(huán)14兩側(cè)。

所述的不銹鋼直棒5通過(guò)第一錐管螺紋卡套9與上蓋法蘭2連接。

所述的熱電阻8通過(guò)第二錐管螺紋卡套15與上蓋法蘭2連接。

由上述本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種用于 CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置，該裝置可以實(shí)現(xiàn)固態(tài)源的方便填裝，源溫度的平穩(wěn)控制，以及良好的密封性能。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置的組裝結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置上蓋組件結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置不銹鋼釜體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置固態(tài)源盛放裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于CVD固態(tài)源的揮發(fā)裝置固態(tài)源存放筒結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

實(shí)施例一